[實用新型]負性光刻膠生產用膠液循環過濾裝置

有效

• 申請號: 202022581402.9
• 申請日: 2020-11-10
• 公開（公告）號: CN214319361U
• 公開（公告）日: 2021-10-01
• 發明（設計）人: 張策
• 申請（專利權）人: 蘇州瑞紅電子化學品有限公司
• 主分類號: B01D33/11
• 分類號: B01D33/11;B01D33/74
• 代理公司: 南京縱橫知識產權代理有限公司 32224
• 代理人: 董成

本實用新型涉及光刻膠生產技術領域，且公開了負性光刻膠生產用膠液循環過濾裝置，包括外罐，所述外罐的內部活動套接有內罐，所述內罐的中部固定安裝有主軸，所述主軸的外側面固定套接有螺旋葉片，所述螺旋葉片的外側面與內罐的內側面固定連接。該負性光刻膠生產用膠液循環過濾裝置，通過在外罐的內部活動套接有內罐，并在內罐的中部固定安裝有主軸，以及主軸外側面的螺旋葉片，并在螺旋葉片上開設有篩孔，當光刻膠從進料罐底端的進料口進入內罐時，此時光刻膠即會落入螺旋葉片的上方，而此時由于螺旋葉片為螺旋形而非平行設計其可增加與光刻膠的接觸面積以及接觸時間可對光刻膠進行充分過濾，實現了可防止過濾不充分的優點。

技術領域

本實用新型涉及光刻膠生產技術領域，具體為負性光刻膠生產用膠液循環過濾裝置。

背景技術

負性光刻膠又稱光致抗蝕劑，是一種由感光樹脂、增感劑(見光譜增感染料)和溶劑三種主要成分組成的對光敏感的混合液體。感光樹脂經光照后，在曝光區能很快地發生光固化反應，使得這種材料的物理性能，特別是溶解性、親合性等發生明顯變化。經適當的溶劑處理，溶去可溶性部分，得到所需圖像(見圖光致抗蝕劑成像制版過程)。光刻膠廣泛用于印刷電路和集成電路的制造以及印刷制版等過程。光刻膠的技術復雜，品種較多。根據其化學反應機理和顯影原理，可分負性膠和正性膠兩類。光照后形成不可溶物質的是負性膠；反之，對某些溶劑是不可溶的，經光照后變成可溶物質的即為正性膠。利用這種性能，將光刻膠作涂層，就能在硅片表面刻蝕所需的電路圖形。基于感光樹脂的化學結構，光刻膠可以分為三種類型。①光聚合型，采用烯類單體，在光作用下生成自由基，自由基再進一步引發單體聚合，最后生成聚合物，具有形成正像的特點。②光分解型，采用含有疊氮醌類化合物的材料，經光照后,會發生光分解反應,由油溶性變為水溶性，可以制成正性膠。③光交聯型，采用聚乙烯醇月桂酸酯等作為光敏材料,在光的作用下,其分子中的雙鍵被打開，并使鏈與鏈之間發生交聯，形成一種不溶性的網狀結構，而起到抗蝕作用，這是一種典型的負性光刻膠。柯達公司的產品KPR膠即屬此類。感光樹脂在用近紫外光輻照成像時，光的波長會限制分辨率(見感光材料)的提高。為進一步提高分辨率以滿足超大規模集成電路工藝的要求，必須采用波長更短的輻射作為光源。由此產生電子束、X射線和深紫外 (250nm)刻蝕技術和相應的電子束刻蝕膠，X射線刻蝕膠和深紫外線刻蝕膠。其中，負性光刻膠生產工藝流程：將原料環化聚異戊二烯膠液(濃縮液RCIS) 及二甲苯按一定的配比從吸料口分別用隔膜泵打入調配釜；加入一定量的 BAC-M，充氮氣攪拌，使之充分溶解，混合均勻后取樣，進行中控檢驗，符合《過程產品控制規格》；合格后，將膠液循環過濾至100級凈化臺內灌裝，灌裝過程中進行成品檢驗，然后進行外包裝；包裝檢驗合格后，入庫。在負性光刻膠的生產過程中需要可能會出現部分光刻膠的浪費，而光刻膠本身較為昂貴，所以需要對浪費的光刻膠進一步進行過濾使其達到再次使用的要求，此時就需要使用到一種循環過濾裝置來對光刻膠進行過濾。

現有的光刻膠循環過濾裝置均是采用多層濾網構成的，在實際使用時需要將光刻膠通過多層濾網進行過濾，但光刻膠為具有流動性的液體，在通過多層濾網時和濾網的接觸時間及其的有限，此時就會導致多層濾網對光刻膠的過濾并不充分導致了光刻膠內仍含有一部分的雜質不能滿足使用需求。

同時，現有的光刻膠在通過濾網時由于濾網本身是固定不變的，而當含有雜質的光刻膠通過濾網時光刻膠內部的雜質便會部分停留在濾網的內部，長期的使用后就會造成濾網的堵塞，此時就需要經常對濾網進行清理，使用起來較為不便。

實用新型內容

針對現有技術的不足，本實用新型提供了負性光刻膠生產用膠液循環過濾裝置，具備可防止過濾不充分和可防止濾孔被堵塞的優點，解決了上述背景技術中提出的問題。

本實用新型提供如下技術方案：負性光刻膠生產用膠液循環過濾裝置，包括外罐，所述外罐的內部活動套接有內罐，所述內罐的中部固定安裝有主軸，所述主軸的外側面固定套接有螺旋葉片，所述螺旋葉片的外側面與內罐的內側面固定連接，所述螺旋葉片的頂端呈圓周狀開設有完全貫穿的篩孔，所述內罐的外側面等角度開始有粗濾孔。