[實用新型]一種多晶元盤移載存放機構

有效

• 申請號: 202022652158.0
• 申請日: 2020-11-17
• 公開（公告）號: CN214691734U
• 公開（公告）日: 2021-11-12
• 發明（設計）人: 賀云波;言益軍;王波;劉青山;崔成強
• 申請（專利權）人: 寧波阿凡達半導體技術有限公司
• 主分類號: B65G35/00
• 分類號: B65G35/00;B65G47/22;B65G43/08;B65G57/30;H01L21/673
• 代理公司: 寧波甬致專利代理有限公司 33228
• 代理人: 李迎春

本實用新型公開了一種多晶元盤移載存放機構，它包括有多工位底板和底座，多工位底板滑動安裝在底座上，多工位底板上安裝自動收集裝置，自動收集裝置包括氣缸、左側扶板、右側扶板、后擋板和抬升底板，左側扶板、右側扶板和后擋板圍繞在用于存放晶元載盤區間的四周中三個方向，抬升底板位于該區間的底部，且氣缸驅動抬升底板上下移動，對稱設置的可調式左限位和可調式右限位相對面上設有止擋塊，止擋塊端側與反復堆垛在存放晶元載盤區間內的晶元載盤邊緣相抵；本實用新型中公開了一種多晶元盤移載存放機構，包括有自動收集裝置，其利用氣缸和止擋塊可以實現簡單便捷的收集和堆疊動作，降低了人工成本，提升資源利用效率。

技術領域

本發明涉及半導體加工技術領域，更具體地說，涉及一種多晶元盤移載存放機構。

背景技術

在半導體行業中，自動化程度越來越高，對晶元的移載效率和載盤存儲數量要求也隨之提升。其中以mini和Micro LED為代表，提高移載效率和存儲數量是mini和MicroLED 顯示技術商業化非常重要的一環。如何提升載盤裝載數量和載盤移載效率是全球Micro LED 技術開發者們必須攻克的難關之一。

傳統的晶元盤的收集以使用人工收集為主，這使得人力成本上升，而且人在工作中不免會出現掉落丟失晶元盤的情況出現。本發明中公開了一種多晶元盤移載存放機構，包括有自動收集裝置，其利用氣缸和止擋塊可以實現簡單便捷的收集和堆疊動作，降低了人工成本，提升資源利用效率。

發明內容

本發明所采取的技術方案是：提供一種多晶元盤移載存放機構，包括有多工位底板和底座，多工位底板滑動安裝在底座上，所述多工位底板上表面一側安裝有用于存放晶元載盤的自動收集裝置，自動收集裝置包括氣缸、左側扶板、右側扶板、后擋板和抬升底板，左側扶板安裝在可調式左限位上，右側扶板安裝在可調式右限位上，可調式左限位和可調式右限位相對安裝在多工位底板表面，所述左側扶板、右側扶板和后擋板圍繞在用于存放晶元載盤區間的四周中三個方向，所述抬升底板位于該區間的底部，且所述氣缸驅動抬升底板上下移動，對稱設置的可調式左限位和可調式右限位相對面上設有止擋塊，止擋塊端側與反復堆垛在存放晶元載盤區間內的晶元載盤邊緣相抵。

采用以上結構后，加工完畢的晶元載盤，被送到前導向塊前方。前導向塊可以使得空晶載盤順利進入抬升底板，進入抬升底板之后采用氣缸進行抬升作業，可調式左限位和可調式右限位可以自由調節方向，適應各種類大小的晶元載盤。在可調式左限位和可調式右限位上各有兩個止擋塊，使得空晶元盤單向運動，具有自鎖特性。

作為優選，對稱設置的所述左側扶板和右側扶板的相對面上均設有安裝槽，所述止擋塊樞設于安裝槽內，且止擋塊與安裝槽之間安裝有彈簧，使止擋塊在安裝槽內可彈升或縮入。

作為優選，所述多工位底板邊沿還安裝有前導向塊，且前導向塊臨近所述抬升底板。

作為優選，所述后擋板上設有第二光電傳感器，用于檢測所述晶元載盤是否滿載。

作為優選，所述多工位底板表面設有若干個用于放置晶元盤的工位，相鄰工位之間設有限位條，限位條上安裝有用于限定晶元盤的彈簧壓板。

作為優選，所述多工位底板上用于放置晶元盤的工位區間邊沿設有前擋板。

作為優選，所述多工位底板上單個放置晶元盤的工位底部設有第一光電傳感器；第一光電傳感器用來感應晶元是否在晶元盤上落位。

作為優選，所述底座沿其線性方向的兩側設有直線導軌，所述多工位底板通過直線導軌與底座滑動連接，底座與多工位底板之間安裝有滾珠絲桿，多工位底板與滾珠絲桿螺紋連接，滾珠絲桿受安裝在底座端部的伺服電機驅動做周身旋轉，驅動多工位底板做線性移動。

本發明相較于現有技術相比，現有的晶元移載基本以單載盤為主，需人工多次反復更換載盤，人工更換載盤不僅效率低，而且還容易污染載盤，影響晶元的加工。本發明采用自動收集裝置，節省人力資源，有效提高轉移效率與工作效率。

附圖說明