[實(shí)用新型]一種晶棒表面損傷層去除裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202022779632.6
• 申請日: 2020-11-26
• 公開（公告）號: CN213673467U
• 公開（公告）日: 2021-07-13
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 樊海強(qiáng);高佑君;王鼎
• 申請（專利權(quán)）人: 忻州中科晶電信息材料有限公司
• 主分類號: B24B27/033
• 分類號: B24B27/033;B24B41/06;B24B41/00
• 代理公司: 太原達(dá)引擎專利代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 14120
• 代理人: 朱世婷

本實(shí)用新型具體涉及一種晶棒表面損傷層去除裝置，屬于半導(dǎo)體加工技術(shù)領(lǐng)域，所要解決的問題是提供一種高效的晶棒表面損傷層去除裝置，采用的方案為：支撐底座上連接有相配合設(shè)置的左夾持件和右夾持件，且晶棒可相對左夾持件和右夾持件自轉(zhuǎn)，晶棒的下方設(shè)置有軸向豎直的磨料盤，磨料盤的下部同軸連接有橫移支撐桿，磨料盤可相對橫移支撐桿自轉(zhuǎn)，橫移支撐桿下方水平設(shè)置有升降平臺，升降平臺上設(shè)置有與晶棒延伸方向一致的橫移滑道，橫移支撐桿上連接有驅(qū)動其沿橫移滑道往復(fù)橫移的橫移驅(qū)動件，升降平臺上連接有驅(qū)動其升降的升降底座；本實(shí)用新型使用方便，可以高效地去除晶棒表面損傷層。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型屬于半導(dǎo)體加工技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種晶棒表面損傷層去除裝置。

背景技術(shù)

晶棒在生長過程中或者在后序加工過程中，其表面會存在損傷層，需要對晶棒表面的損傷層進(jìn)行去除才可以進(jìn)行后序的加工利用，因此，高效、高質(zhì)量地去除晶棒表面損傷層顯得尤為重要。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型克服了現(xiàn)有技術(shù)存在的不足，提供了一種晶棒表面損傷層去除裝置，將晶棒活動水平夾持后，通過活動的磨料盤對晶棒的損傷處進(jìn)行打磨去除，不僅使用方便，而且針對性強(qiáng)，可以高效、高質(zhì)量地去除晶棒表面損傷層。

為了解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案為：一種晶棒表面損傷層去除裝置，包括：支撐底座、左夾持件、磨料盤、右夾持件、電動推桿、升降底座、升降平臺、橫移滑道和橫移支撐桿，所述支撐底座上連接有相配合設(shè)置的所述左夾持件和右夾持件，所述左夾持件和右夾持件用于將水平設(shè)置的晶棒端部夾持，且晶棒可相對所述左夾持件和右夾持件自轉(zhuǎn)，所述左夾持件相對所述支撐底座固定，所述右夾持件與水平設(shè)置的所述電動推桿的活塞桿固定，所述電動推桿相對所述支撐底座固定，所述晶棒的下方設(shè)置有軸向豎直的所述磨料盤，所述磨料盤的下部同軸連接有所述橫移支撐桿，所述磨料盤可相對所述橫移支撐桿自轉(zhuǎn)，所述橫移支撐桿下方水平設(shè)置有所述升降平臺，所述升降平臺上設(shè)置有與晶棒延伸方向一致的所述橫移滑道，所述橫移支撐桿的下端滑動卡接于所述橫移滑道上，所述橫移支撐桿上連接有驅(qū)動其沿所述橫移滑道往復(fù)橫移的橫移驅(qū)動件，所述升降平臺上連接有驅(qū)動其升降的所述升降底座。

將待去除損傷層的晶棒左端放入左夾持件上，通過電動推桿推動右夾持件向晶棒端部移動將晶棒夾持，且晶棒可相對所述左夾持件和右夾持件自轉(zhuǎn)，然后通過升降底座將磨料盤的上磨料盤面頂住晶棒的下端表面，通過手動轉(zhuǎn)動晶棒和橫移支撐桿的橫移，選擇需要磨除的位置，磨料盤上連接有旋轉(zhuǎn)驅(qū)動件，然后打開旋轉(zhuǎn)驅(qū)動件驅(qū)動磨料盤轉(zhuǎn)動，通過磨料盤將待去除損傷層的晶棒的表面損傷磨除。

所述左夾持件和右夾持件均包括：楔形塊、導(dǎo)筒、環(huán)形保持架、滾珠和頂部支撐件，所述導(dǎo)筒采用一端敞口一端封閉的筒狀結(jié)構(gòu)，軸向水平設(shè)置的所述導(dǎo)筒內(nèi)圍繞其軸向均勻設(shè)置有多個(gè)所述楔形塊，所述楔形塊的傾斜面與所述導(dǎo)筒內(nèi)壁貼合，且所述楔形塊可相對所述導(dǎo)筒的內(nèi)壁滑動，使得楔形塊塊體進(jìn)入所述導(dǎo)筒內(nèi)部或者楔形塊塊體的一端滑出所述導(dǎo)筒，所述楔形塊朝向所述導(dǎo)筒軸心的一側(cè)均活動卡接有滾珠，多個(gè)所述滾珠用于將晶棒活動夾持，晶棒同軸放置于所述導(dǎo)筒內(nèi)，滾珠的表面與晶棒的表面滾動接觸，若干個(gè)具有彈性的所述環(huán)形保持架貫穿多個(gè)所述楔形塊，所述環(huán)形保持架采用不閉合的環(huán)形結(jié)構(gòu)，所述環(huán)形保持架用于將多個(gè)所述楔形塊貫穿成一個(gè)整體，使得多個(gè)所述楔形塊同時(shí)相對所述導(dǎo)筒的內(nèi)壁滑動，當(dāng)楔形塊在導(dǎo)筒內(nèi)滑動時(shí)，隨著楔形塊與導(dǎo)筒相對位置的變化，多個(gè)所述楔形塊圍成的中間環(huán)直徑逐漸變化，從而適應(yīng)不同直徑的晶棒，當(dāng)楔形塊越深入導(dǎo)筒內(nèi)部，多個(gè)楔形塊中間形成的中間環(huán)直徑越小，所述導(dǎo)筒的端部連接有用于頂緊晶棒端部的所述頂部支撐件，所述頂部支撐件可相對所述導(dǎo)筒自轉(zhuǎn)。

所述左夾持件的導(dǎo)筒和所述右夾持件的導(dǎo)筒筒口相對設(shè)置，所述左夾持件的導(dǎo)筒底部外壁與支撐底座固定，所述右夾持件的導(dǎo)筒底部外壁與所述電動推桿的活塞桿固定。