[實用新型]一種便于移動的擴散爐

有效

• 申請號: 202022389324.2
• 申請日: 2020-10-24
• 公開（公告）號: CN213357738U
• 公開（公告）日: 2021-06-04
• 發明（設計）人: 牛新海;李志坤
• 申請（專利權）人: 青島微弘設備技術有限公司
• 主分類號: C23C16/44
• 分類號: C23C16/44;C23C16/455;C23C16/40
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本實用新型公開了一種便于移動的擴散爐，包括外箱體、爐體；爐體包括爐筒、氣體均布件；外箱體的一側內側壁上設置有能夠將硅片通過爐口送至爐體內腔中的送料機構；外箱體的底部設置有底座；底座的底部設置有四個滾輪；底座的四個直角處各設置有一個支撐螺柱；支撐螺柱的底端與支撐座通過軸承進行轉動連接。本實用新型中設置有滾輪和支撐螺柱，當需要移動本申請擴散爐時，分別旋轉四個支撐螺柱，使支撐螺柱向上移動，直至滾輪接觸地面，通過滾輪移動本申請擴散爐；當需要固定本申請擴散爐時，反向旋轉支撐螺柱，使支撐螺柱向下移動，直至支撐座接觸支撐面起到支撐作用；因此，本申請擴散爐既便于移動，又能實現支撐固定作用。

技術領域

本實用新型屬于擴散爐技術領域，具體涉及一種便于移動的擴散爐。

背景技術

擴散爐是半導體生產線前工序的重要工藝設備之一，用于大規模集成電路、分立器件、電力電子、光電器件和光導纖維等行業的擴散、氧化、退火、合金及燒結等工藝。

其中，擴散爐在使用過程中，需要將硅片傳送至擴散爐爐體內，硅片在擴散爐爐內與反應氣體進行相應反應，從而在硅片表面不斷生成二氧化硅膜。

但是，現有的擴散爐都不易移動，需要調整位置時，大都采用人工推拉的方式，耗費的勞動強度較大。

因此，亟需設計一種便于移動的擴散爐。

實用新型內容

本實用新型的目的是為克服上述現有技術的不足，提供一種便于移動的擴散爐。

為實現上述目的，本實用新型采用如下技術方案：

一種便于移動的擴散爐，包括外箱體以及設置在外箱體內部的爐體；

所述爐體包括爐筒、氣體均布件；所述爐筒呈兩端封堵的臥式圓筒結構；所述爐筒的一端設置爐口；所述爐筒通過爐筒底座固定設置在外箱體內底面上；

所述氣體均布件呈圓筒狀結構，所述氣體均布件的圓筒側壁內設置有沿圓筒軸向方向延伸的環形均布腔；所述氣體均布件的圓筒內側壁上均勻設置有若干與環形均布腔相連通的氣體均布孔；所述氣體均布件的圓筒外側壁上設置有與環形均布腔相連通的氣體入口管；

所述氣體均布件同軸設置在爐筒內部，所述爐筒的側壁上、外箱體的側壁上均設置有供氣體入口管穿過的通孔；

所述爐筒的側壁上設置有排氣管，所述排氣管延伸至外箱體的外部；

所述外箱體的一側內側壁上設置有能夠將硅片通過爐口送至爐體內腔中的送料機構；

所述送料機構包括送料電機、送料螺桿、送料滑座、送料導軌；

所述送料電機固定設置在外箱體的一側內側壁上；

所述送料螺桿的一端與送料電機的轉軸端部進行同軸固定連接；

所述送料滑座的中部螺紋孔與送料螺桿進行螺紋連接；所述送料滑座的側面與送料導軌進行沿送料螺桿軸向方向的滑動連接；

所述送料滑座的上部設置有用來夾持硅片的夾頭；所述夾頭包括呈U型結構的調節座，所述調節座的開口面向爐體的爐口；所述調節座的兩塊水平板之間設置兩塊上下對稱的水平夾持板；兩塊水平夾持板相向的側面上沿長度方向對稱設置有若干夾持柱；

所述調節座上設置有用來控制兩塊水平夾持板進行同步相向運動或同步背向運動的調節件；

所述調節座中豎直板的外端面通過L型支架與送料滑座的頂端固定連接；所述L型支架上設置有能夠封堵爐口的封堵板；

所述外箱體的底部設置有底座；所述底座的底部設置有四個滾輪；

所述底座的四個直角處各設置有一個支撐螺柱；