[實用新型]一種傳感器芯片標定測試調度裝置

有效

• 申請號: 202022548512.5
• 申請日: 2020-11-06
• 公開（公告）號: CN214173417U
• 公開（公告）日: 2021-09-10
• 發明（設計）人: 張遼;范兆周;李飛
• 申請（專利權）人: 北京清大天達光電科技股份有限公司
• 主分類號: G01D18/00
• 分類號: G01D18/00
• 代理公司: 北京知呱呱知識產權代理有限公司 11577
• 代理人: 孫志一

本實用新型公開了一種傳感器芯片標定測試調度裝置，用于傳感器標定線上多個傳感器的芯片載板在N個芯片測試區同時進行標定測試，所述傳感器標定線包括順序連接的N?1個溫區和1個復測區、一條貫穿整線的傳輸機構，每個溫區包括一個預溫箱、一個測試箱、一個緩沖箱、一個過渡箱，所述高溫區不包含過渡箱；所述復測區包括一個降溫箱、一個寫入箱、一個復測箱；所述標定測試包括傳輸機構將各芯片載板依次轉移到各溫區的預溫箱、測試箱，并進行標定測試，然后進入緩沖箱、過渡箱，最后轉移到復測區的降溫箱、寫入箱和復測箱，完成全部標定測試，可以使多個芯片載板在多個測試溫區中同時且高效進行標定測試。

技術領域

本實用新型涉及傳感器芯片標定技術領域，具體涉及一種傳感器芯片標定測試調度裝置。

背景技術

傳感器芯片自動標定線是傳感器生產線中的重要設備。該設備為批量在線自動標定線，設備包括多個測試溫區和一套貫穿整線的傳輸機構，可用于在線標定傳感器芯片。其中，一個測試溫區可同時標定一個芯片載板上的全部芯片，通常一個芯片載板上有64塊芯片。

為了提高傳感器芯片在線自動標定的效率，其通常在標定線設備的四個測試溫區同時進行標定測試。一個芯片標定作業是指按工藝要求使芯片載板達到一定的溫度，并在特定的環境如壓力下進行標定測試，同時進行四個芯片標定作業即使標定線上的四個測試溫區同時對四個芯片載板上的芯片進行標定。然而，在這種情況下，當芯片載板結束某一溫區的測試、進入下一溫區時，如果芯片載板與下一溫區的溫差過大，會發生凝露或熱脹冷縮而損壞芯片及硬件結構；如果在各測試溫區之間設置過長的溫度過渡區間，又會降低標定線的生產效率、提高整線的芯片載板數量冗余。

實用新型內容

為此，本實用新型提供一種傳感器芯片標定測試調度裝置，使多個芯片載板在多個測試溫區中同時且高效進行標定測試。

為了實現上述目的，本實用新型提供如下技術方案：

一種傳感器芯片標定測試調度裝置，用于調度傳感器標定線上多個傳感器的芯片載板在N個芯片測試區同時進行標定測試，所述傳感器標定線包括順序連接的N-1個溫區和1個復測區、一條貫穿整線的傳輸機構，所述N-1 個溫區為低溫區、常溫區、高溫區，每個溫區包括一個預溫箱、一個測試箱、一個緩沖箱、一個過渡箱，所述高溫區不包含過渡箱；所述復測區包括一個降溫箱、一個寫入箱、一個復測箱；所述傳輸機構用于將進行標定測試的各芯片載板依次轉移到各溫區的預溫箱、測試箱、緩沖箱、過渡箱、復測區的降溫箱、寫入箱和復測箱，其中N為大于等于2、小于等于4的整數，所述裝置包括：

裝載單元(1)，四個測試溫區(2-1)、(2-2)、(2-3)、(2-4)，傳輸機構(3)，卸載單元(4)；其中，第一測試溫區(2-1)包括低溫預溫箱、低溫測試箱、低溫緩沖箱、低溫過渡箱；第二測試溫區(2-2)包括常溫預溫箱、常溫測試箱、常溫緩沖箱、常溫過渡箱；第三測試溫區(2-3)包括高溫預溫箱、高溫測試箱、高溫緩沖箱；第四測試溫區(2-4)包括降溫箱、寫入箱、復測箱。

可選地，所述芯片載板為容納64片5mm×5mm的芯片，材質為PCB，芯片間距為10mm。

可選地，芯片載板從低溫區過渡箱進入常溫區預溫箱時、從常溫區過渡箱進入高溫區預溫箱時、從復測區寫入箱進入復測箱時均存在準入溫度閾值條件。

本實用新型具有如下優點：

本實用新型提供一種傳感器芯片標定測試調度裝置，其中傳感器標定線包括順序連接的N-1個溫區和1個復測區、一條貫穿整線的傳輸機構，所述 N-1個溫區為低、常、高三個不同溫度下的溫區，每個溫區包括一個預溫箱、一個測試箱、一個緩沖箱、一個過渡箱，高溫區不包含過渡箱；所述復測區包括一個降溫箱、一個寫入箱、一個復測箱；所述標定測試包括傳輸機構將各芯片載板依次轉移到各溫區的預溫箱、測試箱，并進行標定測試，然后進入緩沖箱、過渡箱，最后轉移到復測區的降溫箱、寫入箱和復測箱，完成全部標定測試使多個芯片載板在多個測試溫區中同時且高效進行標定測試。

附圖說明