[實用新型]一種晶圓片擦粉機及其擦粉機構(gòu)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202022379020.8
• 申請日: 2020-10-22
• 公開（公告）號: CN213459660U
• 公開（公告）日: 2021-06-15
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 李健兒;李學(xué)良;馬曉潔;唐毅;謝雷;敬毅
• 申請（專利權(quán)）人: 四川洪芯微科技有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/329
• 代理公司: 成都睿道專利代理事務(wù)所(普通合伙) 51217
• 代理人: 楊洪婷

1.一種晶圓片擦粉機的擦粉機構(gòu)，其特征在于：包括行星齒輪組和用以連接擦粉專用濾紙的強磁體；所述行星齒輪組包括頂板、底板、主動齒輪和若干依次套設(shè)的行星組，所述主動齒輪可繞自身中心軸轉(zhuǎn)動的安裝于頂板和底板之間，所述行星組包括若干行星齒輪和齒圈，所述若干行星齒輪和主動齒輪或齒圈嚙合且均勻分布，行星齒輪可繞自身中心軸轉(zhuǎn)動的安裝于頂板和底板之間，齒圈可繞自身中心軸轉(zhuǎn)動的安裝于頂板，所述底板包括若干底板本體，所述底板本體設(shè)于齒圈之間且活動連接于齒圈。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓片擦粉機的擦粉機構(gòu)，其特征在于：所述強磁體設(shè)于所述主動齒輪轉(zhuǎn)軸、行星齒輪轉(zhuǎn)軸和齒圈下端。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓片擦粉機的擦粉機構(gòu)，其特征在于：所述主動齒輪和行星齒輪的轉(zhuǎn)軸開設(shè)有吹風(fēng)通孔，所述吹風(fēng)通孔連通吹風(fēng)機構(gòu)用以吹動粉塵。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓片擦粉機的擦粉機構(gòu)，其特征在于：還包括旋轉(zhuǎn)機構(gòu)，所述旋轉(zhuǎn)機構(gòu)包括旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)軸和連接架，所述連接架規(guī)定與所述頂板上端，所述旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)軸下端連接連接架，旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)軸上端可轉(zhuǎn)動的安裝于工作平臺用以驅(qū)動行星齒輪組旋轉(zhuǎn)。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的晶圓片擦粉機的擦粉機構(gòu)，其特征在于：還包括用以移動行星齒輪組的移動機構(gòu)，所述移動機構(gòu)包括相互嚙合的齒輪和齒條，所述齒輪套設(shè)于所述旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)軸，所述齒條安裝于工作平臺。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的晶圓片擦粉機的擦粉機構(gòu)，其特征在于：所述齒條可遠離或靠近所述齒輪的滑動安裝于工作平臺用以實現(xiàn)間歇式移動行星齒輪組。

7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的晶圓片擦粉機的擦粉機構(gòu)，其特征在于：所述旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)軸為分段式設(shè)計，且相鄰兩段間設(shè)有彈性機構(gòu)。

8.一種晶圓片擦粉機，其特征在于：包括擦粉倉和如權(quán)利要求1至7中任意一項所述的晶圓片擦粉機的擦粉機構(gòu)，所述擦粉機構(gòu)安裝于所述擦粉倉內(nèi)。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的晶圓片擦粉機，其特征在于：所述擦粉倉一側(cè)設(shè)有觀察門，所述觀察門的下方位置設(shè)有粉塵收集槽，觀察門通過門扣與擦粉倉實現(xiàn)開關(guān)扣合。