[實用新型]真空磁控濺射鍍膜機用的驅動端頭安裝結構

有效

• 申請號: 202022503287.3
• 申請日: 2020-11-03
• 公開（公告）號: CN213624356U
• 公開（公告）日: 2021-07-06
• 發明（設計）人: 黃貝;季施豪
• 申請（專利權）人: 上海北玻鍍膜技術工業有限公司
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35
• 代理公司: 洛陽公信知識產權事務所(普通合伙) 41120
• 代理人: 衛煜睿

真空磁控濺射鍍膜機用的驅動端頭安裝結構，包括：驅動端殼體和設置在驅動端殼體內的轉軸，所述轉軸的一端通過連接件與靶筒法蘭連接，另一端與驅動機構相連接并由驅動機構帶動其轉動，所述轉軸的外周面沿徑向設有斷面呈┏形狀的定位凸臺，定位凸臺的內凹面與轉軸的外周面之間形成用于安裝滾動軸承的腔室，在定位凸臺的外周面與驅動端殼體之間的空腔內設有骨架油封，在所述轉軸與驅動端殼體之間還設有真空密封套。本方案通過對端頭的安裝結構進行優化，實現一種超薄端頭安裝結構，從而降低對腔體空間尺寸的要求，使腔體尺寸變得更小，進而降低制造加工的成本。

技術領域

本實用新型涉及真空磁控濺射鍍膜設備領域，具體為一種真空磁控濺射鍍膜機用的驅動端頭安裝結構。

背景技術

目前，國內外相關企業實踐了新的理念，陸續推出了新型號的端頭、磁鋼等核心部件，技術在持續地進步。隨著市場需求的不斷發展，小型化的真空磁控濺射鍍膜設備變得越來越多，如果端頭可以做得越薄，真空腔體尺寸就可以做得越小，加工成本會越低，自然就會在市場上占據較大的競爭優勢。

然而，現有真空磁控濺射鍍膜設備所用的驅動端頭安裝結構，由于設計不盡完善，具有軸向尺寸較大，占據腔體內部空間較多，加工成本較高等問題，隨著市場競爭壓力的加大，對真空磁控濺射鍍膜機整體性能的要求也就越來越多，迫切需要一種可以安裝在真空磁控濺射鍍膜機驅動端的超薄端頭結構。

實用新型內容

為解決上述技術問題，本實用新型的目的是提出一種真空磁控濺射鍍膜機用的驅動端頭安裝結構，通過端頭的安裝結構進行優化，實現一種超薄端頭安裝結構，從而降低對腔體空間尺寸的要求，使腔體尺寸變得更小，進而降低制造加工的成本。

本實用新型采用的技術方案是：真空磁控濺射鍍膜機用的驅動端頭安裝結構，

包括：驅動端殼體和設置在驅動端殼體內的轉軸，所述轉軸的一端通過連接件與靶筒法蘭連接，另一端與驅動機構相連接并由驅動機構帶動其轉動，所述轉軸的外周面沿徑向設有斷面呈┏形狀的定位凸臺，定位凸臺的內凹面與轉軸的外周面之間形成用于安裝滾動軸承的腔室，在定位凸臺的外周面與驅動端殼體之間的空腔內設有骨架油封，在所述轉軸與驅動端殼體之間還設有真空密封套。

進一步優化，所述的定位凸臺與轉軸為一體成型結構。

進一步優化，所述的真空密封套具有兩個卡接端，其中一個卡接端位于骨架油封與驅動端殼體之間，另外一個卡接端位于定位凸臺與滾動軸承之間。

進一步優化，所述驅動端殼體上還設有用于抽夾縫真空的快插接頭，在所述真空密封套上還設有用于連通快插接頭與安裝骨架油封的空腔的預留孔。

進一步優化，所述驅動端殼體的外部還設有護罩。

進一步優化，所述的驅動機構包括驅動電機、主動帶輪、同步帶和安裝在轉軸一端的從動帶輪，所述同步帶穿過陰極蓋板上的孔將主動帶輪和從動帶輪連接。

進一步優化，所述的驅動電機為變頻減速電機。

本實用新型的有益效果是：

本方案通過對驅動端殼體內部的轉軸和真空密封套的結構進行合理優化，結合上述結構的優化同步對其內的軸承組件和骨架油封的設置方式進行調整，通過巧妙地設計和調整，充分利用徑向空間來縮短軸向尺寸，使得驅動端頭有效寬度QD變小，驅動端頭變得更薄，從而降低對腔體空間尺寸的要求，使腔體尺寸變得更小，進而降低制造加工的成本，同時也會增加靶材有效濺射長度，提高靶材的利用率，更加適應目前國內外小型化的真空磁控濺射鍍膜設備的需求。

附圖說明

圖1是本實用新型省去驅動機構的結構示意圖；

圖2是本實用新型的結構示意圖；

圖3是本實用新型中轉軸的結構示意圖；