[實用新型]一種在線式石墨舟形變檢測系統

有效

• 申請號: 202022841885.1
• 申請日: 2020-11-30
• 公開（公告）號: CN214095939U
• 公開（公告）日: 2021-08-31
• 發明（設計）人: 張彪;陸林冬;李金榮;郭帥軍
• 申請（專利權）人: 深圳市艾特自動化有限公司
• 主分類號: G01B11/16
• 分類號: G01B11/16
• 代理公司: 深圳市中科創為專利代理有限公司 44384
• 代理人: 劉曰瑩

1.一種在線式石墨舟形變檢測系統，其特征在于，包括：

石墨舟輸送模塊，安裝于PECVD機臺和自動上下片機臺間，用于輸送石墨舟；

激光測量模塊，安裝于PECVD機臺和自動上下片機臺間的任意位置，用于實時對運動中的石墨舟進行測量，并將測量數據上傳于分析處理模塊；

分析處理模塊，對測量數據進行計算分析，并得出石墨舟是否形變的檢測結果；

控制模塊，與所述激光測量模塊通信連接，用于觸發所述激光測量模塊的啟動。

2.根據權利要求1所述的在線式石墨舟形變檢測系統，其特征在于，所述石墨舟輸送模塊包括：托盤、傳送皮帶和驅動裝置，石墨舟裝載于所述托盤上，所述托盤連接于所述傳送皮帶上，驅動裝置驅動所述傳送皮帶運轉。

3.根據權利要求2所述的在線式石墨舟形變檢測系統，其特征在于，所述石墨舟輸送模塊還包括分別設于所述傳送皮帶兩側的兩滑軌，所述托盤的兩側設有滑塊，所述滑塊可沿所述滑軌滑動。

4.根據權利要求2所述的在線式石墨舟形變檢測系統，其特征在于，所述托盤的前后端均設有凸起的卡位，所述石墨舟前后端均設有底座，所述底座對應所述卡位設有兩定位部，所述石墨舟裝載于所述托盤上時，所述卡位卡設于兩定位部間。

5.根據權利要求2所述的在線式石墨舟形變檢測系統，其特征在于，所述激光測量模塊包括：兩安裝支架和設于兩安裝支架上的若干位移傳感器，兩安裝支架面對面設于所述傳送皮帶的兩相對的外側，兩安裝支架間的距離大于所述石墨舟的寬度。

6.根據權利要求5所述的在線式石墨舟形變檢測系統，其特征在于，兩安裝支架上同一水平高度的兩位移傳感器配對設置。

7.根據權利要求5所述的在線式石墨舟形變檢測系統，其特征在于，每一安裝支架上均設有兩對位移傳感器，每一位移傳感器均可上下、左右調節地安裝于安裝支架上；兩對位移傳感器分別對應石墨舟的上部和下部位置安裝于安裝支架上。

8.根據權利要求1-7任一項所述的在線式石墨舟形變檢測系統，其特征在于，還包括若干觸發式傳感器，所述若干觸發式傳感器分別設于PECVD機臺和自動上下片機臺上，所述若干觸發式傳感器與上下片機臺PLC通信連接，所述觸發式傳感器用于檢測到石墨舟，并發送信號至上下片機臺PLC。

9.根據權利要求1所述的在線式石墨舟形變檢測系統，其特征在于，所述分析處理模塊包括：DLL動態鏈接庫、實時數據庫、分析單元和顯示單元；所述DLL動態鏈接庫與所述激光測量模塊實時通訊，確保測量數據實時讀取；所述實時數據庫用于同時保存激光測量模塊的多個測量數據；所述分析單元用于對測量數據進行分析，得出石墨舟的檢測結果；所述顯示單元用于顯示對石墨舟測量數據的變化趨勢。