[實用新型]一種主機臺與冷卻水防泄漏系統有效
| 申請號: | 202022586767.0 | 申請日: | 2020-11-09 |
| 公開(公告)號: | CN214012904U | 公開(公告)日: | 2021-08-20 |
| 發明(設計)人: | 江俊發 | 申請(專利權)人: | 泉芯集成電路制造(濟南)有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/67 | 分類號: | H01L21/67;F25D17/02;F25D29/00 |
| 代理公司: | 北京超凡宏宇專利代理事務所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人: | 李莎 |
| 地址: | 250000 山東省濟南市*** | 國省代碼: | 山東;37 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 主機 冷卻水 泄漏 系統 | ||
1.一種主機臺,其特征在于,所述主機臺包括:
設置有冷卻水入口與冷卻水出口的主機;
盛水件,安裝于所述主機,并位于所述冷卻水入口與所述冷卻水出口的下方,以用于接收所述冷卻水入口與冷卻水出口泄漏的冷卻水;
液位傳感器,安裝于所述盛水件的底部,并用于在檢測到所述盛水件中的冷卻水時發送預警信號。
2.如權利要求1所述的主機臺,其特征在于,所述冷卻水入口與所述冷卻水出口豎直排列,所述盛水件安裝于所述冷卻水入口與所述冷卻水出口的正下方。
3.如權利要求1所述的主機臺,其特征在于,所述冷卻水入口與所述冷卻水出口水平排列,所述盛水件包括第一盛水件與第二盛水件,所述液位傳感器包括第一液位傳感器與第二液位傳感器,所述第一盛水件位于所述冷卻水入口的下方,所述第一液位傳感器安裝于所述第一盛水件的底部;所述第二盛水件位于所述冷卻水出口的下方,所述第二液位傳感器安裝于所述第二盛水件的底部。
4.如權利要求1所述的主機臺,其特征在于,所述盛水件包括盛水槽,所述盛水槽沿豎直方向的剖面為U型或V型。
5.如權利要求1所述的主機臺,其特征在于,所述盛水件包括盛水盤,所述盛水盤的底面與水平面呈大于0°且小于90°的夾角。
6.如權利要求1所述的主機臺,其特征在于,所述盛水件與所述主機可拆卸連接。
7.如權利要求6所述的主機臺,其特征在于,所述主機上設置有卡持扣,所述盛水件的一側設置有卡持部,所述卡持部與所述卡持扣可拆卸連接。
8.如權利要求1所述的主機臺,其特征在于,所述主機臺還包括第三液位傳感器,所述第三液位傳感器安裝于所述盛水件,且所述第三液位傳感器高于所述液位傳感器,所述第三液位傳感器用于在檢測到所述盛水件中的冷卻水時發送停止工作信號。
9.一種冷卻水防泄漏系統,其特征在于,所述系統包括信號接收模組與如權利要求1至8任意一項所述的主機臺,所述信號接收模組與所述主機臺的液位傳感器電連接,所述信號接收模組還與所述主機臺通信連接,所述信號接收模組用于接收預警信號,并依據所述預警信號控制所述主機臺的工作狀態。
10.如權利要求9所述的冷卻水防泄漏系統,其特征在于,所述信號接收模組包括多個輸入端,每個所述輸入端均用于與一液位傳感器電連接,以接收多個液位傳感器傳輸的預警信號。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





