[實用新型]一種硅片花籃有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 202022746425.0 | 申請日: | 2020-11-24 |
| 公開(公告)號: | CN213401124U | 公開(公告)日: | 2021-06-08 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 陳海燕;沈雯;鄧偉偉 | 申請(專利權(quán))人: | 蘇州阿特斯陽光電力科技有限公司;阿特斯陽光電力集團(tuán)股份有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/673 | 分類號: | H01L21/673 |
| 代理公司: | 北京品源專利代理有限公司 11332 | 代理人: | 胡彬 |
| 地址: | 215129 江*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 硅片 花籃 | ||
1.一種硅片花籃,其特征在于,包括:
兩個端板(2),兩個所述端板(2)平行且間隔設(shè)置;
多個第一花籃桿(1),每個所述第一花籃桿(1)的兩端均分別與兩個所述端板(2)相連接,每個所述第一花籃桿(1)均包括第一本體(11)和多個第一卡齒(12),多個所述第一卡齒(12)沿所述第一本體(11)的長度方向間隔設(shè)置,相鄰兩個所述第一卡齒(12)之間形成用于卡接硅片(100)的第一卡槽,每個所述第一卡齒(12)均包括多個沿所述第一本體(11)的寬度方向設(shè)置且相互連接的第一分齒(121)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片花籃,其特征在于,每個所述第一分齒(121)的橫截面積由靠近所述第一本體(11)到遠(yuǎn)離所述第一本體(11)的方向逐漸減小。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的硅片花籃,其特征在于,每個所述第一分齒(121)在朝向所述第一卡槽的一面均凸設(shè)有多個凸點。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片花籃,其特征在于,所述第一本體(11)的截面形狀為橢圓形結(jié)構(gòu)或者矩形結(jié)構(gòu)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片花籃,其特征在于,所述第一花籃桿(1)還包括連接環(huán)(13),在所述第一本體(11)的兩端均環(huán)設(shè)有所述連接環(huán)(13),所述連接環(huán)(13)被配置為與所述端板(2)相連接。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的硅片花籃,其特征在于,所述連接環(huán)(13)、所述第一本體(11)及所述第一本體(11)上的多個所述第一卡齒(12)為一體成型結(jié)構(gòu)。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片花籃,其特征在于,所述端板(2)和所述第一花籃桿(1)均采用塑料材質(zhì)制作而成。
8.根據(jù)權(quán)利要求1-7任一項所述的硅片花籃,其特征在于,所述硅片花籃還包括第二花籃桿(3),所述第二花籃桿(3)的兩端分別與兩個所述端板(2)可拆卸連接,且所述第二花籃桿(3)位于多個所述第一花籃桿(1)之間,所述第二花籃桿(3)能夠與部分所述第一花籃桿(1)共同卡接所述硅片(100)。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的硅片花籃,其特征在于,所述第二花籃桿(3)包括:
第二本體(31),所述第二本體(31)的兩端分別與兩個所述端板(2)相連;
多個第二卡齒(32),多個所述第二卡齒(32)沿所述第二本體(31)的長度方向間隔設(shè)置,相鄰兩個所述第二卡齒(32)之間形成用于卡接硅片(100)的第二卡槽,每個所述第二卡齒(32)均包括沿所述第二本體(31)周向設(shè)置的若干第二分齒(321)。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的硅片花籃,其特征在于,所述第二本體(31)的截面形狀為圓形結(jié)構(gòu)。
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





