[實用新型]晶舟結(jié)構(gòu)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202022664501.3
• 申請日: 2020-11-17
• 公開（公告）號: CN213519900U
• 公開（公告）日: 2021-06-22
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 林博文
• 申請（專利權(quán)）人: 凱樂士股份有限公司
• 主分類號: H01L21/673
• 分類號: H01L21/673
• 代理公司: 北京申翔知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11214
• 代理人: 趙夢雯;艾晶

1.一種晶舟結(jié)構(gòu)，適用于承載至少一晶圓(50)，其特征在于，包括：

一無壓燒結(jié)碳化硅底座(10)；

一無壓燒結(jié)碳化硅支撐裝置(20)，具有復(fù)數(shù)個支撐部(21)，其間隔連接于該無壓燒結(jié)碳化硅底座(10)，且該些支撐部(21)與該無壓燒結(jié)碳化硅底座(10)之間具有一容置空間(40)，以供容置該晶圓(50)；以及

復(fù)數(shù)個無壓燒結(jié)碳化硅凸肋(30)，其間隔設(shè)置于每一該支撐部(21)上，位于每一該支撐部(21)上的該些無壓燒結(jié)碳化硅凸肋(30)的位置彼此水平對應(yīng)設(shè)置，使該晶圓(50)的周緣嵌合于相鄰的該無壓燒結(jié)碳化硅凸肋(30)之間。

2.如權(quán)利要求1所述的晶舟結(jié)構(gòu)，其特征在于，該無壓燒結(jié)碳化硅底座(10)、該無壓燒結(jié)碳化硅支撐裝置(20)與該些無壓燒結(jié)碳化硅凸肋(30)一體成型。

3.如權(quán)利要求1所述的晶舟結(jié)構(gòu)，其特征在于，相鄰的該無壓燒結(jié)碳化硅凸肋(30)之間具有一嵌合部(31)。

4.如權(quán)利要求1所述的晶舟結(jié)構(gòu)，其特征在于，該無壓燒結(jié)碳化硅底座(10)具有一上底座(11)與一下底座(12)，該上底座(11)與該下底座(12)為相對應(yīng)設(shè)置，該些支撐部(21)垂直間隔環(huán)繞連接于該上底座(11)與該下底座(12)之間，以形成一立式晶舟結(jié)構(gòu)，使該上底座(11)、該下底座(12)與該些支撐部(21)之間具有該容置空間(40)。

5.如權(quán)利要求4所述的晶舟結(jié)構(gòu)，其特征在于，相對位置的該些支撐部(21)上設(shè)置有至少一固定部(60)。

6.如權(quán)利要求1所述的晶舟結(jié)構(gòu)，其特征在于，該無壓燒結(jié)碳化硅底座(10)包括一弧面形成本體(13)以及間隔連接于該弧面形成本體(13)下方位置的復(fù)數(shù)個定位件(131)，該弧面形成本體(13)具有一弧面基準部(132)，該弧面基準部(132)的側(cè)面呈弧形狀，該些支撐部(21)沿著該弧面基準部(132)水平間隔設(shè)置，以形成一臥式晶舟結(jié)構(gòu)(200)，該些支撐部(21)位于該弧面形成本體(13)上方位置，且每一該支撐部(21)位置相對應(yīng)該每一該定位件(131)，使該弧面形成本體(13)與該些支撐部(21)之間具有該容置空間(40)。

7.如權(quán)利要求6所述的晶舟結(jié)構(gòu)，其特征在于，該弧面形成本體(13)、該些定位件(131)與該些支撐部(21)為一體成型。

8.如權(quán)利要求1所述的晶舟結(jié)構(gòu)，其特征在于，該無壓燒結(jié)碳化硅底座(10)具有兩對稱的側(cè)座(14)，該側(cè)座(14)由一平面部(141)及自該平面部(141)的兩側(cè)向上延伸的一傾斜部(142)所構(gòu)成，該側(cè)座(14)具有貫穿上、下表面的復(fù)數(shù)個第一對接部(143)，該些支撐部(21)水平間隔連接于兩該側(cè)座(14)之間，以形成一臥式晶舟結(jié)構(gòu)(200)，每一該支撐部(21)的兩端具有一第二對接部(211)，該些第一對接部(143)的位置分別對應(yīng)連接于每一該第二對接部(211)的位置。

9.如權(quán)利要求8所述的晶舟結(jié)構(gòu)，其特征在于，該第一對接部(143)與該第二對接部(211)為相匹配的樞接孔，利用一樞接件(70)樞接于該樞接孔中，使兩該側(cè)座(14)與該些支撐部(21)形成連接固定。

10.如權(quán)利要求9所述的晶舟結(jié)構(gòu)，其特征在于，該樞接件(70)為無壓燒結(jié)碳化硅制成的螺絲、螺栓或插銷，該樞接件(70)與該樞接孔為相配合連接組件。