[實用新型]真空磁控濺射鍍膜機用的驅動端頭安裝結構

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202022503287.3
• 申請日: 2020-11-03
• 公開（公告）號: CN213624356U
• 公開（公告）日: 2021-07-06
• 發(fā)明（設計）人: 黃貝;季施豪
• 申請（專利權）人: 上海北玻鍍膜技術工業(yè)有限公司
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35
• 代理公司: 洛陽公信知識產(chǎn)權事務所(普通合伙) 41120
• 代理人: 衛(wèi)煜睿

1.真空磁控濺射鍍膜機用的驅動端頭安裝結構，其特征在于：

包括：驅動端殼體和設置在驅動端殼體內(nèi)的轉軸，所述轉軸的一端通過連接件與靶筒法蘭連接，另一端與驅動機構相連接并由驅動機構帶動其轉動，所述轉軸的外周面沿徑向設有斷面呈┏形狀的定位凸臺，定位凸臺的內(nèi)凹面與轉軸的外周面之間形成用于安裝滾動軸承的腔室，在定位凸臺的外周面與驅動端殼體之間的空腔內(nèi)設有骨架油封，在所述轉軸與驅動端殼體之間還設有真空密封套。

2.根據(jù)權利要求1所述的真空磁控濺射鍍膜機用的驅動端頭安裝結構，其特征在于：所述的定位凸臺與轉軸為一體成型結構。

3.根據(jù)權利要求1所述的真空磁控濺射鍍膜機用的驅動端頭安裝結構，其特征在于：所述的真空密封套具有兩個卡接端，其中一個卡接端位于骨架油封與驅動端殼體之間，另外一個卡接端位于定位凸臺與滾動軸承之間。

4.根據(jù)權利要求1所述的真空磁控濺射鍍膜機用的驅動端頭安裝結構，其特征在于：所述驅動端殼體上還設有用于抽夾縫真空的快插接頭，在所述真空密封套上還設有用于連通快插接頭與安裝骨架油封的空腔的預留孔。

5.根據(jù)權利要求1所述的真空磁控濺射鍍膜機用的驅動端頭安裝結構，其特征在于：所述驅動端殼體的外部還設有護罩。

6.根據(jù)權利要求1所述的真空磁控濺射鍍膜機用的驅動端頭安裝結構，其特征在于：所述的驅動機構包括驅動電機、主動帶輪、同步帶和安裝在轉軸一端的從動帶輪，所述同步帶穿過陰極蓋板上的孔將主動帶輪和從動帶輪連接。

7.根據(jù)權利要求6所述的真空磁控濺射鍍膜機用的驅動端頭安裝結構，其特征在于：所述的驅動電機為變頻減速電機。