[實用新型]一種用于碳化硅加工的夾持工裝

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202022796792.1
• 申請日: 2020-11-27
• 公開（公告）號: CN214447531U
• 公開（公告）日: 2021-10-22
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 王志超
• 申請（專利權(quán)）人: 華芯威半導(dǎo)體科技（北京）有限責(zé)任公司
• 主分類號: B28D7/04
• 分類號: B28D7/04
• 代理公司: 北京邦創(chuàng)至誠知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11717
• 代理人: 張宇鋒

1.一種用于碳化硅加工的夾持工裝，其特征在于：包括夾持柱體，所述夾持柱體內(nèi)設(shè)置有夾持腔，所述夾持腔內(nèi)沿周向設(shè)置有若干可伸縮的夾持頭；

所述夾持頭包括外殼體，所述外殼體在朝向夾持腔內(nèi)的一側(cè)設(shè)置有開口，外殼體內(nèi)并排設(shè)置有若干可伸縮的夾持針，所述夾持針的一端在所述開口處伸出，所述外殼體內(nèi)還設(shè)置有用于固位夾持針的定位板；

所述夾持柱體的外側(cè)在對應(yīng)所述夾持頭的位置設(shè)置有伸縮氣缸，所述伸縮氣缸的活塞桿穿過夾持柱體并與所述外殼體固定連接；

所述定位板通過驅(qū)動器控制位移。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于碳化硅加工的夾持工裝，其特征在于：所述外殼體內(nèi)固設(shè)有套管，所述夾持針位于外殼體內(nèi)的一端安裝在所述套管的空腔中，所述空腔內(nèi)設(shè)置有伸縮彈簧，所述伸縮彈簧的一端抵靠在套管的內(nèi)壁上，伸縮彈簧的另一端抵靠在夾持針的端部。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種用于碳化硅加工的夾持工裝，其特征在于：所述夾持針穿過所述定位板，所述定位板上在對應(yīng)各夾持針的位置設(shè)置有活動孔，所述活動孔的尺寸大于夾持針的尺寸，所述驅(qū)動器的驅(qū)動端穿過所述外殼體并與定位板固定連接。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種用于碳化硅加工的夾持工裝，其特征在于：所述夾持針位于所述外殼體外的一端安裝有防護頭，所述防護頭與所述夾持針插接固定。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種用于碳化硅加工的夾持工裝，其特征在于：所述防護頭端部設(shè)置有螺紋桿，所述夾持針的端部設(shè)置有與所述螺紋桿相適配的螺紋孔，二者螺紋連接。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種用于碳化硅加工的夾持工裝，其特征在于：所述外殼體內(nèi)在遠離所述開口的一側(cè)固設(shè)有安裝板，所述安裝板上在對應(yīng)各所述套管的位置設(shè)置有穿孔，套管的端部穿過所述穿孔并通過螺母與安裝板鎖緊。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于碳化硅加工的夾持工裝，其特征在于：所述外殼體的一側(cè)設(shè)置有安裝盒，所述驅(qū)動器固設(shè)所述安裝盒內(nèi)。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于碳化硅加工的夾持工裝，其特征在于：所述夾持腔的下端沿周向設(shè)置有若干安裝槽，所述夾持頭位于所述安裝槽內(nèi)。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于碳化硅加工的夾持工裝，其特征在于：所述夾持腔的頂部沿周向設(shè)置有防護墊。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于碳化硅加工的夾持工裝，其特征在于：所述夾持柱體上端的一側(cè)設(shè)置有觀察窗。