[實用新型]一種用于MPCVD設備的真空生成裝置

有效

• 申請號: 202022457428.2
• 申請日: 2020-10-29
• 公開（公告）號: CN213623261U
• 公開（公告）日: 2021-07-06
• 發明（設計）人: 王凱;秦靜
• 申請（專利權）人: 美若科技有限公司
• 主分類號: B67C9/00
• 分類號: B67C9/00
• 代理公司: 濟南文衡創服知識產權代理事務所(普通合伙) 37323
• 代理人: 劉真

1.一種用于MPCVD設備的真空生成裝置，包括真空發生器(1)和連接管(2)，其特征在于：所述真空發生器(1)一側設置有真空吸入管(3)，所述連接管(2)設置在所述真空吸入管(3)一端，所述連接管(2)一端熔接有螺紋環(4)，所述真空吸入管(3)的內壁一端設置有連接螺槽，所述螺紋環(4)與所述連接螺槽相嚙合，所述真空發生器(1)和所述連接管(2)上均熔接有氣壓檢測筒(5)。

2.根據權利要求1所述的一種用于MPCVD設備的真空生成裝置，其特征在于：所述螺紋環(4)一端粘合有密封環(6)，所述連接螺槽的內壁上設置有環形槽。

3.根據權利要求2所述的一種用于MPCVD設備的真空生成裝置，其特征在于：所述密封環(6)卡設在所述環形內側，所述環形槽的內壁粘合有密封囊(7)。

4.根據權利要求3所述的一種用于MPCVD設備的真空生成裝置，其特征在于：所述密封囊(7)上設置有打氣頭(8)，所述環形槽的內壁上設置有打氣孔(9)，所述打氣頭(8)設置在所述打氣孔(9)內。

5.根據權利要求1所述的一種用于MPCVD設備的真空生成裝置，其特征在于：所述氣壓檢測筒(5)內設置有氣壓槽(10)和觸發腔(11)，所述氣壓檢測筒(5)上設置有指示燈(12)和蓄電池(13)。

6.根據權利要求5所述的一種用于MPCVD設備的真空生成裝置，其特征在于：所述氣壓槽(10)內卡設有密封塊(14)，所述觸發腔(11)內設置有移動片(15)，所述密封塊(14)與所述移動片(15)之間熔接有聯動桿(16)，所述氣壓槽(10)與所述觸發腔(11)之間設置有通孔，所述聯動桿(16)卡設在所述通孔內，所述移動片(15)上安裝有電極片一(17)，所述觸發腔(11)的內部上安裝有電極片二(18)，所述指示燈(12)通過電線分別與所述電極片一(17)和所述蓄電池(13)連接，所述蓄電池(13)通過電線與所述電極片二(18)連接。

7.根據權利要求6所述的一種用于MPCVD設備的真空生成裝置，其特征在于：所述密封塊(14)與所述氣壓槽(10)的內壁之間熔接有彈簧(19)。