[實(shí)用新型]一種晶圓背面磨床的清洗組件

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202022638031.3
• 申請(qǐng)日: 2020-11-16
• 公開（公告）號(hào): CN213915114U
• 公開（公告）日: 2021-08-10
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 俞佳文;翟瀟杰;趙文豪;王佳鑫;張佳斌
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 天通日進(jìn)精密技術(shù)有限公司
• 主分類號(hào): B08B3/02
• 分類號(hào): B08B3/02;B08B13/00;H01L21/67
• 代理公司: 嘉興啟帆專利代理事務(wù)所(普通合伙) 33253
• 代理人: 金亞丁

1.一種晶圓背面磨床的清洗組件，其特征在于，包括外框體、沖洗組件以及清理組件，所述清理組件設(shè)置在外框體內(nèi)，所述沖洗組件設(shè)置在外框體上，所述沖洗組件用以將洗滌液注入清理組件，

所述清理組件包括殼體部件、支撐部件、升降部件、甩干部件，所述甩干部件包括吸附件、轉(zhuǎn)動(dòng)件以及驅(qū)動(dòng)件，所述吸附件與轉(zhuǎn)動(dòng)件相連接，所述驅(qū)動(dòng)件與轉(zhuǎn)動(dòng)件相連接，所述驅(qū)動(dòng)件帶動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)件轉(zhuǎn)動(dòng)；所述甩干部件部分設(shè)置在殼體部件內(nèi)，所述支撐部件設(shè)置在殼體部件一側(cè)且與外框體相連接，所述升降部件設(shè)置在殼體部件下方且與甩干部件相連接，所述升降部件可帶動(dòng)甩干部件上下運(yùn)動(dòng)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓背面磨床的清洗組件，其特征在于，所述升降部件包括底板、底座、執(zhí)行機(jī)構(gòu)、導(dǎo)向柱、側(cè)板以及連接板，所述底座與執(zhí)行機(jī)構(gòu)均設(shè)置在側(cè)板上，所述側(cè)板與連接板相連接，所述連接板與甩干部件相連接，所述底座套設(shè)在導(dǎo)向柱上，所述導(dǎo)向柱與底板相連接，所述底板設(shè)置在底座下方，所述執(zhí)行機(jī)構(gòu)與底板相配合。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種晶圓背面磨床的清洗組件，其特征在于，所述支撐部件包括固定板、支撐柱、第一支撐板以及第二支撐板，所述固定板與底板相連接，兩個(gè)所述支撐柱設(shè)置在固定板上方兩側(cè)，所述第一支撐板套設(shè)在支撐柱上且位于固定板上方，所述第二支撐板套設(shè)在支撐柱上且位于第一支撐板上方。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種晶圓背面磨床的清洗組件，其特征在于，所述殼體部件包括上殼體以及下殼體，所述上殼體與下殼體相連通，所述第一支撐板與下殼體相連接，所述第二支撐板與上殼體相連接，所述連接板可在殼體部件內(nèi)上下運(yùn)動(dòng)。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種晶圓背面磨床的清洗組件，其特征在于，所述轉(zhuǎn)動(dòng)件包括傳動(dòng)件、吸附軸、第一傳動(dòng)套以及第二傳動(dòng)套，所述傳動(dòng)件、第一傳動(dòng)套以及第二傳動(dòng)件均套設(shè)在吸附軸上且可繞吸附軸轉(zhuǎn)動(dòng)，所述第一傳動(dòng)套設(shè)置在傳動(dòng)件上方，所述第二傳動(dòng)套設(shè)置在第一傳動(dòng)套上方，所述吸附件設(shè)置在第二傳動(dòng)套上方且與吸附軸相連通。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種晶圓背面磨床的清洗組件，其特征在于，所述連接板上設(shè)置有漏水口。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓背面磨床的清洗組件，其特征在于，所述沖洗組件包括通液管以及連接塊，所述通液管穿過連接塊且延伸至殼體部件內(nèi)，所述連接塊與外框體相連接。