[實(shí)用新型]半導(dǎo)體化學(xué)氣相沉積裝置噴頭部件洗凈噴砂防堵保護(hù)治具

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202022821090.4
• 申請(qǐng)日: 2020-11-30
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN213970700U
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-08-17
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 劉亮德;賀賢漢;朱光宇;王松朋;張正偉;李泓波
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 富樂(lè)德科技發(fā)展（大連）有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): B24C9/00
• 分類(lèi)號(hào): B24C9/00;C23C16/44
• 代理公司: 大連智高專(zhuān)利事務(wù)所(特殊普通合伙) 21235
• 代理人: 蓋小靜

本實(shí)用新型公開(kāi)了半導(dǎo)體化學(xué)氣相沉積裝置噴頭部件洗凈噴砂防堵保護(hù)治具，包括下部進(jìn)氣保護(hù)治具、空氣增壓泵、氣壓調(diào)節(jié)閥、氣體導(dǎo)流板、橡膠密封圈和上部保護(hù)治具，所述上部保護(hù)治具位于下部進(jìn)氣保護(hù)治具上，在下部進(jìn)氣保護(hù)治具上面設(shè)有一圈凸起，所述凸起外周設(shè)有橡膠密封圈，凸起內(nèi)凹設(shè)有進(jìn)氣槽，在進(jìn)氣槽中固定有氣體導(dǎo)流板，所述進(jìn)氣槽底部設(shè)有多個(gè)進(jìn)氣口，每個(gè)進(jìn)氣口分別與進(jìn)氣管路相連，所述進(jìn)氣管路均連接至主管路，在主管路上依次設(shè)有氣壓調(diào)節(jié)閥、空氣增壓泵。本申請(qǐng)治具可以避免噴砂造成的孔內(nèi)砂材顆粒堵塞，而且能夠消除使用膠帶保護(hù)所引起的不良影響。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及一種洗凈噴砂保護(hù)治具，具體涉及一種半導(dǎo)體CVD化學(xué)氣相沉積裝置噴頭SHOWERHEAD部件洗凈噴砂防堵保護(hù)治具。

背景技術(shù)

在半導(dǎo)體CVD化學(xué)氣相沉積裝置中，噴頭SHOWERHEAD部件表面需要一定的粗糙度，可以吸附多余的物質(zhì)，因此在對(duì)該噴頭SHOWERHEAD部件進(jìn)行洗凈時(shí)，需要對(duì)其進(jìn)行噴砂處理以達(dá)到表面的粗糙度要求，細(xì)小的砂氧化鋁顆粒在壓縮空氣帶動(dòng)下，對(duì)部件表面進(jìn)行沖擊，但是因噴頭SHOWERHEAD部件表面為多孔圓臺(tái)形結(jié)構(gòu)，因此細(xì)小的砂材顆粒極易堵塞在孔內(nèi)，不易去除，影響孔的正常氣體流量，進(jìn)而導(dǎo)致部件使用效果欠佳。

現(xiàn)有技術(shù)通常采用膠帶對(duì)非噴砂區(qū)域進(jìn)行保護(hù)，但是該種保護(hù)方式的缺點(diǎn)為：保護(hù)區(qū)域邊緣不齊整，且膠帶無(wú)法重復(fù)利用，增加生產(chǎn)成本，膠帶容易破損，造成不良。

實(shí)用新型內(nèi)容

針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)存在上述問(wèn)題，本發(fā)明提供了半導(dǎo)體化學(xué)氣相沉積裝置噴頭部件洗凈噴砂防堵保護(hù)治具，可以避免噴砂造成的孔內(nèi)砂材顆粒堵塞，而且能夠消除使用膠帶保護(hù)所引起的不良影響。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本申請(qǐng)的技術(shù)方案為：半導(dǎo)體化學(xué)氣相沉積裝置噴頭部件洗凈噴砂防堵保護(hù)治具，包括下部進(jìn)氣保護(hù)治具、空氣增壓泵、氣壓調(diào)節(jié)閥、氣體導(dǎo)流板、橡膠密封圈和上部保護(hù)治具，所述上部保護(hù)治具位于下部進(jìn)氣保護(hù)治具上，在下部進(jìn)氣保護(hù)治具上面設(shè)有一圈凸起，所述凸起外周設(shè)有橡膠密封圈，凸起內(nèi)凹設(shè)有進(jìn)氣槽，在進(jìn)氣槽中固定有氣體導(dǎo)流板，所述進(jìn)氣槽底部設(shè)有多個(gè)進(jìn)氣口，每個(gè)進(jìn)氣口分別與進(jìn)氣管路相連，所述進(jìn)氣管路均連接至主管路，在主管路上依次設(shè)有氣壓調(diào)節(jié)閥、空氣增壓泵。

進(jìn)一步的，所述上部保護(hù)治具包括固定環(huán)，所述固定環(huán)內(nèi)連接有傾斜設(shè)置的遮擋板。

進(jìn)一步的，待噴砂噴頭部件通過(guò)橡膠密封圈壓合在下部進(jìn)氣保護(hù)治具上，上部保護(hù)治具的遮擋板貼附在待噴砂噴頭部件的非噴砂區(qū)域。

進(jìn)一步的，所述進(jìn)氣槽底部開(kāi)有安裝孔，長(zhǎng)桿螺栓穿過(guò)安裝孔將氣體導(dǎo)流板固定在進(jìn)氣槽內(nèi)，所述進(jìn)氣槽與氣體導(dǎo)流板之間形成氣體均布腔。

進(jìn)一步的，所述氣體導(dǎo)流板上開(kāi)有多圈出氣孔。

更進(jìn)一步的，在上部保護(hù)治具的固定環(huán)上開(kāi)有多個(gè)固定孔，在下部進(jìn)氣保護(hù)治具的外周開(kāi)有與固定孔對(duì)應(yīng)的螺紋孔，禁錮螺絲穿過(guò)固定孔、螺紋孔將上部保護(hù)治具固定在下部進(jìn)氣保護(hù)治具上。

更進(jìn)一步的，在下部進(jìn)氣保護(hù)治具底部四周設(shè)有支腳。

本實(shí)用新型由于采用以上技術(shù)方案，能夠取得如下的技術(shù)效果：通過(guò)上部保護(hù)治具將噴頭部件的非噴砂區(qū)域進(jìn)行完全遮擋，其可以重復(fù)使用，節(jié)約成本；壓縮空氣通過(guò)氣體導(dǎo)流板的出氣孔吹向噴頭部件，能夠避免在噴砂過(guò)程中砂材顆粒堵塞在孔內(nèi)，其操作簡(jiǎn)單、實(shí)用性強(qiáng)，極易推廣。

附圖說(shuō)明

圖1為本申請(qǐng)洗凈噴砂防堵保護(hù)治具爆炸圖；

圖2為下部進(jìn)氣保護(hù)治具俯視圖；

圖3為下部進(jìn)氣保護(hù)治具仰視圖；

圖4為氣體導(dǎo)流板俯視圖；

圖5為上部保護(hù)治具俯視圖；