[實用新型]一種用于硅片的修整裝置

有效

• 申請號: 202022690358.5
• 申請日: 2020-11-19
• 公開（公告）號: CN214322943U
• 公開（公告）日: 2021-10-01
• 發明（設計）人: 劉小祥;方小明;趙紀平;方萌
• 申請（專利權）人: 浙江旭盛電子有限公司
• 主分類號: B24B29/02
• 分類號: B24B29/02;B24B27/00;B24B41/06;B24B47/20;B24B47/12;B24B41/00;B24B47/00
• 代理公司: 溫州青科專利代理事務所(特殊普通合伙) 33390
• 代理人: 錢磊

本實用新型涉及硅片加工技術領域，且公開了一種用于硅片的修整裝置，包括機箱、工作臺和支撐盤，所述工作臺的底部與機箱的頂部固定連接，所述支撐盤的底部與工作臺的頂部固定連接，所述支撐盤的頂部開設有放置腔，所述工作臺的一側固定連接有支撐柱。該用于硅片的修整裝置，通過液壓缸推動拋光電機和拋光片下降，通過拋光片對硅片的表面進行修整，當硅片修整完成后，通過電動推桿可以推動偏心輪轉動，偏心輪在轉動的過程中，其頂部會推動活動板向上移動，帶動頂出桿向上移動，頂出桿的頂端推動硅片向上移動，使得硅片從放置腔的內部分離，從而使得該裝置達到了便于將拋光之后的硅片從裝置的內部取出的效果。

技術領域

本實用新型涉及硅片加工技術領域，具體為一種用于硅片的修整裝置。

背景技術

地殼中含量達25.8％的硅元素，為單晶硅的生產提供了取之不盡的源泉，硅片制成的芯片是有名的“神算子”，有著驚人的運算能力，廣泛運用于高科技產業。

在硅片加工完成后，需要對硅片進行拋光修整，將硅片放置到修整裝置的內部，然后通過拋光裝置來對硅片的表面進行拋光，使得拋光表面具有晶格完整性、高的平面度及潔凈性，這類裝置在拋光完成之后，需要將硅片從裝置的內部取出，在取出的過程中，由于硅片的底部緊貼在裝置的表面，使得硅片不方便拿取，為此我們提出了一種用于硅片的修整裝置。

實用新型內容

(一)解決的技術問題

針對現有技術的不足，本實用新型提供了一種用于硅片的修整裝置，具備便于將拋光之后的硅片從裝置的內部取出的優點，解決了上述背景技術中所提出的問題。

(二)技術方案

本實用新型提供如下技術方案：一種用于硅片的修整裝置，包括機箱、工作臺和支撐盤，所述工作臺的底部與機箱的頂部固定連接，所述支撐盤的底部與工作臺的頂部固定連接，所述支撐盤的頂部開設有放置腔，所述工作臺的一側固定連接有支撐柱，所述支撐柱的頂部固定連接有安裝有旋轉電機，所述旋轉電機的一側固定連接有伸縮臂，所述伸縮臂遠離旋轉電機的一側固定連接有頂板，所述頂板的內部固定連接有液壓缸，所述液壓缸的底部固定安裝有拋光電機，所述拋光電機的底部固定連接有拋光片。

所述工作臺的內部開設有空槽，所述空槽的內部開設有偏心輪，所述空槽的內側壁固定連接有電動推桿，所述電動推桿遠離空槽內側壁的一端通過連桿與偏心輪的一側活動連接，所述偏心輪的頂部搭接有活動板，所述活動板的頂部固定連接有頂出桿，所述工作臺的頂部固定連接有導向柱，所述活動板與導向柱活動連接。

優選的，所述頂板底部的兩側均固定連接有導向套管，所述導向套管的底端與拋光電機的兩側固定連接。

優選的，所述連桿的一端與電動推桿的一端鉸接，所述連桿的另一端與偏心輪的一側鉸接。

優選的，所述活動板的內部開設有導向槽，所述導向柱與導向槽的內部活動連接。

優選的，所述放置腔的底部為空心設置，所述頂出桿與放置腔的內部活動連接。

優選的，所述導向柱的頂端固定連接有擋塊，所述擋塊的底部與活動板的底部搭接。

與現有技術相比，本實用新型提供了一種用于硅片的修整裝置，具備以下有益效果：

1、該用于硅片的修整裝置，將需要加工的硅片放置到支撐盤頂部的放置腔內，再通過液壓缸推動拋光電機和拋光片下降，通過拋光片對硅片的表面進行修整，當硅片修整完成后，通過電動推桿可以推動偏心輪轉動，偏心輪在轉動的過程中，其頂部會推動活動板向上移動，帶動頂出桿向上移動，頂出桿的頂端推動硅片向上移動，使得硅片從放置腔的內部分離，從而使得該裝置達到了便于將拋光之后的硅片從裝置的內部取出的效果。