[實(shí)用新型]一種用于全自動(dòng)植球的承載裝置有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 202022831754.5 | 申請(qǐng)日： | 2020-11-30 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN213366553U | 公開（公告）日： | 2021-06-04 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 張朋;金維寶;袁井余;管有軍;張建華 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 日月光半導(dǎo)體（昆山）有限公司 |
| 主分類號(hào)： | H01L21/673 | 分類號(hào)： | H01L21/673;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京律盟知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11287 | 代理人： | 林斯凱 |
| 地址： | 215323 江蘇省*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 用于 全自動(dòng) 承載 裝置 | ||
1.一種用于全自動(dòng)植球的承載裝置，其包含：
料條固定區(qū)；以及
固持區(qū)，其位于所述料條固定區(qū)兩側(cè)以固持所述料條固定區(qū)，
其特征在于，所述料條固定區(qū)包含多個(gè)精確定位銷以及位于所述多個(gè)精確定位銷兩側(cè)的限位塊，且所述承載裝置的尺寸與機(jī)臺(tái)的尺寸相匹配。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的承載裝置，其中所述限位塊進(jìn)一步經(jīng)配置以在所述料條固定區(qū)中變換位置或從所述料條固定區(qū)中移除。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的承載裝置，其中所述限位塊的橫截面呈階梯狀。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的承載裝置，其中所述固持區(qū)進(jìn)一步包含至少一個(gè)固持鏤空區(qū)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的承載裝置，其中所述料條固定區(qū)進(jìn)一步包含多個(gè)料條鏤空區(qū)，所述多個(gè)料條鏤空區(qū)經(jīng)配置以允許待植球的多個(gè)裸片進(jìn)入或穿過所述多個(gè)料條鏤空區(qū)的相應(yīng)一者。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的承載裝置，其中所述承載裝置進(jìn)一步包含雙側(cè)軌道承載區(qū)，所述承載裝置經(jīng)由所述雙側(cè)軌道承載區(qū)與所述機(jī)臺(tái)相連。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的承載裝置，其中所述雙側(cè)軌道承載區(qū)包含至少一個(gè)防呆孔。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的承載裝置，其中所述固持區(qū)進(jìn)一步包含至少一個(gè)方向標(biāo)識(shí)。
9.一種用于全自動(dòng)植球的承載裝置，其包含：
料條固定區(qū)；以及
固持區(qū)，其位于所述料條固定區(qū)兩側(cè)以固持所述料條固定區(qū)，
其特征在于，所述料條固定區(qū)包含多個(gè)精確定位銷以及至少一個(gè)輔助支撐銷，且所述承載裝置的尺寸與機(jī)臺(tái)的尺寸相匹配。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的承載裝置，其中所述固持區(qū)進(jìn)一步包含至少一個(gè)固持鏤空區(qū)。
11.根據(jù)權(quán)利要求9所述的承載裝置，其中所述料條固定區(qū)進(jìn)一步包含多個(gè)料條鏤空區(qū)，所述多個(gè)料條鏤空區(qū)經(jīng)配置以允許待植球的多個(gè)裸片進(jìn)入或穿過所述多個(gè)料條鏤空區(qū)的相應(yīng)一者。
12.根據(jù)權(quán)利要求9所述的承載裝置，其中所述承載裝置進(jìn)一步包含雙側(cè)軌道承載區(qū)，所述承載裝置經(jīng)由所述雙側(cè)軌道承載區(qū)與所述機(jī)臺(tái)相連。
13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的承載裝置，其中所述雙側(cè)軌道承載區(qū)包含至少一個(gè)防呆孔。
14.根據(jù)權(quán)利要求9所述的承載裝置，其中所述固持區(qū)進(jìn)一步包含至少一個(gè)方向標(biāo)識(shí)。
15.根據(jù)權(quán)利要求9所述的承載裝置，其中所述多個(gè)精確定位銷比所述至少一個(gè)輔助支撐銷長。
16.根據(jù)權(quán)利要求9所述的承載裝置，其中所述料條固定區(qū)進(jìn)一步包含位于所述多個(gè)精確定位銷兩側(cè)的限位塊。
17.根據(jù)權(quán)利要求16所述的承載裝置，其中所述限位塊進(jìn)一步經(jīng)配置以在所述料條固定區(qū)中變換位置或從所述料條固定區(qū)中移除。
18.根據(jù)權(quán)利要求16或17所述的承載裝置，其中所述限位塊的橫截面呈階梯狀。
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H01L 半導(dǎo)體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個(gè)器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置；專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個(gè)固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
