[實用新型]一種多晶元盤移載存放機構(gòu)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202022652158.0
• 申請日: 2020-11-17
• 公開（公告）號: CN214691734U
• 公開（公告）日: 2021-11-12
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 賀云波;言益軍;王波;劉青山;崔成強
• 申請（專利權(quán)）人: 寧波阿凡達(dá)半導(dǎo)體技術(shù)有限公司
• 主分類號: B65G35/00
• 分類號: B65G35/00;B65G47/22;B65G43/08;B65G57/30;H01L21/673
• 代理公司: 寧波甬致專利代理有限公司 33228
• 代理人: 李迎春

1.一種多晶元盤移載存放機構(gòu)，包括有多工位底板和底座，多工位底板滑動安裝在底座上，其特征在于：所述多工位底板上表面一側(cè)安裝有用于存放晶元載盤的自動收集裝置，自動收集裝置包括氣缸、左側(cè)扶板、右側(cè)扶板、后擋板和抬升底板，左側(cè)扶板安裝在可調(diào)式左限位上，右側(cè)扶板安裝在可調(diào)式右限位上，可調(diào)式左限位和可調(diào)式右限位相對安裝在多工位底板表面，所述左側(cè)扶板、右側(cè)扶板和后擋板圍繞在用于存放晶元載盤區(qū)間的四周中三個方向，所述抬升底板位于該區(qū)間的底部，且所述氣缸驅(qū)動抬升底板上下移動，對稱設(shè)置的可調(diào)式左限位和可調(diào)式右限位相對面上設(shè)有止擋塊，止擋塊端側(cè)與反復(fù)堆垛在存放晶元載盤區(qū)間內(nèi)的晶元載盤邊緣相抵。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種多晶元盤移載存放機構(gòu)，其特征在于：對稱設(shè)置的所述左側(cè)扶板和右側(cè)扶板的相對面上均設(shè)有安裝槽，所述止擋塊樞設(shè)于安裝槽內(nèi)，且止擋塊與安裝槽之間安裝有彈簧，使止擋塊在安裝槽內(nèi)可彈升或縮入。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種多晶元盤移載存放機構(gòu)，其特征在于：所述多工位底板邊沿還安裝有前導(dǎo)向塊，且前導(dǎo)向塊臨近所述抬升底板。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種多晶元盤移載存放機構(gòu)，其特征在于：所述后擋板上設(shè)有第二光電傳感器，用于檢測所述晶元載盤是否滿載。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種多晶元盤移載存放機構(gòu)，其特征在于：所述多工位底板表面設(shè)有若干個用于放置晶元盤的工位，相鄰工位之間設(shè)有限位條，限位條上安裝有用于限定晶元盤的彈簧壓板。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種多晶元盤移載存放機構(gòu)，其特征在于；所述多工位底板上用于放置晶元盤的工位區(qū)間邊沿設(shè)有前擋板。

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種多晶元盤移載存放機構(gòu)，其特征在于；所述多工位底板上單個放置晶元盤的工位底部設(shè)有第一光電傳感器。

8.根據(jù)權(quán)利要求1-7任一所述的一種多晶元盤移載存放機構(gòu)，其特征在于：所述底座沿其線性方向的兩側(cè)設(shè)有直線導(dǎo)軌，所述多工位底板通過直線導(dǎo)軌與底座滑動連接，底座與多工位底板之間安裝有滾珠絲桿，多工位底板與滾珠絲桿螺紋連接，滾珠絲桿受安裝在底座端部的伺服電機驅(qū)動做周身旋轉(zhuǎn)，驅(qū)動多工位底板做線性移動。