[實用新型]晶圓用的化學機械研磨機臺有效
| 申請號： | 202022751347.3 | 申請日： | 2020-11-25 |
| 公開（公告）號： | CN213999055U | 公開（公告）日： | 2021-08-20 |
| 發明（設計）人： | 汪戩 | 申請（專利權）人： | 中盛興業科技發展有限公司 |
| 主分類號： | B24B37/34 | 分類號： | B24B37/34;B24B37/30;H01L21/67 |
| 代理公司： | 蘇州市方略專利代理事務所(普通合伙) 32267 | 代理人： | 朱智杰 |
| 地址： | 315000 浙江省寧波市*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 晶圓用 化學 機械 研磨 機臺 | ||
【權利要求書】：
1.一種晶圓用的化學機械研磨機臺，其特征在于，包含：
基座，為金屬圓盤狀，中心位置開設有軸孔，供以固定插設旋轉軸芯，且所述軸孔的環側設有至少三個導流孔，所述導流孔貫穿所述基座；其中所述導流孔分別與所述軸孔等距，且相鄰的二個所述導流孔相互連成線可成形為正多邊形；
研磨墊，對應設置于所述基座一側，所述研磨墊具有若干個溝槽與對應所述導流孔數量設有至少三個漿料孔，所述漿料孔分別對應所述導流孔設置而形成導通狀態，所述漿料孔與所述溝槽亦相互連通，且所述溝槽分別延伸至所述研磨墊側邊而形成開放導流狀態；及
晶圓固定座，對應設置于所述研磨墊下方，所述晶圓固定座供以設置并固定晶圓。
2.根據權利要求1所述的晶圓用的化學機械研磨機臺，其特征在于，所述軸孔為盲孔樣態。
3.根據權利要求2所述的晶圓用的化學機械研磨機臺，其特征在于，所述導流孔數量為四個。
4.根據權利要求3所述的晶圓用的化學機械研磨機臺，其特征在于，所述基座為鑄鐵材質。
5.根據權利要求4所述的晶圓用的化學機械研磨機臺，其特征在于，所述基座與研磨墊通過黏合方式固定。
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