[實用新型]一種光罩盒充氣電子貨架

有效

• 申請號: 202022650825.1
• 申請日: 2020-11-17
• 公開（公告）號: CN214187132U
• 公開（公告）日: 2021-09-14
• 發明（設計）人: 劉幸偉;潘曉;邱玨敏;蘇盼勇;賈星
• 申請（專利權）人: 上海暉哲通訊科技有限公司
• 主分類號: B25H3/04
• 分類號: B25H3/04
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本實用新型公開了一種光罩盒充氣電子貨架，包括貨架；所述貨架上設置有若干鋁托盤；所述鋁托盤中心開設有通孔。本實用新型的有益效果在于，本實用新型的電子貨架使用條碼掃描槍，配合紅外感應器，將光罩盒的條碼資料通過控制器，上傳到工廠自動化執行系統，讓產線工人能通過PC準確、快速的在系統端查到指定光罩盒所在的位置，及時將指定光罩盒拿去制程機臺使用，加裝充氣功能支援，提升產品良率；本實用新型的電子貨架可以有效幫助半導體工廠的生產線解決Reticle HAZE污染問題，提高產品良率，從而提升工廠產能。另外，可以對光罩進行有序分類管理，免去人為手工記錄，提高工廠自動化程度，降低MO的發生率。

技術領域

本實用新型涉及工業自動化技術領域，尤其涉及一種光罩盒充氣電子貨架。

背景技術

在半導體工廠的生產線上，很多光罩盒被統一放在貨架上。目前，已有產品不帶充氣功能，只是用于存放半導體光罩盒的不銹鋼架子，讀取盒子上的條碼資料(Mask ID)，進行盒子的定位和追蹤，即：產線工人及時獲取每個貨架上存放的光罩盒信息，快速找到某一個光罩盒在哪個位置，沒有Purge功能，無法有效控制Reticle HAZE污染。

實用新型內容

1.需要解決的技術問題

本實用新型的目的在于提供一種光罩盒充氣電子貨架，有效幫助半導體工廠的生產線解決Reticle HAZE污染問題，提高產品良率，從而提升工廠產能。

2.技術方案

為實現上述目的，本實用新型提供如下技術方案：一種光罩盒充氣電子貨架，包括貨架；所述貨架上設置有若干鋁托盤；所述鋁托盤中心開設有通孔；所述鋁托盤后側和兩側面分別安裝有擋塊，所述鋁托盤前側對稱布置有兩個限位頂針，后側沿軸線布置有一個限位頂針，所述鋁托盤前側對稱安裝有兩個噴嘴，所述與充氣單元連通，所述鋁托盤前側沿軸線安裝有位置傳感器。

上述的光罩盒充氣電子貨架，其中，所述充氣單元包括出口與噴嘴連通的進氣管路和LP轉板；所述進氣管路沿著氣流方向依次為過濾器、質量流量計和電磁閥；所述質量流量計與PCB控制板的ADC模塊電連接；所述PCB控制板經24V輸入電壓供電，24V輸入電壓經EMO接口與LP轉板短接。

上述的光罩盒充氣電子貨架，其中，還包括工控主板；所述工控主板與所述PCB控制板電連接。

上述的光罩盒充氣電子貨架，其中，還包括觸控屏和掃描槍；所述觸控屏和掃描槍安裝在所述貨架上，且與所述工控主板通訊連接。

上述的光罩盒充氣電子貨架，其中，所述擋塊為POM擋塊，且所述鋁托盤側面的兩個擋塊沿所述鋁托盤軸線對稱布置。

上述的光罩盒充氣電子貨架，其中，還包括紅外感應器；每個所述鋁托盤正前方安裝有所述紅外感應器；若干所述紅外感應器與所述工控主板并行連接。

上述的光罩盒充氣電子貨架，其中，所述工控主板安裝有四重保護電路。

3.有益效果

綜上所述，本實用新型的有益效果在于：

(1)本實用新型的電子貨架使用條碼掃描槍，配合紅外感應器，將光罩盒的條碼資料通過控制器，上傳到工廠自動化執行系統，讓產線工人能通過PC準確、快速的在系統端查到指定光罩盒所在的位置，及時將指定光罩盒拿去制程機臺使用，加裝充氣功能支援，提升產品良率；

(2)本實用新型的電子貨架可以有效幫助半導體工廠的生產線解決Reticle HAZE污染問題，提高產品良率，從而提升工廠產能。另外，可以對光罩進行有序分類管理，免去人為手工記錄，提高工廠自動化程度，降低MO的發生率。

附圖說明

圖1為本實用新型光罩盒充氣電子貨架的結構示意圖；