[實(shí)用新型]一種半導(dǎo)體切割設(shè)備沖洗廢水的回收處理系統(tǒng)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202022583116.6
• 申請(qǐng)日: 2020-11-10
• 公開（公告）號(hào): CN213707921U
• 公開（公告）日: 2021-07-16
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 應(yīng)玲玲
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 蘇州市洋基機(jī)電工程有限公司
• 主分類號(hào): C02F9/02
• 分類號(hào): C02F9/02
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

本實(shí)用新型公開了一種半導(dǎo)體切割設(shè)備沖洗廢水的回收處理系統(tǒng)，包括第一殼體，所述第一殼體的上表面固定連接有第一箱體，所述第一箱體的內(nèi)部底壁開設(shè)有第一通孔，所述第一殼體的內(nèi)部頂壁開設(shè)有第二通孔且與所述第一通孔相對(duì)設(shè)置，所述第一箱體的一側(cè)開設(shè)有第一通槽；通過將第一過濾板傾斜設(shè)置，不僅可以使得固體顆粒物經(jīng)第一通槽進(jìn)入第二箱體被暫時(shí)儲(chǔ)存，進(jìn)而使得清理與過濾可以同時(shí)進(jìn)行，不僅提高了工作效率，而且還減少了泡沫的產(chǎn)生，通過廢水撞擊板體后經(jīng)第三通孔流出，廢水沿桿體到達(dá)超濾膜的表面，透過差鋁膜后由經(jīng)半透膜過濾，不僅解決了使用單一的過濾方式，使得過濾網(wǎng)壓力較大，容易導(dǎo)致過濾網(wǎng)阻塞的問題。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及廢水的回收利用技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種半導(dǎo)體切割設(shè)備沖洗廢水的回收處理系統(tǒng)。

背景技術(shù)

半導(dǎo)體行業(yè)快速發(fā)展，其普遍應(yīng)用于計(jì)算機(jī)、通信、工業(yè)、軍事等核心領(lǐng)域，其中對(duì)晶圓的切割、研磨工藝流程也是半導(dǎo)體核心產(chǎn)業(yè)鏈上的重要一環(huán)，在晶圓切割、研磨過程中，晶圓體表面依附顆粒需沖洗測(cè)定，所以在切割工序中使用超純水及大量表面活性劑應(yīng)用于晶圓表面附著顆粒物的清洗，清洗需要流動(dòng)的清洗液，進(jìn)而需要使用大量的水資源，所以對(duì)清洗完成的廢水回收再利用是一項(xiàng)必要舉措。

現(xiàn)有的半導(dǎo)體切割設(shè)備沖洗廢水回收處理系統(tǒng)，一般采用過濾網(wǎng)對(duì)其內(nèi)部含有的固體顆粒進(jìn)行過濾，使用單一的過濾方式，不僅使得過濾網(wǎng)壓力較大，容易導(dǎo)致過濾網(wǎng)阻塞，而且不能使得清理和過濾同時(shí)進(jìn)行，進(jìn)而降低了工作效率，且在過濾時(shí)，由于廢水中含有大量表面活性劑，進(jìn)而容易出現(xiàn)泡沫溢出該裝置的情況，進(jìn)而造成了環(huán)境污染，為此，提出一種半導(dǎo)體切割設(shè)備沖洗廢水的回收處理系統(tǒng)。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的在于提供一種半導(dǎo)體切割設(shè)備沖洗廢水的回收處理系統(tǒng)，以解決上述背景技術(shù)中提出的問題。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供如下技術(shù)方案：一種半導(dǎo)體切割設(shè)備沖洗廢水的回收處理系統(tǒng)，包括第一殼體，所述第一殼體的上表面固定連接有第一箱體，所述第一箱體的內(nèi)部底壁開設(shè)有第一通孔，所述第一殼體的內(nèi)部頂壁開設(shè)有第二通孔且與所述第一通孔相對(duì)設(shè)置，所述第一箱體的一側(cè)開設(shè)有第一通槽，所述第一箱體的內(nèi)側(cè)壁固定連接有第一過濾板，所述第一過濾板的一側(cè)固定連接于所述第一通槽的內(nèi)部底壁，所述第一箱體的上方設(shè)有第一管體，所述第一管體的外側(cè)壁開設(shè)有出水孔，所述第一管體的外側(cè)壁焊接有固定環(huán)，所述固定環(huán)的外側(cè)壁焊接于所述第一箱體的上表面，所述第一殼體的上表面固定連接有第二箱體，所述第二箱體的一側(cè)貼合于所述第一箱體的一側(cè)，所述第二箱體的內(nèi)側(cè)壁固定連接有第二過濾板，所述第二箱體的內(nèi)部底壁固定連接有潛水泵，所述潛水泵的出水口連通有第二管體，所述第二管體的一端貫穿所述第二箱體的內(nèi)側(cè)壁，所述第二管體的一端連通于所述第一管體的外側(cè)壁，所述第一殼體的內(nèi)部頂壁焊接有環(huán)體且與第二通孔相對(duì)設(shè)置，所述環(huán)體的內(nèi)側(cè)壁焊接板體，所述板體的上表面均勻開設(shè)有第三通孔，所述板體的下表面均勻焊接有桿體且位于所述第三通孔的邊緣處，所述第一殼體的內(nèi)部設(shè)有第二殼體，所述第二殼體的上表面和下表面均開設(shè)有第二通槽，所述第二殼體的內(nèi)側(cè)壁貼合有超濾膜，所述第二殼體的內(nèi)側(cè)壁貼合有半透膜且位于所述超濾膜的下方。

作為本技術(shù)方案的進(jìn)一步優(yōu)選的：所述第一殼體的一側(cè)連通有第三管體，所述第三管體的外側(cè)壁安裝有閥門。

作為本技術(shù)方案的進(jìn)一步優(yōu)選的：所述第一殼體的上表面開設(shè)有第四通孔，所述第四通孔的內(nèi)側(cè)壁固定連接有排氣閥。

作為本技術(shù)方案的進(jìn)一步優(yōu)選的：所述第一殼體的內(nèi)側(cè)壁對(duì)稱焊接有兩個(gè)限位板，所述限位板的上表面貼合于所述第二殼體的下表面。

作為本技術(shù)方案的進(jìn)一步優(yōu)選的：所述第一殼體一側(cè)開設(shè)有第三通槽，所述第三通槽的內(nèi)側(cè)壁粘接有密封墊圈，所述第三通槽的內(nèi)側(cè)壁通過合頁(yè)鉸接有門體，所述門體的一側(cè)固定連接有母扣，所述第一殼體的一側(cè)固定連接有子扣，所述子扣與所述母扣卡扣連接，所述密封墊圈的內(nèi)側(cè)壁貼合于所述門體的外側(cè)壁。

作為本技術(shù)方案的進(jìn)一步優(yōu)選的：所述第一殼體的下表面四角處相互對(duì)稱焊接有四個(gè)支撐桿。