[實用新型]石墨舟內(nèi)硅片位置矯正裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202022462964.1
• 申請日: 2020-10-30
• 公開（公告）號: CN213624372U
• 公開（公告）日: 2021-07-06
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 宋慧鋒;馬樹明;宋如意;謝正杰
• 申請（專利權(quán)）人: 山西潞安太陽能科技有限責(zé)任公司
• 主分類號: C23C16/458
• 分類號: C23C16/458;C23C16/50;H01L31/18;H01L21/673
• 代理公司: 太原市科瑞達專利代理有限公司 14101
• 代理人: 李富元

1.石墨舟內(nèi)硅片位置矯正裝置，其特征在于：包括安裝在石墨舟外殼（1）上的液壓缸（2）、安裝在液壓缸（2）的伸縮臂上的橫梁（9）、通過螺柱（5）安裝在橫梁（9）上的拍板（4），橫梁（9）上有通孔（8），螺柱（5）一端通過焊接、一體化連接、螺栓連接的任意一種連接方式固定在拍板（4）上，螺柱（5）另一端深入通孔（8）中并通過第一螺帽（6）和第二螺帽（7）進行固定，液壓缸（2）通過電磁閥連接電源，PLC連接電磁閥。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的石墨舟內(nèi)硅片位置矯正裝置，其特征在于：橫梁（9）的中部通過焊接、一體化連接、螺栓連接的任意一種連接方式固定在液壓缸（2）的伸縮臂上，橫梁（9）的兩端各有兩個通孔（8），橫梁（9）的每端通過兩個螺柱（5）連接一塊拍板（4）。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的石墨舟內(nèi)硅片位置矯正裝置，其特征在于：拍板（4）與石墨舟外殼（1）正對的面上粘接一層橡膠板（3）。