[實用新型]一種傳感器芯片標定測試調度裝置

有效

• 申請號: 202022548512.5
• 申請日: 2020-11-06
• 公開（公告）號: CN214173417U
• 公開（公告）日: 2021-09-10
• 發明（設計）人: 張遼;范兆周;李飛
• 申請（專利權）人: 北京清大天達光電科技股份有限公司
• 主分類號: G01D18/00
• 分類號: G01D18/00
• 代理公司: 北京知呱呱知識產權代理有限公司 11577
• 代理人: 孫志一

1.一種傳感器芯片標定測試調度裝置，用于調度傳感器標定線上多個傳感器的芯片載板在N個芯片測試區同時進行標定測試，所述傳感器標定線包括順序連接的N-1個溫區和1個復測區、一條貫穿整線的傳輸機構，所述N-1個溫區為低溫區、常溫區、高溫區，每個溫區包括一個預溫箱、一個測試箱、一個緩沖箱、一個過渡箱，所述高溫區不包含過渡箱；所述復測區包括一個降溫箱、一個寫入箱、一個復測箱；所述傳輸機構用于將進行標定測試的各芯片載板依次轉移到各溫區的預溫箱、測試箱、緩沖箱、過渡箱、復測區的降溫箱、寫入箱和復測箱，其中N為大于等于2、小于等于4的整數，其特征在于，所述裝置包括：

裝載單元(1)，四個測試溫區(2-1)、(2-2)、(2-3)、(2-4)，傳輸機構(3)，卸載單元(4)；其中，第一測試溫區(2-1)包括低溫預溫箱、低溫測試箱、低溫緩沖箱、低溫過渡箱；第二測試溫區(2-2)包括常溫預溫箱、常溫測試箱、常溫緩沖箱、常溫過渡箱；第三測試溫區(2-3)包括高溫預溫箱、高溫測試箱、高溫緩沖箱；第四測試溫區(2-4)包括降溫箱、寫入箱、復測箱。

2.如權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述芯片載板為容納64片5mm×5mm的芯片，材質為PCB，芯片間距為10mm。

3.如權利要求1所述的裝置，其特征在于，芯片載板從低溫區過渡箱進入常溫區預溫箱時、從常溫區過渡箱進入高溫區預溫箱時、從復測區寫入箱進入復測箱時均存在準入溫度閾值條件。