[實用新型]一種在線式石墨舟形變檢測系統

有效

• 申請號: 202022841885.1
• 申請日: 2020-11-30
• 公開（公告）號: CN214095939U
• 公開（公告）日: 2021-08-31
• 發明（設計）人: 張彪;陸林冬;李金榮;郭帥軍
• 申請（專利權）人: 深圳市艾特自動化有限公司
• 主分類號: G01B11/16
• 分類號: G01B11/16
• 代理公司: 深圳市中科創為專利代理有限公司 44384
• 代理人: 劉曰瑩

本實用新型公開一種在線式石墨舟形變檢測系統，該檢測系統包括：石墨舟輸送模塊，安裝于PECVD機臺和自動上下片機臺間，用于輸送石墨舟；激光測量模塊，安裝于PECVD機臺和自動上下片機臺間的任意位置，用于實時對運動中的石墨舟進行測量，并將測量數據上傳于分析處理模塊；分析處理模塊，對測量數據進行計算分析，并得出石墨舟是否形變的檢測結果；控制模塊，與所述激光測量模塊通信連接，用于觸發所述激光測量模塊的啟動。本實用新型可對運行中的石墨舟進行不間斷測量，對其出現的各種形變的檢出率高，省去了定期停工對石墨舟進行人工檢測的工作，節省了勞力和成本，提高了石墨舟的使用效率，提高了產能。

技術領域

本實用新型涉及石墨舟形變檢測技術領域，尤其涉及一種在線式石墨舟形變檢測系統。

背景技術

隨著光伏發電成本的不斷降低，太陽能發電將具有更加廣闊的市場空間。而石墨舟作為太陽能電池片鍍減反射膜時的一種載體,其結構和大小直接影響硅片的轉換效率和生產效率。石墨舟自動上下片機將未鍍膜的硅片通過機器人吸盤放在石墨舟頁的卡點上，每個舟片上可放固定數量的硅片。放置完全部的硅片后，石墨舟通過皮帶線帶動進入PECVD鍍膜機。石墨舟上的硅片在PECVD鍍膜機內部進行高溫條件下的特定化學反應，實現硅片表面的鍍膜工序。完成硅片鍍膜后的石墨舟從PECVD里退出，然后再通過皮帶線運輸到自動上下片機，自動上下片機臺的機器人把鍍膜完成的成品硅片從石墨舟里卸取出來。卸取完成品硅片后，機器人再次將未鍍膜的原始硅片放入石墨舟中，依次重復上述的過程。

在生產過程中，石墨舟經常被皮帶線上的金屬托盤托舉，在皮帶線上來回往返進入自動上下片機和PECVD之間。一個石墨舟由數量眾多的石墨舟頁組成，石墨卡點安裝于石墨舟頁上，石墨卡點用于托住石墨舟頁間的硅片。相鄰的石墨舟頁間由陶瓷套分隔開來，再由陶瓷桿進行固定，陶瓷桿的兩端再通過石墨螺母裝配固定。裝配完成后的石墨舟是由數量眾多的、豎直放置的、相互平行的石墨舟頁組成，且整個石墨舟上下寬度一致，石墨舟頁之間間距固定且相等，石墨舟頁均垂直于地面。但由于生產過程中機臺震動、機器人搬運石墨舟、高壓放電等因素的影響，都會造成石墨舟的陶瓷套和陶瓷桿松動、陶瓷桿斷裂等情況，結果就導致石墨舟出現左右大小不一致、上下錯位、舟片不平行等異常情況，甚至會出現舟片破損等嚴重情況。如石墨舟出現變異常，就會導致石墨舟頁間距不等、石墨舟扭曲變形、石墨舟頁不垂直于地面等情況，這就會導致機器人末端的相互平行的吸盤往石墨舟里裝卸片的時，出現有部分硅片放置不到卡點上的情況，出現硅片掉落從而導致碎片發生。形變嚴重的石墨舟甚至會破壞到機器人上安裝的數量眾多的吸盤，出現吸盤破損，從而導致更大的損失。

目前，業內均采用人工定期、定次將石墨舟從機臺上搬運下來進行人工檢查，而無論石墨舟是否出現變形，這樣的操作都會導致工序停滯，大大影響了整體機臺的產能，給生產造成巨大的損失。故亟需開發一種快速的、智能化的、能夠提前預判石墨舟變形的檢測系統。

實用新型內容

本實用新型的目的是克服現有技術的不足，提供一種在線式石墨舟形變檢測系統，以解決現有技術中無法預判石墨舟變形，需要定期人工檢查石墨舟是否出現變形，而導致工序停滯而影響產能的問題。

為實現以上目的，本實用新型通過以下技術方案予以實現：本實用新型提供一種在線式石墨舟形變檢測系統，包括：石墨舟輸送模塊，安裝于PECVD機臺和自動上下片機臺間，用于輸送石墨舟；激光測量模塊，安裝于PECVD機臺和自動上下片機臺間的任意位置，用于實時對運動中的石墨舟進行測量，并將測量數據上傳于分析處理模塊；分析處理模塊，對測量數據進行計算分析，并得出石墨舟是否形變的檢測結果；控制模塊，與所述激光測量模塊通信連接，用于觸發所述激光測量模塊的啟動。

進一步地，所述石墨舟輸送模塊包括：托盤、傳送皮帶和驅動裝置，石墨舟裝載于所述托盤上，所述托盤連接于所述傳送皮帶上，驅動裝置驅動所述傳送皮帶運轉。

進一步地，所述石墨舟輸送模塊還包括分別設于所述傳送皮帶兩側的兩滑軌，所述托盤的兩側設有滑塊，所述滑塊可沿所述滑軌滑動。