[實用新型]一種CSP防切割污染裝置

有效

• 申請號: 202022791908.2
• 申請日: 2020-11-27
• 公開（公告）號: CN213845247U
• 公開（公告）日: 2021-07-30
• 發明（設計）人: 陳文娟;胡玲玲;李雍;瞿澄;羅雪方
• 申請（專利權）人: 羅化芯顯示科技開發（江蘇）有限公司
• 主分類號: H01L21/78
• 分類號: H01L21/78;H01L21/67;H01L23/31
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種CSP防切割污染裝置，包括加工床(1)，其特征在于：所述加工床(1)上端后部固定連接有烘干裝置(9)，所述加工床(1)內下壁左部和內下壁右部均固定連接有滑桿(2)，兩個所述滑桿(2)前端均活動穿插連接有液壓推桿(3)，兩個所述滑桿(2)上端共同滑動連接有CSP結構(5)，所述加工床(1)左端上部活動穿插連接有切割裝置(7)，所述加工床(1)內下壁中部開有穿通的透水槽(4)，所述加工床(1)內部固定連接有水箱(8)，所述水箱(8)右端中部活動穿插連接有供水管(11)，所述加工床(1)上端中部固定穿插連接有冷卻水管(6)，所述加工床(1)右端后部等距離固定連接有三個水解管(10)，且三個水解管(10)右端均固定穿插連接在供水管(11)后端，三個所述水解管(10)外表面下側均開有若干個水解孔(12)。

2.根據權利要求1所述的一種CSP防切割污染裝置，其特征在于：所述CSP結構(5)包括防割滑板(51)，所述防割滑板(51)上端中部固定連接有封裝體(52)，所述封裝體(52)上端等距離固定連接有若干個芯片板(53)，若干個所述芯片板(53)上端均固定連接有芯片(54)，所述封裝體(52)上端粘接有保護膜(55)，所述防割滑板(51)下端滑動連接在滑桿(2)內。

3.根據權利要求2所述的一種CSP防切割污染裝置，其特征在于：所述防割滑板(51)前端緊貼兩個液壓推桿(3)后端，所述防割滑板(51)左端和右端均不與加工床(1)左右兩側的內壁接觸。

4.根據權利要求1所述的一種CSP防切割污染裝置，其特征在于：所述切割裝置(7)包括電機(71)，所述電機(71)輸出端固定連接有轉軸(72)，所述轉軸(72)外表面等距離固定連接有五個切割刀片(73)，所述轉軸(72)右端固定穿插連接有軸承(74)，所述軸承(74)固定連接在加工床(1)內右壁中部，所述轉軸(72)活動穿插連接在加工床(1)左端上部，所述電機(71)固定連接在加工床(1)左端上部。

5.根據權利要求4所述的一種CSP防切割污染裝置，其特征在于：所述轉軸(72)位于冷卻水管(6)正下方，所述切割刀片(73)外表面下側與防割滑板(51)上端接觸，所述轉軸(72)外表面下側不與保護膜(55)上端接觸。

6.根據權利要求1所述的一種CSP防切割污染裝置，其特征在于：所述烘干裝置(9)包括烘干箱(91)，所述烘干箱(91)右端上部固定穿插連接有三個加熱管(92)，所述烘干箱(91)上端開有若干個透汽孔(93)，所述烘干箱(91)內下壁左部和內下壁右部均開有卡槽(94)，兩個所述卡槽(94)內共同滑動連接有CSP結構(5)，所述CSP結構(5)上端不與加熱管(92)外表面下側接觸。