[實用新型]一種薄膜太陽能電池生產用蝕刻裝置

有效

• 申請號: 202022831657.6
• 申請日: 2021-04-30
• 公開（公告）號: CN213519863U
• 公開（公告）日: 2021-06-22
• 發明（設計）人: 劉鋒;朱凱;李旭倩
• 申請（專利權）人: 南京正春電子科技有限公司
• 主分類號: H01L21/306
• 分類號: H01L21/306;H01L21/67;H01L31/18;B01D35/02;B01D29/11;B01D29/31
• 代理公司: 南京中律知識產權代理事務所(普通合伙) 32341
• 代理人: 沈振濤

1.一種薄膜太陽能電池生產用蝕刻裝置，包括裝置主體(1)，其特征在于：所述裝置主體(1)的上端設置有蝕刻槽(2)，所述蝕刻槽(2)的一側外表面設置有過濾管(3)，所述過濾管(3)的內部設置過濾網(4)，所述過濾管(3)的外表面設置有螺紋連接管(5)，所述蝕刻槽(2)的一側外表面設置有螺紋孔(6)，所述過濾管(3)的一端設置有導流管(7)，所述導流管(7)的外表面設置有旋轉螺紋(8)，所述蝕刻槽(2)的上端外表面設置有防護蓋(9)，所述防護蓋(9)的外表面設置有連接塊(10)，所述連接塊(10)的外表面設置有橡膠層(11)，所述蝕刻槽(2)與防護蓋(9)之間設置有合頁(12)，所述導流管(7)的一端設置有轉接管(13)，所述蝕刻槽(2)的內部設置有噴淋管(14)。

2.根據權利要求1所述的一種薄膜太陽能電池生產用蝕刻裝置，其特征在于：所述裝置主體(1)的前端外表面設置有進料口(15)，所述裝置主體(1)的一側設置有蝕刻液槽(16)，所述蝕刻液槽(16)的內部設置有固定板(17)，所述固定板(17)的外表面設置有輸液管(18)，所述蝕刻槽(2)的一側外表面設置有渦輪結構(19)，所述裝置主體(1)的下端設置有支撐腿(20)，所述裝置主體(1)的一側設置有廢液槽(21)。

3.根據權利要求2所述的一種薄膜太陽能電池生產用蝕刻裝置，其特征在于：所述導流管(7)與轉接管(13)之間為活動連接，所述蝕刻槽(2)與噴淋管(14)、渦輪結構(19)之間均為活動連接，所述渦輪結構(19)與輸液管(18)之間為活動連接，所述固定板(17)與蝕刻液槽(16)之間為固定連接。

4.根據權利要求1所述的一種薄膜太陽能電池生產用蝕刻裝置，其特征在于：所述螺紋連接管(5)與螺紋孔(6)相匹配，所述螺紋連接管(5)與過濾管(3)之間為固定連接，所述過濾管(3)與過濾網(4)之間為固定連接，所述導流管(7)與過濾管(3)相匹配，所述過濾管(3)、螺紋連接管(5)、導流管(7)均為合金材質制成，所述過濾管(3)的外表面設置有橡膠墊。

5.根據權利要求1所述的一種薄膜太陽能電池生產用蝕刻裝置，其特征在于：所述連接塊(10)與蝕刻槽(2)相匹配，所述連接塊(10)與橡膠層(11)之間為活動連接，所述連接塊(10)與防護蓋(9)之間為固定連接，所述防護蓋(9)、連接塊(10)均為玻璃材質制成，所述合頁(12)與蝕刻槽(2)、防護蓋(9)之間均為活動連接，所述防護蓋(9)與蝕刻槽(2)之間為活動連接。

6.根據權利要求2所述的一種薄膜太陽能電池生產用蝕刻裝置，其特征在于：所述支撐腿(20)的數量為若干組，所述支撐腿(20)位于裝置主體(1)的下端外面呈陣列排布，所述裝置主體(1)與支撐腿(20)之間為固定連接，所述支撐腿(20)為合金材質制成。