[實用新型]一種掩膜板框架及掩膜板組件

有效

• 申請號: 202022623233.0
• 申請日: 2020-11-13
• 公開（公告）號: CN213772187U
• 公開（公告）日: 2021-07-23
• 發明（設計）人: 高崇;梁艦;史曉波;馮敏強
• 申請（專利權）人: 江蘇集萃有機光電技術研究所有限公司
• 主分類號: C23C14/04
• 分類號: C23C14/04;C23C14/12;C23C14/24;H01L51/56
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 胡彬

本實用新型屬于掩膜板技術領域，公開了一種掩膜板框架，用于支撐掩膜板，掩膜板框架包括基座和至少一組調整機構，基座上設置有窗口，掩膜板支撐于窗口處，調整機構滑動設置于基座上，并與掩膜板相連，每組調整機構均包括兩組拉伸組件，兩組拉伸組件均滑動設置于基座上并位于窗口的相對兩側，拉伸組件與掩膜板的對應側相連，兩組拉伸組件能夠沿第一方向靠近或遠離窗口，以將掩膜板拉緊或放松，通過兩組拉伸組件將掩膜板拉緊，以對掩膜板的下垂形變進行拉伸調整，以提升蒸鍍圖形的精度，本實用新型還提供了一種掩膜板組件包括掩膜板框架以及支撐于掩膜板框架上的掩膜板，該掩膜板組件能夠調整掩膜板的下垂形變，以提升蒸鍍圖形的精度。

技術領域

本實用新型涉及掩膜板技術領域，尤其涉及一種掩膜板框架及掩膜板組件。

背景技術

目前OLED(Organiclight-EmittingDiode，有機發光二極管)采用真空蒸鍍技術制備有機發光層，在器件制備的過程中，有機材料通過高溫蒸鍍淀積在位于蒸發源上方的基板上，為使有機材料按照設計蒸鍍到特定的位置上，在基板下方需使用金屬掩膜板，通過金屬掩膜板上留設的有效開口區域，有機材料能夠沉積到背板上面，并形成預設圖形，然而，由于金屬掩膜板的厚度比較薄，在使用一段時間后，極易發生下垂變形，進而影響蒸鍍圖形的精度。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種掩膜板框架及掩膜板組件，以對掩膜板進行支撐，并能對掩膜板的下垂形變進行拉伸調整，進而提升蒸鍍圖形的精度。

為達此目的，本實用新型采用以下技術方案：

本實用新型提供一種掩膜板框架，用于支撐掩膜板，所述掩膜板框架包括基座和至少一組調整機構，所述基座上設置有窗口，所述掩膜板支撐于所述窗口處，所述調整機構滑動設置于所述基座上，并與所述掩膜板相連，每組所述調整機構均包括：

兩組拉伸組件，兩組所述拉伸組件均滑動設置于所述基座上并位于所述窗口的相對兩側，所述拉伸組件與所述掩膜板的對應側相連，兩組所述拉伸組件能夠沿第一方向靠近或遠離所述窗口，以將所述掩膜板拉緊或放松。

該掩膜板框架用于支撐掩膜板，掩膜板框架包括基座和至少一組調整機構，基座上設置有窗口，掩膜板支撐于窗口處，調整機構滑動設置于基座上，并與掩膜板相連，每組調整機構均包括兩組拉伸組件，兩組拉伸組件均滑動設置于基座上并位于窗口的相對兩側，拉伸組件與掩膜板的對應側相連，兩組拉伸組件能夠沿第一方向靠近或遠離窗口，以將掩膜板拉緊或放松，通過兩組拉伸組件將掩膜板拉緊，以對掩膜板的下垂形變進行拉伸調整，以提升蒸鍍圖形的精度。

作為優選，每組所述拉伸組件均對應設置有一組調節組件，每組所述調節組件與對應的所述拉伸組件傳動連接，每組所述調節組件能夠驅動對應的所述拉伸組件沿所述第一方向往復移動。

每組調節組件與對應的拉伸組件傳動連接，每組調節組件能夠驅動對應的拉伸組件沿第一方向往復移動，使調節組件將掩膜板拉緊或放松，以對掩膜板的下垂形變進行拉伸調整。

作為優選，每組所述拉伸組件均包括：

滑動部，滑動設置于所述基座上，并與對應的所述調節組件傳動連接；及

連接部，連接于所述滑動部，并與所述掩膜板相連。

拉伸組件通過滑動部滑動設置于基座上，該滑動部與對應的調節組件傳動連接，以使調節組件能夠驅動對應的拉伸組件沿第一方向往復移動，拉伸組件通過連接部與掩膜板相連，該連接部與滑動部相連，以使調節組件沿第一方向往復移動后，能夠對掩膜板進行拉伸，該拉伸組件結構簡單，易于制造。

作為優選，每組所述調節組件包括：

齒條，連接于所述滑動部，并沿所述第一方向延伸；

齒輪，轉動設置于所述基座內，并與所述齒條嚙合連接，所述齒輪轉動，以使所述齒條移動，并帶動所述拉伸組件沿所述第一方向移動。