[實用新型]一種化學氣相沉淀裝置

有效

• 申請號: 202022389330.8
• 申請日: 2020-10-24
• 公開（公告）號: CN213357741U
• 公開（公告）日: 2021-06-04
• 發明（設計）人: 牛新海;李志坤
• 申請（專利權）人: 青島微弘設備技術有限公司
• 主分類號: C23C16/455
• 分類號: C23C16/455
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種化學氣相沉淀裝置，其特征是，包括沉淀筒、氣體均布件、晶圓布置件；

所述沉淀筒呈兩端封堵的圓筒狀結構；

所述氣體均布件呈圓筒狀結構，所述氣體均布件的圓筒側壁內設置有沿圓筒軸向方向延伸的環形均布腔；所述氣體均布件的圓筒內側壁上均勻設置有若干與環形均布腔相連通的氣體均布孔；所述氣體均布件的圓筒外側壁上設置有與環形均布腔相連通的氣體入口管；

所述晶圓布置件呈圓柱狀結構，所述晶圓布置件的側壁上均勻設置有若干用來安裝晶圓的晶圓夾筒；

所述氣體均布件同軸設置在沉淀筒內部，所述沉淀筒的側壁上設置有供氣體入口管穿過的通孔；

所述晶圓布置件同軸設置在氣體均布件內部，所述晶圓布置件的底端與沉淀筒的內側底端固定連接。

2.如權利要求1所述的化學氣相沉淀裝置，其特征是，所述沉淀筒包括上下對稱設置的上沉淀筒和下沉淀筒；

所述上沉淀筒的底端設置上連接法蘭；所述下沉淀筒的頂端設置下連接法蘭；

所述上連接法蘭、下連接法蘭通過螺栓進行連接。

3.如權利要求2所述的化學氣相沉淀裝置，其特征是，所述氣體均布件的外側壁中部設置有環形安裝板；所述環形安裝板上沿圓周方向均勻設置若干連接孔；

所述環形安裝板位于上連接法蘭、下連接法蘭之間；

所述上連接法蘭、環形安裝板、下連接法蘭通過螺栓進行連接。

4.如權利要求1所述的化學氣相沉淀裝置，其特征是，所述氣體入口管上設置入口閥門。

5.如權利要求4所述的化學氣相沉淀裝置，其特征是，所述入口閥門前端的氣體入口管上設置用來過濾氣體的過濾件。

6.如權利要求5所述的化學氣相沉淀裝置，其特征是，所述過濾件包括呈圓筒狀結構的過濾筒，所述過濾筒的內側面上沿軸向方向均勻內嵌有若干層鋼絲過濾網；

所述過濾筒的兩端與氣體入口管進行法蘭連接。