[實用新型]一種光罩盒充氣電子貨架有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 202022650825.1 | 申請日： | 2020-11-17 |
| 公開（公告）號： | CN214187132U | 公開（公告）日： | 2021-09-14 |
| 發(fā)明（設計）人： | 劉幸偉;潘曉;邱玨敏;蘇盼勇;賈星 | 申請（專利權）人： | 上海暉哲通訊科技有限公司 |
| 主分類號： | B25H3/04 | 分類號： | B25H3/04 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 201808 上海市嘉定*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 光罩盒 充氣 電子 貨架 | ||
1.一種光罩盒充氣電子貨架，其特征在于：包括貨架(1)；所述貨架(1)上設置有若干鋁托盤(2)；所述鋁托盤(2)中心開設有通孔(201)；所述鋁托盤(2)后側和兩側面分別安裝有擋塊(3)，所述鋁托盤(2)前側對稱布置有兩個限位頂針(4)，后側沿軸線布置有一個限位頂針(4)，所述鋁托盤(2)前側對稱安裝有兩個噴嘴(5)，與充氣單元(6)連通，所述鋁托盤(2)前側沿軸線安裝有位置傳感器(7)。
2.根據(jù)權利要求1所述的一種光罩盒充氣電子貨架，其特征在于：所述充氣單元(6)包括出口與噴嘴(5)連通的進氣管路(8)和LP轉板(9)；所述進氣管路(8)沿著氣流方向依次為過濾器(10)、質量流量計(11)和電磁閥(12)；所述質量流量計(11)與PCB控制板(13)的ADC模塊電連接；所述PCB控制板(13)經(jīng)24V輸入電壓供電，24V輸入電壓經(jīng)EMO接口(14)與LP轉板(9)短接。
3.根據(jù)權利要求2所述的一種光罩盒充氣電子貨架，其特征在于：還包括工控主板(15)；所述工控主板(15)與所述PCB控制板(13)電連接。
4.根據(jù)權利要求3所述的一種光罩盒充氣電子貨架，其特征在于：還包括觸控屏(16)和掃描槍(17)；所述觸控屏(16)和掃描槍(17)安裝在所述貨架(1)上，且與所述工控主板(15)通訊連接。
5.根據(jù)權利要求1所述的一種光罩盒充氣電子貨架，其特征在于：所述擋塊(3)為POM擋塊，且所述鋁托盤(2)側面的兩個擋塊(3)沿所述鋁托盤(2)軸線對稱布置。
6.根據(jù)權利要求3所述的一種光罩盒充氣電子貨架，其特征在于：還包括紅外感應器(18)；每個所述鋁托盤(2)正前方安裝有所述紅外感應器(18)；若干所述紅外感應器(18)與所述工控主板(15)并行連接。
7.根據(jù)權利要求6所述的一種光罩盒充氣電子貨架，其特征在于：所述工控主板(15)安裝有四重保護電路(19)。
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