[實(shí)用新型]一種用于MPCVD設(shè)備的真空生成裝置有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 202022457428.2 | 申請(qǐng)日: | 2020-10-29 |
| 公開(kāi)(公告)號(hào): | CN213623261U | 公開(kāi)(公告)日: | 2021-07-06 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 王凱;秦靜 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 美若科技有限公司 |
| 主分類號(hào): | B67C9/00 | 分類號(hào): | B67C9/00 |
| 代理公司: | 濟(jì)南文衡創(chuàng)服知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 37323 | 代理人: | 劉真 |
| 地址: | 276800 山東省日*** | 國(guó)省代碼: | 山東;37 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 用于 mpcvd 設(shè)備 真空 生成 裝置 | ||
本實(shí)用新型公開(kāi)了一種用于MPCVD設(shè)備的真空生成裝置,包括真空發(fā)生器和連接管,真空發(fā)生器一側(cè)設(shè)置有真空吸入管,連接管設(shè)置在真空吸入管一端,連接管一端熔接有螺紋環(huán),真空吸入管的內(nèi)壁一端設(shè)置有連接螺槽,螺紋環(huán)與連接螺槽相嚙合,真空發(fā)生器和連接管上均熔接有氣壓檢測(cè)筒,螺紋環(huán)一端粘合有密封環(huán),連接螺槽的內(nèi)壁上設(shè)置有環(huán)形槽,密封環(huán)卡設(shè)在環(huán)形內(nèi)側(cè)。本實(shí)用新型通過(guò)連接管與真空吸入管之間的連接關(guān)系能夠保證連接管與真空吸入管之間密封性好,并且通過(guò)密封囊能夠進(jìn)一步增強(qiáng)密封效果,而且通過(guò)氣壓檢測(cè)筒能夠檢測(cè)真空發(fā)生器工作時(shí)氣壓是否正常,通過(guò)觀察指示燈發(fā)光情況即可進(jìn)行判斷,因此使用十分方便。
技術(shù)領(lǐng)域
本實(shí)用新型涉及一種真空生成裝置,具體為一種用于MPCVD設(shè)備的真空生成裝置,屬于人造金剛石生產(chǎn)相關(guān)技術(shù)領(lǐng)域。
背景技術(shù)
金剛石也就是我們常說(shuō)的鉆石,它是一種由純碳組成的礦物,也是自然界中最堅(jiān)硬的物質(zhì)。自18世紀(jì)證實(shí)了金剛石是由純碳組成的以后,人們就開(kāi)始了對(duì)人造金剛石的研究,只是在20世紀(jì)50年代通過(guò)高壓研究和高壓實(shí)驗(yàn)技術(shù)的進(jìn)展,才獲得真正的成功和迅速的發(fā)展,人造金剛石亦被廣泛應(yīng)用于各種工業(yè),現(xiàn)在的生產(chǎn)工藝一般需要使用MPCVD設(shè)備,因此需要使用真空生成裝置來(lái)制造真空環(huán)境,但是現(xiàn)在的真空生成裝置大都存在一定的不足,普通的真空生成裝置與連接管道連接時(shí)可能出現(xiàn)漏氣現(xiàn)象,因此密封性需要得到保證,并且出現(xiàn)漏氣情況時(shí)不易發(fā)覺(jué),因此現(xiàn)在需要一種用于MPCVD設(shè)備的真空生成裝置來(lái)幫助解決上述問(wèn)題。
實(shí)用新型內(nèi)容
本實(shí)用新型的目的就在于為了解決上述問(wèn)題而提供一種用于MPCVD設(shè)備的真空生成裝置,通過(guò)連接管與真空吸入管之間的連接關(guān)系能夠保證連接管與真空吸入管之間密封性好,并且通過(guò)密封囊能夠進(jìn)一步增強(qiáng)密封效果,而且通過(guò)氣壓檢測(cè)筒能夠檢測(cè)真空發(fā)生器工作時(shí)氣壓是否正常,通過(guò)觀察指示燈發(fā)光情況即可進(jìn)行判斷,因此使用十分方便。
本實(shí)用新型通過(guò)以下技術(shù)方案來(lái)實(shí)現(xiàn)上述目的,一種用于MPCVD設(shè)備的真空生成裝置,包括真空發(fā)生器和連接管,所述真空發(fā)生器一側(cè)設(shè)置有真空吸入管,所述連接管設(shè)置在所述真空吸入管一端,所述連接管一端熔接有螺紋環(huán),所述真空吸入管的內(nèi)壁一端設(shè)置有連接螺槽,所述螺紋環(huán)與所述連接螺槽相嚙合,所述真空發(fā)生器和所述連接管上均熔接有氣壓檢測(cè)筒。
優(yōu)選的,為了保證螺紋環(huán)與真空吸入管之間密封性好,所述螺紋環(huán)一端粘合有密封環(huán),所述連接螺槽的內(nèi)壁上設(shè)置有環(huán)形槽。
優(yōu)選的,為了進(jìn)一步增強(qiáng)密封性,所述密封環(huán)卡設(shè)在所述環(huán)形內(nèi)側(cè),所述環(huán)形槽的內(nèi)壁粘合有密封囊。
優(yōu)選的,為了方便為密封囊打氣,所述密封囊上設(shè)置有打氣頭,所述環(huán)形槽的內(nèi)壁上設(shè)置有打氣孔,所述打氣頭設(shè)置在所述打氣孔內(nèi)。
優(yōu)選的,為了檢測(cè)真空吸入管和連接管內(nèi)部氣壓是否正常,述氣壓檢測(cè)筒內(nèi)設(shè)置有氣壓槽和觸發(fā)腔,所述氣壓檢測(cè)筒上設(shè)置有指示燈和蓄電池。
優(yōu)選的,為了方便觀察,所述氣壓槽內(nèi)卡設(shè)有密封塊,所述觸發(fā)腔內(nèi)設(shè)置有移動(dòng)片,所述密封塊與所述移動(dòng)片之間熔接有聯(lián)動(dòng)桿,所述氣壓槽與所述觸發(fā)腔之間設(shè)置有通孔,所述聯(lián)動(dòng)桿卡設(shè)在所述通孔內(nèi),所述移動(dòng)片上安裝有電極片一,所述觸發(fā)腔的內(nèi)部上安裝有電極片二,所述指示燈通過(guò)電線分別與所述電極片一和所述蓄電池連接,所述蓄電池通過(guò)電線與所述電極片二連接。
優(yōu)選的,為了方便對(duì)密封塊進(jìn)行限位,所述密封塊與所述氣壓槽的內(nèi)壁之間熔接有彈簧。
本實(shí)用新型的有益效果是:本實(shí)用新型通過(guò)連接管與真空吸入管之間的連接關(guān)系能夠保證連接管與真空吸入管之間密封性好,并且通過(guò)密封囊能夠進(jìn)一步增強(qiáng)密封效果,而且通過(guò)氣壓檢測(cè)筒能夠檢測(cè)真空發(fā)生器工作時(shí)氣壓是否正常,通過(guò)觀察指示燈發(fā)光情況即可進(jìn)行判斷,因此使用十分方便。
附圖說(shuō)明
圖1為本實(shí)用新型的正視圖。
圖2為本實(shí)用新型的連接管剖面視圖。
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