[實(shí)用新型]半導(dǎo)體工藝設(shè)備及其工藝腔室

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202022808460.0
• 申請(qǐng)日: 2020-11-27
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN213691971U
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-07-13
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 馬建強(qiáng);張寶輝;王福來(lái)
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): H01L21/67
• 分類(lèi)號(hào): H01L21/67;H01L21/365
• 代理公司: 北京國(guó)昊天誠(chéng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11315
• 代理人: 施敬勃

1.一種半導(dǎo)體工藝設(shè)備中的工藝腔室，其特征在于，包括：

腔室本體(100)，所述腔室本體(100)內(nèi)部具有反應(yīng)腔(110)；

加熱器(200)，所述加熱器(200)設(shè)置在所述反應(yīng)腔(110)內(nèi)；

噴頭部(300)，所述噴頭部(300)包括噴射頭(310)和連接柱(320)，所述噴射頭(310)設(shè)置在所述反應(yīng)腔(110)內(nèi)，所述噴射頭(310)上的出氣口朝向所述加熱器(200)，所述連接柱(320)的一端與所述噴射頭(310)連接，另一端穿過(guò)所述腔室本體(100)的上蓋(120)延伸至所述反應(yīng)腔(110)外；

升降部(400)，所述升降部(400)設(shè)置在所述上蓋(120)上，與所述連接柱(320)連接，用于移動(dòng)所述連接柱(320)，進(jìn)而調(diào)整所述噴射頭(310)與所述加熱器(200)之間的距離。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的工藝腔室，其特征在于，所述升降部(400)包括平行于所述上蓋(120)設(shè)置的壓板(410)和立設(shè)在所述上蓋(120)上的升降桿(420)，所述壓板(410)與所述連接柱(320)固定連接，所述升降桿(420)與所述壓板(410)可移動(dòng)的連接，所述升降桿(420)能夠驅(qū)動(dòng)所述壓板(410)沿所述升降桿(420)的延伸方向移動(dòng)，進(jìn)而移動(dòng)所述連接柱(320)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的工藝腔室，其特征在于，所述壓板(410)上開(kāi)設(shè)有螺孔，所述升降桿(420)為頂絲，所述升降桿(420)的一端穿過(guò)所述壓板(410)上的螺孔后與所述上蓋(120)的上表面相接，另一端上設(shè)置有固定螺母(430)。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的工藝腔室，其特征在于，所述壓板(410)套裝在所述連接柱(320)上，所述連接柱(320)上具有與所述壓板(410)的端面抵接的臺(tái)階面，所述連接柱(320)上還設(shè)置有緊壓件(440)將所述壓板(410)壓設(shè)在所述連接柱(320)的臺(tái)階面上。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的工藝腔室，其特征在于，還包括立設(shè)在所述上蓋(120)上的導(dǎo)向桿(500)，所述導(dǎo)向桿(500)穿過(guò)所述壓板(410)后與所述上蓋(120)連接。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的工藝腔室，其特征在于，所述升降桿(420)和所述導(dǎo)向桿(500)有多個(gè)，多個(gè)所述升降桿(420)繞所述壓板(410)的中心環(huán)形陣列設(shè)置，多個(gè)所述導(dǎo)向桿(500)也繞所述壓板(410)的中心環(huán)形陣列設(shè)置。

7.根據(jù)權(quán)利要求5-6任意一項(xiàng)所述的工藝腔室，其特征在于，所述上蓋(120)上開(kāi)設(shè)有臺(tái)階狀的隔離件安裝孔，所述隔離件安裝孔內(nèi)可拆卸的設(shè)置有與所述隔離件安裝孔配合的噴頭部隔離件(121)，所述連接柱(320)穿過(guò)所述噴頭部隔離件(121)延伸至所述反應(yīng)腔(110)外。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的工藝腔室，其特征在于，所述噴頭部隔離件(121)的上端面與所述上蓋(120)的上表面齊平，所述上蓋(120)的上表面與所述噴頭部隔離件(121)的上端面的連接處壓設(shè)有隔離件固定環(huán)(122)，所述隔離件固定環(huán)(122)用于將所述噴頭部隔離件(121)固定在所述隔離件安裝孔內(nèi)。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的工藝腔室，其特征在于，所述噴頭部隔離件(121)上還設(shè)置有與所述壓板(410)相對(duì)設(shè)置的底板(600)，所述底板(600)套裝在所述連接柱(320)上且與所述噴頭部隔離件(121)固定連接，所述底板(600)的底面與所述噴頭部隔離件(121)的上端面上開(kāi)設(shè)有對(duì)應(yīng)設(shè)置的銷(xiāo)孔，所述銷(xiāo)孔用于容納定位銷(xiāo)(610)以定位所述底板(600)，所述升降桿(420)的一端與所述底板(600)接觸式連接，所述導(dǎo)向桿(500)的一端與所述底板(600)連接。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的工藝腔室，其特征在于，所述底板(600)的底面上開(kāi)設(shè)有環(huán)繞所述連接柱(320)的第一密封槽，所述第一密封槽內(nèi)容置有第一密封圈(620)。