[實用新型]負性光刻膠生產用膠液循環(huán)過濾裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 202022581402.9 | 申請日： | 2020-11-10 |
| 公開（公告）號： | CN214319361U | 公開（公告）日： | 2021-10-01 |
| 發(fā)明（設計）人： | 張策 | 申請（專利權）人： | 蘇州瑞紅電子化學品有限公司 |
| 主分類號： | B01D33/11 | 分類號： | B01D33/11;B01D33/74 |
| 代理公司： | 南京縱橫知識產權代理有限公司 32224 | 代理人： | 董成 |
| 地址： | 215124 江蘇省*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 光刻 生產 用膠液 循環(huán) 過濾 裝置 | ||
1.負性光刻膠生產用膠液循環(huán)過濾裝置，包括外罐(1)，其特征在于：所述外罐(1)的內部活動套接有內罐(2)，所述內罐(2)的中部固定安裝有主軸(11)，所述主軸(11)的外側面固定套接有螺旋葉片(12)，所述螺旋葉片(12)的外側面與內罐(2)的內側面固定連接，所述螺旋葉片(12)的頂端呈圓周狀開設有完全貫穿的篩孔(15)，所述內罐(2)的外側面等角度開始有粗濾孔(14)。
2.根據(jù)權利要求1所述的負性光刻膠生產用膠液循環(huán)過濾裝置，其特征在于：所述外罐(1)的底端固定安裝有傳動箱(3)，所述傳動箱(3)的內部固定安裝有電機(4)，所述電機(4)輸出軸的頂端貫穿內罐(2)的底端且與主軸(11)的底端固定連接。
3.根據(jù)權利要求1所述的負性光刻膠生產用膠液循環(huán)過濾裝置，其特征在于：所述外罐(1)的外側面等角度開設有細濾孔(13)，所述外罐(1)的底端等角度固定安裝有支撐腿(5)。
4.根據(jù)權利要求1所述的負性光刻膠生產用膠液循環(huán)過濾裝置，其特征在于：所述內罐(2)的頂端等角度固定安裝有連接桿(7)，所述連接桿(7)的頂端固定安裝有進料罐(6)，所述進料罐(6)的底端開設有位于內罐(2)上方的進料口(16)。
5.根據(jù)權利要求4所述的負性光刻膠生產用膠液循環(huán)過濾裝置，其特征在于：所述進料罐(6)內腔的底端固定安裝有復位彈簧(9)，所述復位彈簧(9)的頂端固定安裝有料斗(8)。
6.根據(jù)權利要求4所述的負性光刻膠生產用膠液循環(huán)過濾裝置，其特征在于：所述進料罐(6)的頂端固定安裝有限位圈(10)，所述限位圈(10)的內徑與料斗(8)的直徑相同。
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