[實(shí)用新型]半導(dǎo)體器件測(cè)試裝置與母排結(jié)構(gòu)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202022833683.2
• 申請(qǐng)日: 2020-11-30
• 公開（公告）號(hào): CN213749999U
• 公開（公告）日: 2021-07-20
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 盧韋珊;肖鵬;杜俊;李博強(qiáng)
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 廣東芯聚能半導(dǎo)體有限公司
• 主分類號(hào): G01R1/04
• 分類號(hào): G01R1/04;G01R31/26
• 代理公司: 廣州華進(jìn)聯(lián)合專利商標(biāo)代理有限公司 44224
• 代理人: 黃大偉

1.一種母排結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述母排結(jié)構(gòu)包括：

母排主體，所述母排主體用于設(shè)于半導(dǎo)體器件的動(dòng)態(tài)測(cè)試平臺(tái)上；與

母排分支，所述母排分支為兩個(gè)以上，所述母排分支的一端與所述母排主體相連，所述母排分支的另一端為接線端，所述接線端用于與測(cè)試夾具的連接端子壓接相連。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的母排結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述母排主體上設(shè)有正極連接板與負(fù)極連接板；所述母排分支為三個(gè)，分別為第一母排分支、第二母排分支與第三母排分支；

所述第一母排分支的一端與所述負(fù)極連接板電性連接，所述第一母排分支的接線端用于與其中一個(gè)所述測(cè)試夾具的其中一個(gè)連接端子壓接相連；

所述第二母排分支的一端通過電感與所述負(fù)極連接板電性連接，所述第二母排分支設(shè)有兩個(gè)接線端，所述第二母排分支的其中一個(gè)接線端用于與其中一個(gè)所述測(cè)試夾具的另一個(gè)連接端子壓接相連，所述第二母排分支的另一個(gè)接線端用于與另一個(gè)所述測(cè)試夾具的其中一個(gè)連接端子壓接相連；

所述第三母排分支的一端與所述正極連接板電性連接，所述第三母排分支的接線端用于與另一個(gè)所述測(cè)試夾具的另一個(gè)連接端子壓接相連。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的母排結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述正極連接板設(shè)于所述母排主體的其中一表面上，所述負(fù)極連接板設(shè)于所述母排主體的另一表面上。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的母排結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述第一母排分支設(shè)有位于所述第一母排分支的一端與所述第一母排分支的接線端之間的彎曲部位，以使得所述第一母排分支的接線端相對(duì)于所述母排主體的表面的高度位置與所述第三母排分支的接線端相對(duì)于所述母排主體的表面的高度位置相同；或者，所述第三母排分支設(shè)有位于所述第三母排分支的一端與所述第三母排分支的接線端之間的彎曲部位，以使得所述第一母排分支的接線端相對(duì)于所述母排主體的表面的高度位置與所述第三母排分支的接線端相對(duì)于所述母排主體的表面的高度位置相同。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的母排結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述彎曲部位為階梯式部或者圓弧過渡部。

6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的母排結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述第一母排分支的一端上設(shè)有用于與所述負(fù)極連接板電性連接的第一連接孔；所述第二母排分支的上設(shè)有用于與所述電感電性連接的第二連接孔；所述第三母排分支的一端上設(shè)有用于與所述正極連接板電性連接的第三連接孔。

7.根據(jù)權(quán)利要求2所述的母排結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述接線端上設(shè)有用于與測(cè)試夾具的連接端子壓接連接的接線口。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的母排結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述接線口為兩個(gè)以上，兩個(gè)以上所述接線口依次地設(shè)置于所述接線端的其中一側(cè)。

9.根據(jù)權(quán)利要求1至8任意一項(xiàng)所述的母排結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述母排分支為銅排。

10.一種半導(dǎo)體器件測(cè)試裝置，其特征在于，所述半導(dǎo)體器件測(cè)試裝置包括如權(quán)利要求1至9任意一項(xiàng)所述的母排結(jié)構(gòu)，還包括動(dòng)態(tài)測(cè)試平臺(tái)，以及測(cè)試夾具；所述母排主體設(shè)于所述動(dòng)態(tài)測(cè)試平臺(tái)上，所述接線端與所述測(cè)試夾具的連接端子壓接相連，所述測(cè)試夾具用于裝設(shè)半導(dǎo)體器件。