[實用新型]一種晶棒表面損傷層去除裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202022779632.6
• 申請日: 2020-11-26
• 公開（公告）號: CN213673467U
• 公開（公告）日: 2021-07-13
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 樊海強;高佑君;王鼎
• 申請（專利權(quán)）人: 忻州中科晶電信息材料有限公司
• 主分類號: B24B27/033
• 分類號: B24B27/033;B24B41/06;B24B41/00
• 代理公司: 太原達引擎專利代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 14120
• 代理人: 朱世婷

1.一種晶棒表面損傷層去除裝置，其特征在于，包括：支撐底座(1)、左夾持件(2)、磨料盤(3)、右夾持件(5)、電動推桿(6)、升降底座(7)、升降平臺(8)、橫移滑道(10)和橫移支撐桿(12)，所述支撐底座(1)上連接有相配合設(shè)置的所述左夾持件(2)和右夾持件(5)，所述左夾持件(2)和右夾持件(5)用于將水平設(shè)置的晶棒(4)端部夾持，且晶棒(4)可相對所述左夾持件(2)和右夾持件(5)自轉(zhuǎn)，所述左夾持件(2)相對所述支撐底座(1)固定，所述右夾持件(5)與水平設(shè)置的所述電動推桿(6)的活塞桿固定，所述電動推桿(6)相對所述支撐底座(1)固定，所述晶棒(4)的下方設(shè)置有軸向豎直的所述磨料盤(3)，所述磨料盤(3)的下部同軸連接有所述橫移支撐桿(12)，所述磨料盤(3)可相對所述橫移支撐桿(12)自轉(zhuǎn)，所述橫移支撐桿(12)下方水平設(shè)置有所述升降平臺(8)，所述升降平臺(8)上設(shè)置有與晶棒(4)延伸方向一致的所述橫移滑道(10)，所述橫移支撐桿(12)的下端滑動卡接于所述橫移滑道(10)上，所述橫移支撐桿(12)上連接有驅(qū)動其沿所述橫移滑道(10)往復(fù)橫移的橫移驅(qū)動件，所述升降平臺(8)上連接有驅(qū)動其升降的所述升降底座(7)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶棒表面損傷層去除裝置，其特征在于，所述左夾持件(2)和右夾持件(5)均包括：楔形塊(13)、導(dǎo)筒(14)、環(huán)形保持架(15)、滾珠(16)和頂部支撐件(17)，軸向水平設(shè)置的所述導(dǎo)筒(14)內(nèi)圍繞其軸向均勻設(shè)置有多個所述楔形塊(13)，所述楔形塊(13)的傾斜面與所述導(dǎo)筒(14)內(nèi)壁貼合，且所述楔形塊(13)可相對所述導(dǎo)筒(14)的內(nèi)壁滑動，所述楔形塊(13)朝向所述導(dǎo)筒(14)軸心的一側(cè)均活動卡接有滾珠(16)，多個所述滾珠(16)用于將晶棒(4)活動夾持，若干個具有彈性的所述環(huán)形保持架(15)貫穿多個所述楔形塊(13)，所述環(huán)形保持架(15)采用不閉合的環(huán)形結(jié)構(gòu)，所述環(huán)形保持架(15)用于將多個所述楔形塊(13)貫穿成一個整體，所述導(dǎo)筒(14)的端部連接有用于頂緊晶棒(4)端部的所述頂部支撐件(17)，所述頂部支撐件(17)可相對所述導(dǎo)筒(14)自轉(zhuǎn)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種晶棒表面損傷層去除裝置，其特征在于，所述頂部支撐件(17)包括：壓縮彈簧(18)、緩沖腔(19)、定位柱(20)、支撐柱(21)和端部托槽(22)，水平設(shè)置的所述定位柱(20)設(shè)置于所述導(dǎo)筒(14)底部，所述定位柱(20)的一端與所述導(dǎo)筒(14)軸承連接，所述定位柱(20)內(nèi)部同軸設(shè)置有所述緩沖腔(19)，所述緩沖腔(19)的開口延伸至所述定位柱(20)背離所述導(dǎo)筒(14)底部的一端，水平設(shè)置的所述支撐柱(21)的一端設(shè)置于所述緩沖腔(19)內(nèi)，所述支撐柱(21)可相對所述緩沖腔(19)往復(fù)滑動，所述支撐柱(21)與所述緩沖腔(19)底部之間連接有水平設(shè)置的所述壓縮彈簧(18)，所述支撐柱(21)的另一端設(shè)置于所述緩沖腔(19)的外部并固定有所述端部托槽(22)，所述端部托槽(22)用于頂緊晶棒(4)的端部。

4.根據(jù)權(quán)利要求1或3所述的一種晶棒表面損傷層去除裝置，其特征在于，所述橫移驅(qū)動件包括：驅(qū)動腔(23)、絲桿(24)、條形孔(25)、螺紋套管(27)、牽拉件(11)和橫移導(dǎo)桿(9)，所述升降平臺(8)內(nèi)部設(shè)置有所述驅(qū)動腔(23)，所述驅(qū)動腔(23)的下部設(shè)置有與所述橫移滑道(10)平行的所述條形孔(25)，所述驅(qū)動腔(23)內(nèi)連接有與所述橫移滑道(10)平行的所述絲桿(24)，所述絲桿(24)與所述驅(qū)動腔(23)軸承連接，所述絲桿(24)的端部連接有用于驅(qū)動所述絲桿(24)轉(zhuǎn)動的電機A，所述絲桿(24)上螺紋連接有所述螺紋套管(27)，豎直設(shè)置的所述橫移導(dǎo)桿(9)的上端與所述螺紋套管(27)固定，所述橫移導(dǎo)桿(9)的下端貫穿所述條形孔(25)延伸至所述驅(qū)動腔(23)外部，所述橫移導(dǎo)桿(9)與所述橫移支撐桿(12)之間連接有所述牽拉件(11)，所述橫移導(dǎo)桿(9)沿所述條形孔(25)往復(fù)移動時，在所述牽拉件(11)的牽拉作用下驅(qū)動所述橫移支撐桿(12)沿所述橫移滑道(10)往復(fù)移動。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種晶棒表面損傷層去除裝置，其特征在于，所述牽拉件(11)采用鋼絲繩。