[實(shí)用新型]一種用于硅片的修整裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202022690358.5
• 申請(qǐng)日: 2020-11-19
• 公開（公告）號(hào): CN214322943U
• 公開（公告）日: 2021-10-01
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 劉小祥;方小明;趙紀(jì)平;方萌
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 浙江旭盛電子有限公司
• 主分類號(hào): B24B29/02
• 分類號(hào): B24B29/02;B24B27/00;B24B41/06;B24B47/20;B24B47/12;B24B41/00;B24B47/00
• 代理公司: 溫州青科專利代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 33390
• 代理人: 錢磊

1.一種用于硅片的修整裝置，包括機(jī)箱(1)、工作臺(tái)(2)和支撐盤(3)，其特征在于：所述工作臺(tái)(2)的底部與機(jī)箱(1)的頂部固定連接，所述支撐盤(3)的底部與工作臺(tái)(2)的頂部固定連接，所述支撐盤(3)的頂部開設(shè)有放置腔(4)，所述工作臺(tái)(2)的一側(cè)固定連接有支撐柱(5)，所述支撐柱(5)的頂部固定連接有安裝有旋轉(zhuǎn)電機(jī)(6)，所述旋轉(zhuǎn)電機(jī)(6)的一側(cè)固定連接有伸縮臂(7)，所述伸縮臂(7)遠(yuǎn)離旋轉(zhuǎn)電機(jī)(6)的一側(cè)固定連接有頂板(8)，所述頂板(8)的內(nèi)部固定連接有液壓缸(9)，所述液壓缸(9)的底部固定安裝有拋光電機(jī)(10)，所述拋光電機(jī)(10)的底部固定連接有拋光片(11)；

所述工作臺(tái)(2)的內(nèi)部開設(shè)有空槽(13)，所述空槽(13)的內(nèi)部開設(shè)有偏心輪(14)，所述空槽(13)的內(nèi)側(cè)壁固定連接有電動(dòng)推桿(15)，所述電動(dòng)推桿(15)遠(yuǎn)離空槽(13)內(nèi)側(cè)壁的一端通過連桿(16)與偏心輪(14)的一側(cè)活動(dòng)連接，所述偏心輪(14)的頂部搭接有活動(dòng)板(17)，所述活動(dòng)板(17)的頂部固定連接有頂出桿(18)，所述工作臺(tái)(2)的頂部固定連接有導(dǎo)向柱(19)，所述活動(dòng)板(17)與導(dǎo)向柱(19)活動(dòng)連接。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于硅片的修整裝置，其特征在于：所述頂板(8)底部的兩側(cè)均固定連接有導(dǎo)向套管(12)，所述導(dǎo)向套管(12)的底端與拋光電機(jī)(10)的兩側(cè)固定連接。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于硅片的修整裝置，其特征在于：所述連桿(16)的一端與電動(dòng)推桿(15)的一端鉸接，所述連桿(16)的另一端與偏心輪(14)的一側(cè)鉸接。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于硅片的修整裝置，其特征在于：所述活動(dòng)板(17)的內(nèi)部開設(shè)有導(dǎo)向槽(20)，所述導(dǎo)向柱(19)與導(dǎo)向槽(20)的內(nèi)部活動(dòng)連接。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于硅片的修整裝置，其特征在于：所述放置腔(4)的底部為空心設(shè)置，所述頂出桿(18)與放置腔(4)的內(nèi)部活動(dòng)連接。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于硅片的修整裝置，其特征在于：所述導(dǎo)向柱(19)的頂端固定連接有擋塊，所述擋塊的底部與活動(dòng)板(17)的底部搭接。