[實用新型]一種便于移動的擴散爐

有效

• 申請號: 202022389324.2
• 申請日: 2020-10-24
• 公開（公告）號: CN213357738U
• 公開（公告）日: 2021-06-04
• 發明（設計）人: 牛新海;李志坤
• 申請（專利權）人: 青島微弘設備技術有限公司
• 主分類號: C23C16/44
• 分類號: C23C16/44;C23C16/455;C23C16/40
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種便于移動的擴散爐，包括外箱體以及設置在外箱體內部的爐體；其特征是，

所述爐體包括爐筒、氣體均布件；所述爐筒呈兩端封堵的臥式圓筒結構；所述爐筒的一端設置爐口；所述爐筒通過爐筒底座固定設置在外箱體內底面上；

所述氣體均布件呈圓筒狀結構，所述氣體均布件的圓筒側壁內設置有沿圓筒軸向方向延伸的環形均布腔；所述氣體均布件的圓筒內側壁上均勻設置有若干與環形均布腔相連通的氣體均布孔；所述氣體均布件的圓筒外側壁上設置有與環形均布腔相連通的氣體入口管；

所述氣體均布件同軸設置在爐筒內部，所述爐筒的側壁上、外箱體的側壁上均設置有供氣體入口管穿過的通孔；

所述爐筒的側壁上設置有排氣管，所述排氣管延伸至外箱體的外部；

所述外箱體的一側內側壁上設置有能夠將硅片通過爐口送至爐體內腔中的送料機構；

所述送料機構包括送料電機、送料螺桿、送料滑座、送料導軌；

所述送料電機固定設置在外箱體的一側內側壁上；

所述送料螺桿的一端與送料電機的轉軸端部進行同軸固定連接；

所述送料滑座的中部螺紋孔與送料螺桿進行螺紋連接；所述送料滑座的側面與送料導軌進行沿送料螺桿軸向方向的滑動連接；

所述送料滑座的上部設置有用來夾持硅片的夾頭；所述夾頭包括呈U型結構的調節座，所述調節座的開口面向爐體的爐口；所述調節座的兩塊水平板之間設置兩塊上下對稱的水平夾持板；兩塊水平夾持板相向的側面上沿長度方向對稱設置有若干夾持柱；

所述調節座上設置有用來控制兩塊水平夾持板進行同步相向運動或同步背向運動的調節件；

所述調節座中豎直板的外端面通過L型支架與送料滑座的頂端固定連接；所述L型支架上設置有能夠封堵爐口的封堵板；

所述外箱體的底部設置有底座；所述底座的底部設置有四個滾輪；

所述底座的四個直角處各設置有一個支撐螺柱；

所述底座的四個直角處各設置有一個貫穿底座頂面、底面的螺紋孔；所述支撐螺柱與螺紋孔進行螺紋連接；

所述支撐螺柱的底端與支撐座通過軸承進行轉動連接。

2.如權利要求1所述的便于移動的擴散爐，其特征是，所述爐筒包括左右對稱設置的第一爐筒和第二爐筒；

所述第一爐筒的右端設置第一連接法蘭；所述第二爐筒的左端設置第二連接法蘭；

所述氣體均布件的外側壁中部設置有環形安裝板；所述環形安裝板上沿圓周方向均勻設置若干連接孔；

所述環形安裝板位于第一連接法蘭、第二連接法蘭之間；

所述第一連接法蘭、環形安裝板、第二連接法蘭通過螺栓進行連接。

3.如權利要求1所述的便于移動的擴散爐，其特征是，所述氣體入口管上設置入口閥門；所述入口閥門前端的氣體入口管上設置用來過濾氣體的過濾件；

所述過濾件包括呈圓筒狀結構的過濾筒，所述過濾筒的內側面上沿軸向方向均勻內嵌有若干層鋼絲過濾網；

所述過濾筒的兩端與氣體入口管進行法蘭連接。

4.如權利要求1所述的便于移動的擴散爐，其特征是，所述送料螺桿與送料電機的轉軸通過聯軸器進行同軸連接。

5.如權利要求1所述的便于移動的擴散爐，其特征是，所述送料導軌上設置有沿送料螺桿軸向方向延伸的限位滑槽；

所述送料滑座的一側面上設置有與限位滑槽進行滑動限位配合的限位滑塊。

6.如權利要求5所述的便于移動的擴散爐，其特征是，所述限位滑槽為T型滑槽，所述限位滑塊為T型滑塊。

7.如權利要求1所述的便于移動的擴散爐，其特征是，位于上部的夾持柱的底端以及位于下部的夾持柱的頂端均設置有橡膠墊。