[實用新型]一種防變形靶材有效
| 申請號： | 202022374932.6 | 申請日： | 2020-10-22 |
| 公開（公告）號： | CN213652625U | 公開（公告）日： | 2021-07-09 |
| 發明（設計）人： | 姚力軍;邊逸軍;潘杰;王學澤;章麗娜 | 申請（專利權）人： | 寧波江豐電子材料股份有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/35 | 分類號： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京遠智匯知識產權代理有限公司 11659 | 代理人： | 王巖 |
| 地址： | 315400 浙江省寧波市*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 變形 | ||
【權利要求書】：
1.一種防變形靶材，其特征在于，所述防變形靶材的非濺射面上設置有水冷卻槽；
所述水冷卻槽的底面平面度≤0.05mm；
所述水冷卻槽的底面粗糙度≤0.8μm；
所述水冷卻槽的中央設置有凸起；
所述凸起的中央設置有螺紋凹槽。
2.根據權利要求1所述的防變形靶材，其特征在于，所述螺紋凹槽的螺紋底徑為12.8-12.9mm。
3.根據權利要求1所述的防變形靶材，其特征在于，所述凸起的橫截面為圓形。
4.根據權利要求3所述的防變形靶材，其特征在于，所述凸起的直徑為35.0-35.5mm。
5.根據權利要求3所述的防變形靶材，其特征在于，所述凸起的頂面到水冷卻槽的底面距離為10.8-11.0mm。
6.根據權利要求3所述的防變形靶材，其特征在于，所述凸起的頂面平面度≤0.05mm。
7.根據權利要求1所述的防變形靶材，其特征在于，所述水冷卻槽的底面邊緣設置圓角。
8.根據權利要求7所述的防變形靶材，其特征在于，所述圓角的直徑為1.3-1.5mm。
9.根據權利要求1所述的防變形靶材，其特征在于，所述防變形靶材的濺射面為凹面。
10.根據權利要求9所述的防變形靶材，其特征在于，所述凹面的曲率半徑為300-500mm。
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