[實用新型]一種用于硅片處理的掰片裝置

有效

• 申請號: 202022837783.2
• 申請日: 2020-12-01
• 公開（公告）號: CN213816079U
• 公開（公告）日: 2021-07-27
• 發明（設計）人: 祝凱;王雅妹;吾超鳳
• 申請（專利權）人: 開化晶芯電子有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/78
• 代理公司: 溫州青科專利代理事務所(特殊普通合伙) 33390
• 代理人: 錢磊

1.一種用于硅片處理的掰片裝置，包括工作臺(1)，其特征在于：所述工作臺(1)的內頂部開設有活動腔(2)，所述活動腔(2)的內底壁固定連接有伸縮氣缸(3)，所述伸縮氣缸(3)的頂端固定連接有升降板(4)，所述升降板(4)與活動腔(2)的內部活動連接，所述升降板(4)的兩側均固定連接有支撐管(6)，所述支撐管(6)的頂端設置有支撐機構，所述工作臺(1)的頂部固定連接有凸起結構(7)；

所述支撐機構包括有兩個支撐塊(1101)、彈性支撐片(1102)和限位滑桿(1103)，位于底部的支撐塊(1101)的底部與支撐管(6)的頂端固定連接，所述彈性支撐片(1102)的兩端分別與兩個所述支撐塊(1101)相對的一側固定連接，所述限位滑桿(1103)的頂端與頂部所述支撐塊(1101)的底部固定連接，所述限位滑桿(1103)的底端與底部所述支撐塊(1101)的內部活動連接；

所述工作臺(1)的側表面活動連接有活動支架(8)，所述活動支架(8)的內部活動插接有活動推桿(9)，所述活動推桿(9)的頂端固定連接有活動推塊(10)，所述活動推桿(9)的底端固定連接有壓板(14)，所述活動推塊(10)的底部固定連接有伸縮彈簧(15)，所述伸縮彈簧(15)的底端與活動支架(8)的頂部固定連接。

2.根據權利要求1所述的一種用于硅片處理的掰片裝置，其特征在于：所述活動腔(2)內底壁的兩側均固定連接有固定柱(5)，所述支撐管(6)的底端與固定柱(5)的側表面活動套接。

3.根據權利要求1所述的一種用于硅片處理的掰片裝置，其特征在于：所述活動支架(8)兩側的內壁均活動連接有滑輪(12)，所述工作臺(1)的內部開設有滑槽(13)，所述滑輪(12)與滑槽(13)的內部活動連接。

4.根據權利要求1所述的一種用于硅片處理的掰片裝置，其特征在于：所述活動推桿(9)的底端貫穿活動支架(8)的頂部并延伸至活動支架(8)的內部，所述壓板(14)與活動支架(8)的內部活動連接。

5.根據權利要求1所述的一種用于硅片處理的掰片裝置，其特征在于：所述壓板(14)包括有硅膠墊，所述硅膠墊的頂部與壓板(14)的底部固定連接。

6.根據權利要求1所述的一種用于硅片處理的掰片裝置，其特征在于：兩個所述支撐塊(1101)之間固定設置有保護套(1104)，所述彈性支撐片(1102)和限位滑桿(1103)均位于支撐塊(1101)的內部。