[實用新型]一種硅晶片籃倒換的裝置有效
| 申請號： | 202022603090.7 | 申請日： | 2020-11-02 |
| 公開（公告）號： | CN213845227U | 公開（公告）日： | 2021-07-30 |
| 發明（設計）人： | 李漢生;蔡雪良;黃建光;王帥 | 申請（專利權）人： | 昆山中辰矽晶有限公司 |
| 主分類號： | H01L21/67 | 分類號： | H01L21/67;H01L21/677 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 215316 江蘇省*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 晶片 倒換 裝置 | ||
1.一種硅晶片籃倒換的裝置，用于硅晶片轉移籃與接收籃之間的相互轉換，其特征在于，所述硅晶片籃倒換的裝置包括：
一底座，承載立板、推架、移動塊及凹槽裝置；
一立板，用螺絲將其固定于底座的頭部位置；
一推架，用螺絲將其與立板連接；
一移動塊，放置于底座的凹槽裝置中，用以固定硅晶片接收籃，并進行硅晶片籃之間的倒籃轉換；
一凹槽裝置，設置于底座上，包含一底板及一卡槽，用以放置移動塊并為移動塊提供滑行軌道。
2.如權利要求1所述的一種硅晶片籃倒換的裝置，其特征在于，所述硅晶片籃倒換的裝置有一轉換底座，用來承載立板、推架、移動塊，并設置一凹槽裝置。
3.如權利要求1所述的一種硅晶片籃倒換的裝置，其特征在于，所述硅晶片籃倒換的裝置有一立板，用螺絲將其固定在底座之上，并用螺絲將其與推架連接固定。
4.如權利要求1所述的一種硅晶片籃倒換的裝置，其特征在于，所述硅晶片籃倒換的裝置有一推架，推架與底座保留一定縫隙，用以固定硅晶片轉移籃，并為硅晶片轉移籃與接收籃之間的轉換提供支撐力。
5.如權利要求1所述的一種硅晶片籃倒換的裝置，其特征在于，所述硅晶片籃倒換的裝置有一移動塊，移動塊的一側設置一凹槽，用來放置硅晶片接收籃。
6.如權利要求5所述的一種硅晶片籃倒換的裝置，其特征在于，所述硅晶片籃倒換的裝置有一移動塊，將移動塊放置于底座的凹槽裝置處，通過滑動移動塊可將硅晶片接收籃移動至硅晶片轉移籃處，并借助推架完成硅晶片籃之間的相互轉換。
7.如權利要求1所述的一種硅晶片籃倒換的裝置，其特征在于，所述硅晶片籃倒換的裝置有一凹槽裝置，該凹槽裝置有一底板及一卡槽，卡槽用以放置移動塊，底板用以固定移動塊在底座上。
8.如權利要求7所述的一種硅晶片籃倒換的裝置，其特征在于，所述硅晶片籃倒換的裝置有一凹槽裝置，凹槽裝置為移動硅晶片籃的軌道，固定硅晶片籃的移動軌跡，防止發生錯位。
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H01L 半導體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置；專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
