[實用新型]一種硅晶片籃倒換的裝置

有效

• 申請號: 202022603090.7
• 申請日: 2020-11-02
• 公開（公告）號: CN213845227U
• 公開（公告）日: 2021-07-30
• 發明（設計）人: 李漢生;蔡雪良;黃建光;王帥
• 申請（專利權）人: 昆山中辰矽晶有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/677
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本實用新型提供一種硅晶片籃倒換的裝置，用以硅晶片轉移籃與接收籃之間的倒換。所述裝置包括一底座、一立板、一推架、一移動塊及一凹槽裝置。所述底座用以放置立板、推架、移動塊及凹槽裝置；所述立板用螺絲將其固定在底座的頭部位置，并用螺絲將其與推架固定連接；所述推架用以放置轉移籃，并為轉移籃與接收籃之間的轉換提供支撐力；所述移動塊放置在底座的凹槽裝置中，可固定接收籃，并通過滑動移動塊將接收籃滑動至轉移籃處，轉移籃借助推架的支撐力，使得其中轉移籃中的硅晶片轉換至接收籃中；所述凹槽裝置設置在該裝置的底座上，凹槽裝置為移動塊提供滑行軌道。因此，當硅晶片籃之間需相互轉換時，可使用該裝置進行硅晶片籃倒換，可提高硅晶片轉移籃與接收籃之間轉換的效率并減少硅晶片的損傷，從而提高產品的良率和生產效率。

技術領域

本實用新型與硅晶片清洗制程工藝有關；具體設計一種用于硅晶片轉移籃與接收籃之間倒換的裝置。

背景技術

當今社會已經進入電子時代，半導體行業正處于相對成熟的階段，單晶硅材料是半導體工業的基礎，以硅材料為主的材料得到廣泛的應用，同時具有其他優勢的半導體材料也在被開發利用中。本行業是技術和資金高密集型性行業，競爭也尤為激烈。

半導體硅晶圓，是電子信息材料中最基礎性材料。單晶硅已滲透到國民經濟和國防科技中各個領域，半導體用硅晶圓年平均增長率連年增加。目前國內集成電路用硅晶圓的生產能力遠不能滿足國內需求，在世界范圍內也存在供貨缺口。為配合市場發展方向及提升公司營業獲利，需不斷提升公司的生產效率和產品的良率，從而提高公司在市場中競爭力。

硅晶片在一系列加工過程中，由于物理或化學吸附作用，可能使硅晶片表面收到某些有機物、金屬離子、灰塵、顆粒的沾污，必須通過清洗去除這些可能的沾污，才能得到合格的產品。因為硅晶片清洗制程工藝存在多種方式，清洗制程工藝中使用的清洗劑具有多樣性，所以清洗硅晶片時需根據不同的清洗方式和不同的清洗藥劑，使用不同的硅晶片籃；另根據硅晶片的不同狀態及硅晶片加工的不同方式，來調整使用的硅晶片籃。一般對硅晶片籃轉換采取的方式為人工操作，將硅晶片轉移籃通過肉眼校準的方式對準硅晶片接收籃，工人人為操作將硅晶片從轉移籃轉換至接收籃，操作過程中會出現硅晶片錯位、硅晶片污染、硅晶片刮傷等異常狀況，從而影響產品的質量及產品的良率；且人工操作校準硅晶片籃轉換位置的效率低及錯誤率高，從而影響產品的產量。最終影響產品在半導體硅晶片市場行業的競爭能力。

實用新型內容

為了改善上述情況，本實用新型的目的在于提供一種硅晶片籃倒換的裝置，用來進行硅晶片轉移籃與接收籃之間的轉換，提高硅晶片在硅晶片籃中轉換后位置的準確性，提高硅晶片籃之間的轉換效率，減少硅晶片表面的損傷。

本實用新型所采用的技術方案：所述裝置包括一底座、一立板、一推架、一移動塊及一凹槽裝置。所述底座用以放置立板、推架、移動塊及凹槽裝置；所述立板用螺絲將其固定在底座的頭部位置，并用螺絲將其與推架固定連接；所述推架用以放置轉移籃，并為轉移籃與接收籃之間的轉換提供支撐力；所述移動塊放置在底座的凹槽裝置中，可固定接收籃，并通過滑動移動塊將接收籃滑動至轉移籃處，轉移籃借助推架的支撐力，使得其中轉移籃中的硅晶片轉換至接收籃中；所述凹槽裝置設置在該裝置的底座上，凹槽裝置為移動塊提供滑行軌道。因此，當硅晶片籃之間需相互轉換時，可使用該裝置進行硅晶片籃倒換，可提高硅晶片轉移籃與接收籃之間轉換的效率并減少硅晶片的損傷，從而提高產品的良率和生產效率。

本實用新型所采用的技術方案：晶片倒籃轉換裝置有一立板，用螺絲將其固定在底座之上，并用螺絲將其與推架連接固定，為推架提供支撐力；

本實用新型所采用的技術方案：硅晶片籃倒換的裝置有一推架，推架與底座保留一定縫隙，用以固定硅晶片轉移籃，并為硅晶片轉移籃與接收籃之間的轉換提供支撐力；

本實用新型所采用的技術方案：硅晶片籃倒換的裝置有一移動塊，移動塊的一側設置一凹槽，用來放置硅晶片接收籃，將移動塊放置于底座的凹槽裝置處，通過滑動移動塊可將硅晶片接收籃移動至硅晶片轉移籃處，并借助推架完成硅晶片籃之間的相互轉換；