[實用新型]半導體化學氣相沉積裝置噴頭部件洗凈噴砂防堵保護治具

有效

• 申請號: 202022821090.4
• 申請日: 2020-11-30
• 公開（公告）號: CN213970700U
• 公開（公告）日: 2021-08-17
• 發明（設計）人: 劉亮德;賀賢漢;朱光宇;王松朋;張正偉;李泓波
• 申請（專利權）人: 富樂德科技發展（大連）有限公司
• 主分類號: B24C9/00
• 分類號: B24C9/00;C23C16/44
• 代理公司: 大連智高專利事務所(特殊普通合伙) 21235
• 代理人: 蓋小靜

1.半導體化學氣相沉積裝置噴頭部件洗凈噴砂防堵保護治具，其特征在于，包括下部進氣保護治具、空氣增壓泵、氣壓調節閥、氣體導流板、橡膠密封圈和上部保護治具，所述上部保護治具位于下部進氣保護治具上，在下部進氣保護治具上面設有一圈凸起，所述凸起外周設有橡膠密封圈，凸起內凹設有進氣槽，在進氣槽中固定有氣體導流板，所述進氣槽底部設有多個進氣口，每個進氣口分別與進氣管路相連，所述進氣管路均連接至主管路，在主管路上依次設有氣壓調節閥、空氣增壓泵。

2.根據權利要求1所述半導體化學氣相沉積裝置噴頭部件洗凈噴砂防堵保護治具，其特征在于，所述上部保護治具包括固定環，所述固定環內連接有傾斜設置的遮擋板。

3.根據權利要求2所述半導體化學氣相沉積裝置噴頭部件洗凈噴砂防堵保護治具，其特征在于，待噴砂噴頭部件通過橡膠密封圈壓合在下部進氣保護治具上，上部保護治具的遮擋板貼附在待噴砂噴頭部件的非噴砂區域。

4.根據權利要求1所述半導體化學氣相沉積裝置噴頭部件洗凈噴砂防堵保護治具，其特征在于，所述進氣槽底部開有安裝孔，長桿螺栓穿過安裝孔將氣體導流板固定在進氣槽內，所述進氣槽與氣體導流板之間形成氣體均布腔。

5.根據權利要求1所述半導體化學氣相沉積裝置噴頭部件洗凈噴砂防堵保護治具，其特征在于，所述氣體導流板上開有多圈出氣孔。

6.根據權利要求1所述半導體化學氣相沉積裝置噴頭部件洗凈噴砂防堵保護治具，其特征在于，在上部保護治具的固定環上開有多個固定孔，在下部進氣保護治具的外周開有與固定孔對應的螺紋孔，禁錮螺絲穿過固定孔、螺紋孔將上部保護治具固定在下部進氣保護治具上。

7.根據權利要求1所述半導體化學氣相沉積裝置噴頭部件洗凈噴砂防堵保護治具，其特征在于，在下部進氣保護治具底部四周設有支腳。