[實用新型]一種掩膜板框架及掩膜板組件

有效

• 申請號: 202022623233.0
• 申請日: 2020-11-13
• 公開（公告）號: CN213772187U
• 公開（公告）日: 2021-07-23
• 發明（設計）人: 高崇;梁艦;史曉波;馮敏強
• 申請（專利權）人: 江蘇集萃有機光電技術研究所有限公司
• 主分類號: C23C14/04
• 分類號: C23C14/04;C23C14/12;C23C14/24;H01L51/56
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 胡彬

1.一種掩膜板框架，其特征在于，用于支撐掩膜板(200)，所述掩膜板框架(100)包括基座(1)和至少一組調整機構(2)，所述基座(1)上設置有窗口(11)，所述掩膜板(200)支撐于所述窗口(11)處，所述調整機構(2)滑動設置于所述基座(1)上，并與所述掩膜板(200)相連，每組所述調整機構(2)均包括：

兩組拉伸組件(21)，兩組所述拉伸組件(21)均滑動設置于所述基座(1)上并位于所述窗口(11)的相對兩側，所述拉伸組件(21)與所述掩膜板(200)的對應側相連，兩組所述拉伸組件(21)能夠沿第一方向靠近或遠離所述窗口(11)，以將所述掩膜板(200)拉緊或放松。

2.根據權利要求1所述的掩膜板框架，其特征在于，每組所述拉伸組件(21)均對應設置有一組調節組件(22)，每組所述調節組件(22)與對應的所述拉伸組件(21)傳動連接，每組所述調節組件(22)能夠驅動對應的所述拉伸組件(21)沿所述第一方向往復移動。

3.根據權利要求2所述的掩膜板框架，其特征在于，每組所述拉伸組件(21)均包括：

滑動部(211)，滑動設置于所述基座(1)上，并與對應的所述調節組件(22)傳動連接；及

連接部(212)，連接于所述滑動部(211)，并與所述掩膜板(200)相連。

4.根據權利要求3所述的掩膜板框架，其特征在于，每組所述調節組件(22)包括：

齒條(221)，連接于所述滑動部(211)，并沿所述第一方向延伸；

齒輪(222)，轉動設置于所述基座(1)內，并與所述齒條(221)嚙合連接，所述齒輪(222)轉動，以使所述齒條(221)移動，并帶動所述拉伸組件(21)沿所述第一方向移動。

5.根據權利要求4所述的掩膜板框架，其特征在于，所述基座(1)上與每組所述滑動部(211)均對應設置有一個凹槽(12)，所述滑動部(211)滑動設置于所述凹槽(12)內。

6.根據權利要求5所述的掩膜板框架，其特征在于，每個所述凹槽(12)的槽口上均蓋設有覆蓋部(13)，所述覆蓋部(13)與對應的所述凹槽(12)之間形成容置腔。

7.根據權利要求1-6中任一項所述的掩膜板框架，其特征在于，每組所述拉伸組件(21)均對應設置有一組鎖緊部(23)，所述鎖緊部(23)能夠選擇性鎖定所述拉伸組件(21)。

8.根據權利要求1-6中任一項所述的掩膜板框架，其特征在于，所述調整機構(2)設置有兩組，其中一組所述調整機構(2)沿所述第一方向設置于所述基座(1)上的相對的兩側，另一組所述調整機構(2)沿第二方向設置于所述基座(1)上的相對的兩側，所述第一方向與所述第二方向相垂直。

9.一種掩膜板組件，其特征在于，包括權利要求1-8中任一項所述的掩膜板框架以及支撐于所述掩膜板框架(100)上的掩膜板(200)。

10.根據權利要求9所述的掩膜板組件，其特征在于，所述掩膜板(200)上設置有開口區域(201)，所述開口區域(201)與所述掩膜板框架(100)的所述窗口(11)相對設置，所述掩膜板(200)的位于所述開口區域(201)的周向設置有加強結構(202)。