[實用新型]一種晶圓背面磨床的清洗組件

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202022638031.3
• 申請日: 2020-11-16
• 公開（公告）號: CN213915114U
• 公開（公告）日: 2021-08-10
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 俞佳文;翟瀟杰;趙文豪;王佳鑫;張佳斌
• 申請（專利權(quán)）人: 天通日進精密技術(shù)有限公司
• 主分類號: B08B3/02
• 分類號: B08B3/02;B08B13/00;H01L21/67
• 代理公司: 嘉興啟帆專利代理事務(wù)所(普通合伙) 33253
• 代理人: 金亞丁

本實用新型公開了一種晶圓背面磨床的清洗組件，包括外框體、沖洗組件以及清理組件，所述清理組件設(shè)置在外框體內(nèi)，所述沖洗組件設(shè)置在外框體上，所述沖洗組件用以將洗滌液注入清理組件，所述清理組件包括殼體部件、支撐部件、升降部件、甩干部件，所述甩干部件包括吸附件、轉(zhuǎn)動件以及驅(qū)動件，所述吸附件與轉(zhuǎn)動件相連接，所述驅(qū)動件與轉(zhuǎn)動件相連接，所述驅(qū)動件帶動轉(zhuǎn)動件轉(zhuǎn)動；所述甩干部件部分設(shè)置在殼體部件內(nèi)，所述支撐部件設(shè)置在殼體部件一側(cè)且與外框體相連接，所述升降部件設(shè)置在殼體部件下方且與甩干部件相連接，所述升降部件可帶動甩干部件上下運動。本實用新型結(jié)構(gòu)緊湊，具有清洗以及甩干的功能，使用方便。

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型屬于晶圓加工設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種晶圓背面磨床的清洗組件。

背景技術(shù)

硅是由沙子所精練出來的，晶圓便是硅元素加以純化(99.999％)，接著是將這些純硅制成長硅晶棒，成為制造積體電路的石英半導(dǎo)體的材料，經(jīng)過照相制版，研磨，拋光，切片等程序，將多晶硅融解拉出單晶硅晶棒，然后切割成一片一片薄薄的晶圓，由于其形狀為圓形，故稱為晶圓，在硅晶片上可加工制作成各種電路元件結(jié)構(gòu)，而成為有特定電性功能之IC產(chǎn)品。在晶圓制作完成之后，需要通過磨削設(shè)備對其背面進行減薄加工，使其達到使用要求，磨削完成之后，需要通過清洗甩干組件進行表面清潔。

例如，在專利號為CN105789096B中公開了一種晶圓清洗設(shè)備，包括清洗單元、刷洗單元、甩干單元及機械手，該設(shè)備包括至少一個清洗單元、至少兩個刷洗單元及至少一個甩干單元，清洗單元、刷洗單元、甩干單元依次排列，各單元之間的距離與機械手的行程配合設(shè)置；清洗單元上設(shè)置有清洗旋轉(zhuǎn)輪，該清洗旋轉(zhuǎn)輪使晶圓豎向設(shè)置；刷洗單元上設(shè)置有刷洗旋轉(zhuǎn)輪，該刷洗旋轉(zhuǎn)輪使晶圓豎向設(shè)置；甩干單元上設(shè)置有固定塊，固定塊和固定爪安裝在升降臺上，固定塊和固定爪抓緊晶圓，該固定塊使晶圓水平設(shè)置。該晶圓清洗設(shè)備，清洗單元、刷洗單元采用豎直方向作業(yè)，甩干單元采用水平方向作業(yè)，有效改善晶圓清洗效果，同時解決了水印殘留的問題，提高了晶圓清洗設(shè)備的總體效果。

但是，上述清洗設(shè)備整體結(jié)構(gòu)位于繁雜且占地面積過大，在配合相應(yīng)的磨床(減薄機)設(shè)備進行使用時，裝配較為困難，且操作步驟繁瑣，對機械手的精度要求很高，造成成本大量增加。

實用新型內(nèi)容

本實用新型是為了避免現(xiàn)有技術(shù)存在的不足之處，提供了一種方便使用的晶圓背面磨床的清洗組件。

本實用新型解決技術(shù)問題采用如下技術(shù)方案：一種晶圓背面磨床的清洗組件，包括外框體、沖洗組件以及清理組件，所述清理組件設(shè)置在外框體內(nèi)，所述沖洗組件設(shè)置在外框體上，所述沖洗組件用以將洗滌液注入清理組件，所述清理組件包括殼體部件、支撐部件、升降部件、甩干部件，所述甩干部件包括吸附件、轉(zhuǎn)動件以及驅(qū)動件，所述吸附件與轉(zhuǎn)動件相連接，所述驅(qū)動件與轉(zhuǎn)動件相連接，所述驅(qū)動件帶動轉(zhuǎn)動件轉(zhuǎn)動；所述甩干部件部分設(shè)置在殼體部件內(nèi)，所述支撐部件設(shè)置在殼體部件一側(cè)且與外框體相連接，所述升降部件設(shè)置在殼體部件下方且與甩干部件相連接，所述升降部件可帶動甩干部件上下運動。

在一個實施例中，所述升降部件包括底板、底座、執(zhí)行機構(gòu)、導(dǎo)向柱、側(cè)板以及連接板，所述底座與執(zhí)行機構(gòu)均設(shè)置在側(cè)板上，所述側(cè)板與連接板相連接，所述連接板與甩干部件相連接，所述底座套設(shè)在導(dǎo)向柱上，所述導(dǎo)向柱與底板相連接，所述底板設(shè)置在底座下方，所述執(zhí)行機構(gòu)與底板相配合。

在一個實施例中，所述支撐部件包括固定板、支撐柱、第一支撐板以及第二支撐板，所述固定板與底板相連接，兩個所述支撐柱設(shè)置在固定板上方兩側(cè)，所述第一支撐板套設(shè)在支撐柱上且位于固定板上方，所述第二支撐板套設(shè)在支撐柱上且位于第一支撐板上方。

在一個實施例中，所述殼體部件包括上殼體以及下殼體，所述上殼體與下殼體相連通，所述第一支撐板與下殼體相連接，所述第二支撐板與上殼體相連接，所述連接板可在殼體部件內(nèi)上下運動。