[實用新型]一種用于碳化硅加工的夾持工裝

有效

• 申請號: 202022796792.1
• 申請日: 2020-11-27
• 公開（公告）號: CN214447531U
• 公開（公告）日: 2021-10-22
• 發明（設計）人: 王志超
• 申請（專利權）人: 華芯威半導體科技（北京）有限責任公司
• 主分類號: B28D7/04
• 分類號: B28D7/04
• 代理公司: 北京邦創至誠知識產權代理事務所(普通合伙) 11717
• 代理人: 張宇鋒

本實用新型公開的一種用于碳化硅加工的夾持工裝，包括夾持柱體，所述夾持柱體內設置有夾持腔，所述夾持腔內設置有沿周向設置有若干可伸縮的夾持頭。本實用新型通過在夾持柱體中設置可自由調節的夾持頭，夾持頭上的夾持針在接觸到碳化硅時會產生形變，從而根據碳化硅自身的外形進行自適應的調節，夾持頭對碳化硅進行夾持后，通過驅動器控制定位板對夾持針的位置進行固定，從而保證在之后的加工工作時，夾持頭可以完美的適應碳化硅的外形，省去了更換夾緊塊的工作，操作十分方便，省時省力。

技術領域

本實用新型涉及碳化硅加工設備技術領域，尤其涉及一種用于碳化硅加工的夾持工裝。

背景技術

碳化硅在進行長晶制造的過程中，需要使用到籽晶夾具，籽晶從最起始的準備工作到最后的退火階段都需要穩定的固定在夾具中，以確保在制備過程中不會出現脫落的情況，以往的碳化硅夾具都是直接通過夾緊塊對碳化硅進行夾緊工作，由于籽晶規格的不同，還需要根據情況對夾緊塊進行更換，操作十分不便。

實用新型內容

本實用新型的目的在于避免現有技術的不足之處，提供一種用于碳化硅加工的夾持工裝，從而有效解決現有技術中存在的不足之處。

為實現上述目的，本實用新型采取的技術方案為：一種用于碳化硅加工的夾持工裝，包括夾持柱體，所述夾持柱體內設置有夾持腔，所述夾持腔內沿周向設置有若干可伸縮的夾持頭；

所述夾持頭包括外殼體，所述外殼體在朝向夾持腔內的一側設置有開口，外殼體內并排設置有若干可伸縮的夾持針，所述夾持針的一端在所述開口處伸出，所述外殼體內還設置有用于固位夾持針的定位板；

所述夾持柱體的外側在對應所述夾持頭的位置設置有伸縮氣缸，所述伸縮氣缸的活塞桿穿過夾持柱體并與所述外殼體固定連接；

所述定位板通過驅動器控制位移。

進一步，所述外殼體內固設有套管，所述夾持針位于外殼體內的一端安裝在所述套管的空腔中，所述空腔內設置有伸縮彈簧，所述伸縮彈簧的一端抵靠在套管的內壁上，伸縮彈簧的另一端抵靠在夾持針的端部。

進一步，所述夾持針穿過所述定位板，所述定位板上在對應各夾持針的位置設置有活動孔，所述活動孔的尺寸大于夾持針的尺寸，所述驅動器的驅動端穿過所述外殼體并與定位板固定連接。

進一步，所述夾持針位于所述外殼體外的一端安裝有防護頭，所述防護頭與所述夾持針插接固定。

進一步，所述防護頭端部設置有螺紋桿，所述夾持針的端部設置有與所述螺紋桿相適配的螺紋孔，二者螺紋連接。

進一步，所述外殼體內在遠離所述開口的一側固設有安裝板，所述安裝板上在對應各所述套管的位置設置有穿孔，套管的端部穿過所述穿孔并通過螺母與安裝板鎖緊。

進一步，所述外殼體的一側設置有安裝盒，所述驅動器固設所述安裝盒內。

進一步，所述夾持腔的下端沿周向設置有若干安裝槽，所述夾持頭位于所述安裝槽內。

進一步，所述夾持腔的頂部沿周向設置有防護墊。

進一步，所述夾持柱體上端的一側設置有觀察窗。

本實用新型的上述技術方案具有以下有益效果：本實用新型通過在夾持柱體中設置可自由調節的夾持頭，夾持頭上的夾持針在接觸到碳化硅時會產生形變，從而根據碳化硅自身的外形進行自適應的調節，夾持頭對碳化硅進行夾持后，通過驅動器控制定位板對夾持針的位置進行固定，從而保證在之后的加工工作時，夾持頭可以完美的適應碳化硅的外形，省去了更換夾緊塊的工作，操作十分方便，省時省力。

附圖說明

圖1為本實用新型實施例剖面結構示意圖；

圖2為圖1中A處放大圖；