[實用新型]一種強力的硅片花籃有效
| 申請號: | 202022833755.3 | 申請日: | 2020-11-30 |
| 公開(公告)號: | CN213424950U | 公開(公告)日: | 2021-06-11 |
| 發明(設計)人: | 沈杰;姜泉 | 申請(專利權)人: | 常州科訊精密機械有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/673 | 分類號: | H01L21/673;H01L21/677;H01L31/18 |
| 代理公司: | 常州市科誼專利代理事務所 32225 | 代理人: | 鈕云濤 |
| 地址: | 213000 江蘇省*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 強力 硅片 花籃 | ||
1.一種強力的硅片花籃,包括兩個端板和固定在兩個端板之間的若干齒桿,至少兩根齒桿上具有一列輔助齒排,該列輔助齒排具有若干輔助齒本體,其特征在于,
硅片本體上的限位板適于插入相鄰兩輔助齒本體之間;
所述齒桿內設置有一驅動部;
各輔助齒本體開設有一水平貫穿的貫穿孔,任一所述端板上滑動連接有一限位條,該端板內設置有一與所述驅動部聯動的聯動部,所述聯動部能夠驅動所述限位條滑動;其中
遠離所述聯動部方向依次插入一硅片本體,所述限位板能夠通過所述驅動部聯動所述限位條依次插入各貫穿孔和各限位孔的限位條。
2.如權利要求1所述的一種強力的硅片花籃,其特征在于,
所述齒桿的中部開設有一軸向延伸的滑動孔,且所述驅動部滑動連接在所述滑動孔內,所述齒桿上開設有若干延伸至所述滑動孔內的槽口,各槽口位于相鄰兩輔助齒本體之間,且所述槽口與限位板適配;其中
插入硅片本體時,所述限位板能夠推動所述驅動部沿所述滑動孔滑動。
3.如權利要求2所述的一種強力的硅片花籃,其特征在于,
所述驅動部包括沿所述滑動孔滑動的滑動板,以及并排設置在所述滑動板頂部的第一齒條組和第二齒條組;
所述第一齒條組具有若干沿所述滑動孔均勻排列的第一齒本體;
所述第二齒條組具有若干沿所述滑動孔均勻排列的第二齒本體;
相鄰兩第一齒本體之間的齒距與相鄰兩第二齒本體之間的齒距相等,且所述第一齒本體和所述第二齒本體的寬度相等;
所述第一齒本體與所述第二齒本體交錯設置;其中
相鄰兩硅片本體的第一推板和第二推板能夠依次推動所述第一齒本體和所述第二齒本體帶動所述滑動板沿所述滑動孔滑動,并聯動所述聯動部。
4.如權利要求3所述的一種強力的硅片花籃,其特征在于,
所述第一齒本體的寬度大于相鄰兩第一齒本體之間齒距的二分之一。
5.如權利要求4所述的一種強力的硅片花籃,其特征在于,
所述第一齒本體的滑動方向的相反方向具有第一斜坡,所述第二齒本體的滑動方向的相反方向具有第二斜坡,
所述第一推板和所述第二推板能夠依次被所述第一斜坡和第二斜坡推動并壓縮對應彈簧。
6.如權利要求5所述的一種強力的硅片花籃,其特征在于,
所述聯動部包括轉動連接在所述端板內側壁第一齒盤和第二齒盤,所述第一齒盤與所述第二齒盤同軸設置,所述第一齒盤與所述第一齒本體嚙合,所述第二齒盤與所述第二齒本體嚙合,
所述滑動板滑動時,所述第一齒本體和所述第二齒本體能夠交替驅動所述第一齒盤和所述第二齒盤轉動。
7.如權利要求6所述的一種強力的硅片花籃,其特征在于,
所述聯動部還包括與所述第二齒盤固定連接的第三齒盤,所述限位條為齒條,且所述限位條與所述第三齒盤嚙合;其中
插入硅片本體能夠聯動所述第二齒盤轉動并聯動所述限位條插入該硅片本體的限位槽內。
8.如權利要求7所述的一種強力的硅片花籃,其特征在于,
所述端板上開設有兩個鉤部,所述端板上鏡像設置有兩個斜部,該斜部的側邊長為8mm~12mm。
9.如權利要求8所述的一種強力的硅片花籃,其特征在于,
所述輔助齒本體的橫截面面積由所述齒桿向遠離齒桿方向逐漸減小。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





