[實(shí)用新型]一種用于碳化硅半導(dǎo)體生產(chǎn)加工的模具結(jié)構(gòu)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202022796775.8
• 申請日: 2020-11-27
• 公開（公告）號: CN213816078U
• 公開（公告）日: 2021-07-27
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 盧小東
• 申請（專利權(quán)）人: 華芯威半導(dǎo)體科技（北京）有限責(zé)任公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 北京邦創(chuàng)至誠知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11717
• 代理人: 張宇鋒

本實(shí)用新型公開的一種用于碳化硅半導(dǎo)體生產(chǎn)加工的模具結(jié)構(gòu)，包括模具本體，所述模具本體的頂部間隔均勻的設(shè)置有若干鑲件單元，模具本體上配合鑲件單元設(shè)置有安裝孔，所述鑲件單元包括兩個并列設(shè)置的鑲塊，兩個鑲塊通過連接部固定連接并且鑲塊關(guān)于連接部對稱設(shè)置，所述鑲塊的寬度與連接部的寬度相等，所述模具本體通過螺釘與鑲塊的底部固定連接，所述模具本體上在與連接部對應(yīng)的位置設(shè)置有輔助卸件螺紋孔。本實(shí)用新型將鑲件采用便于拆卸的結(jié)構(gòu)，大大的降低了工作人員的操作難度，使得鑲件的更換工作變得非常容易，并且在拆卸的過程中不會對模具本體造成任何的損傷，實(shí)用性強(qiáng)。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體加工技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種用于碳化硅半導(dǎo)體生產(chǎn)加工的模具結(jié)構(gòu)。

背景技術(shù)

在碳化硅等半導(dǎo)體生產(chǎn)加工的過程中，需要對其進(jìn)行排列，以滿足加工的需要，之前的模具結(jié)構(gòu)都是直接在整個材料上打出所需的孔結(jié)構(gòu)，這樣雖然生產(chǎn)的時候非常容易，但是一旦后期使用的過程中因?yàn)槟p等原因?qū)е乱粋€或者幾個孔無法正常使用的時候，就必須對模具進(jìn)行整體性的更換，浪費(fèi)材料，增加了使用成本，并且不利于正常的生產(chǎn)秩序。

為了解決上述問題，在公開號為“CN202601584U”的實(shí)用新型專利說明書中公開了一種新型的半導(dǎo)體加工模具，其結(jié)構(gòu)如圖1所示，包括模具主體1-1與鑲件1-2，鑲件1-2上設(shè)置有用于安裝半導(dǎo)體的插孔1-3，模具主體1-1上設(shè)置有安裝孔，鑲件1-2嵌設(shè)在安裝孔內(nèi)，其雖然在理論上實(shí)現(xiàn)了單個結(jié)構(gòu)的可更換型，一旦有某個結(jié)構(gòu)受損的情況下，只需要單獨(dú)更換即可，但是由于鑲件1-2是直接嵌入到安裝孔內(nèi)的，二者之間存在一定的摩擦力，并且鑲件1-2的表面與模具主體1-1的表面相平，這就導(dǎo)致在拆卸舊鑲件1-2的時候非常費(fèi)力，往往是需要將舊鑲件1-2破壞才能取出，但是在操作的過程中，稍加不慎就會對模具主體1-1的結(jié)構(gòu)造成損傷，整體操作難度大，所以亟需研制一種便于拆裝更換的結(jié)構(gòu)。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的在于避免現(xiàn)有技術(shù)的不足之處，提供一種用于碳化硅半導(dǎo)體生產(chǎn)加工的模具結(jié)構(gòu)，從而有效解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的不足之處。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型采取的技術(shù)方案為：一種用于碳化硅半導(dǎo)體生產(chǎn)加工的模具結(jié)構(gòu)，包括模具本體，所述模具本體的頂部間隔均勻的設(shè)置有若干鑲件單元，模具本體上配合鑲件單元設(shè)置有安裝孔，所述鑲件單元包括兩個并列設(shè)置的鑲塊，兩個鑲塊通過連接部固定連接并且鑲塊關(guān)于連接部對稱設(shè)置，所述鑲塊的寬度與連接部的寬度相等，所述模具本體通過螺釘與鑲塊的底部固定連接，所述模具本體上在與連接部對應(yīng)的位置設(shè)置有輔助卸件螺紋孔，輔助卸件螺紋孔的底部設(shè)置有與模具本體的底端貫通的讓位孔，讓位孔的直徑大于輔助卸件螺紋孔的孔徑。

進(jìn)一步，所述鑲塊與連接部為一體式結(jié)構(gòu)。

進(jìn)一步，所述鑲塊上設(shè)置有插槽。

進(jìn)一步，所述插槽的內(nèi)壁上設(shè)置有耐磨層。

進(jìn)一步，所述耐磨層為高鉻合金耐磨層。

進(jìn)一步，所述模具本體上配合螺釘設(shè)置有安裝孔，所述鑲塊上配合螺釘設(shè)置有螺紋孔。

進(jìn)一步，所述模具本體的底部在對應(yīng)螺釘?shù)奈恢迷O(shè)置有空槽結(jié)構(gòu)。

進(jìn)一步，所述輔助卸件螺紋孔的高度為5-10mm。

本實(shí)用新型的上述技術(shù)方案具有以下有益效果：本實(shí)用新型將鑲件采用便于拆卸的結(jié)構(gòu)，大大的降低了工作人員的操作難度，使得鑲件的更換工作變得非常容易，并且在拆卸的過程中不會對模具本體造成任何的損傷，實(shí)用性強(qiáng)。

附圖說明

圖1為現(xiàn)有技術(shù)中半導(dǎo)體加工模具的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本實(shí)用新型實(shí)施例結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3為本實(shí)用新型實(shí)施例鑲件單元結(jié)構(gòu)示意圖；

圖4為本實(shí)用新型實(shí)施例分解圖。