[實用新型]一種用于MAX相二維材料的蝕刻裝置

有效

• 申請號: 202022769556.0
• 申請日: 2020-11-25
• 公開（公告）號: CN213583711U
• 公開（公告）日: 2021-06-29
• 發明（設計）人: 董金勇;高燕凌;董峰
• 申請（專利權）人: 中銘瓷(蘇州)納米粉體技術有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 蘇州市中南偉業知識產權代理事務所(普通合伙) 32257
• 代理人: 朱振德

1.一種用于MAX相二維材料的蝕刻裝置，其特征在于：包括裝置箱體(1)，所述裝置箱體(1)內部固定設置有蝕刻池(2)，所述裝置箱體(1)一側固定設置有支架筒(3)，所述支架筒(3)內部套設有升降桿(4)，所述升降桿(4)頂端固定設置有密封升降臺(5)，所述密封升降臺(5)中部固定設置有固定安裝槽(6)，所述裝置箱體(1)頂部固定設置有蝕刻放置口(7)，所述固定安裝槽(6)與蝕刻放置口(7)豎直對應設置；

所述固定安裝槽(6)內部固定兩側均固定設置有支架桿(8)，兩個支架桿(8)底部之前設置有活動臺(9)，所述固定安裝槽(6)底部固定設置有固定支架臺(10)，所述定支架臺(10)內部均勻固定設置有夾緊墊板(11)，所述活動臺(9)底端面均勻固定設置有活動夾板(12)，所述夾緊墊板(11)與活動夾板(12)對應夾緊設置，所述活動臺(9)頂端面固定設置有活動塊(13)，所述活動塊(13)與支架桿(8)活動連接，所述固定安裝槽(6)頂部固定設置有調節螺桿(14)，所述活動塊(13)頂部固定設置有螺紋塊(15)，所訴螺紋塊(15)與調節螺桿(14)螺紋連接。

2.根據權利要求1所述的一種用于MAX相二維材料的蝕刻裝置，其特征在于：所述蝕刻池(2)由耐腐蝕材料制成，所述蝕刻池(2)底部固定設置有蝕刻液出口。

3.根據權利要求1所述的一種用于MAX相二維材料的蝕刻裝置，其特征在于：所述支架筒(3)數量設置為兩個，所述支架筒(3)設置于裝置箱體(1)內部，所述支架筒(3)頂端貫穿裝置箱體(1)頂部，所述裝置箱體(1)外部一側固定設置有升降油缸(16)，所述升降油缸(16)輸出端與密封升降臺(5)固定連接。

4.根據權利要求1所述的一種用于MAX相二維材料的蝕刻裝置，其特征在于：所述夾緊墊板(11)和活動夾板(12)相對的一側均固定設置有夾緊墊(17)，所述夾緊墊(17)由橡膠材料制成。

5.根據權利要求1所述的一種用于MAX相二維材料的蝕刻裝置，其特征在于：所述調節螺桿(14)一端固定設置有驅動電機(18)，所述驅動電機(18)輸出端與調節螺桿(14)固定連接。

6.根據權利要求1所述的一種用于MAX相二維材料的蝕刻裝置，其特征在于：所述裝置箱體(1)頂部固定設置有工作支架臺(19)，所述工作支架臺(19)一端延伸出裝置箱體(1)，所述工作支架臺(19)頂部活動設置有活動工作臺(20)。

7.根據權利要求6所述的一種用于MAX相二維材料的蝕刻裝置，其特征在于：所述工作支架臺(19)一側底部固定設置有活動滑桿(21)，所述活動工作臺(20)底部一側固定設置有滑動塊(22)，所述滑動塊(22)與活動滑桿(21)活動連接。

8.根據權利要求7所述的一種用于MAX相二維材料的蝕刻裝置，其特征在于：所述裝置箱體(1)底部與活動工作臺(20)底部之間設置有推動氣缸(23)，所述推動氣缸(23)輸出端與滑動塊(22)鉸接設置，所述滑動塊(22)缸體端與裝置箱體(1)鉸接設置。