[實用新型]一種紅外熱堆傳感器

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202022364273.8
• 申請日: 2020-10-21
• 公開（公告）號: CN214200388U
• 公開（公告）日: 2021-09-14
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 韓鳳芹;劉孟彬;狄云翔
• 申請（專利權(quán)）人: 中芯集成電路（寧波）有限公司上海分公司
• 主分類號: G01J5/20
• 分類號: G01J5/20
• 代理公司: 北京思創(chuàng)大成知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11614
• 代理人: 張立君

本實用新型提供了一種紅外熱堆傳感器，包括：第一基板，所述第一基板包括第一區(qū)和第二區(qū)，所述第一基板具有相對的第一表面和第二表面；在所述第一區(qū)第一表面具有熱電堆結(jié)構(gòu)；在所述第二區(qū)第一表面具有熱敏電阻結(jié)構(gòu)。本實用新型實施例所提供的紅外熱堆傳感器熱電堆結(jié)構(gòu)和熱敏電阻結(jié)構(gòu)集成在第一基板上，集成度高，體積小，工藝簡單。

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，尤其涉及一種紅外熱堆傳感器。

背景技術(shù)

紅外傳感器(英文名稱：transducer/sensor)是一種檢測裝置，通過將感應(yīng)到的被測信息按一定規(guī)律變換成為對應(yīng)的信號輸出，以實現(xiàn)對信息的檢測。典型的紅外傳感器如溫度紅外傳感器、壓力紅外傳感器、光學(xué)紅外傳感器等，不僅促進(jìn)了傳統(tǒng)產(chǎn)業(yè)的改造和更新?lián)Q代，還不斷開拓新型工業(yè)，成為人們關(guān)注的焦點。

隨著微電子機(jī)械系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)的迅猛發(fā)展，基于MEMS微機(jī)械加工技術(shù)制作的微型化紅外傳感器以其尺寸小、價格低等優(yōu)勢被廣泛應(yīng)用于測溫、氣體傳感、光學(xué)成像等領(lǐng)域。紅外傳感器的對溫度的處理中，采用熱電堆單元接收輻射信息檢測被測物體溫度，同時為了提高準(zhǔn)確度，需要同時熱敏電阻單元接收當(dāng)前環(huán)境溫度，以便提高計算準(zhǔn)確度。

然而，現(xiàn)有的紅外熱堆傳感器中熱電堆單元與熱敏單元為分離設(shè)計后再重新組裝，工藝復(fù)雜，體積較大，與微型化的趨勢相違背。因此，亟需提供一種工藝簡單且體積較小的紅外熱堆傳感器。

實用新型內(nèi)容

本實用新型解決的問題是如何減小紅外熱堆傳感器的器件體積，簡化工藝流程。

為解決上述問題，本實用新型提供了一種紅外熱堆傳感器，包括：

第一基板，所述第一基板包括第一區(qū)和第二區(qū)，所述第一基板具有相對的第一表面和第二表面；

在所述第一區(qū)第一表面具有熱電堆結(jié)構(gòu)；

在所述第二區(qū)第一表面具有熱敏電阻結(jié)構(gòu)。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型實施例的技術(shù)方案有如下優(yōu)點：

本實用新型所提供的紅外熱堆傳感器中，熱電堆結(jié)構(gòu)和熱敏電阻結(jié)構(gòu)均形成在第一基板上，能減小形成的紅外熱堆傳感器的體積，提高器件的集成度。

進(jìn)一步，熱敏電阻結(jié)構(gòu)距離熱堆結(jié)構(gòu)冷端較近，獲得的冷端溫度更為精確，能提高紅外熱堆傳感器的測量精度。

附圖說明

為了更清楚地說明本實用新型實施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對實施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的實施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)提供的附圖獲得其他的附圖。

圖1是本實用新型一實施例所提供的紅外熱堆傳感器的制作方法中提供第一基板和形成介質(zhì)層的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2是本實用新型一實施例所提供的紅外熱堆傳感器的制作方法中在所述介質(zhì)層上形成第一電極材料層的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖3是本實用新型一實施例所提供的紅外熱堆傳感器的制作方法中形成第一電極的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖4是本實用新型一實施例所提供的紅外熱堆傳感器的制作方法中形成鈍化層的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖5a是本實用新型一實施例所提供的紅外熱堆傳感器的制作方法中形成第二電極和熱敏電阻結(jié)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖5b是本實用新型一實施例所提供的紅外熱堆傳感器的制作方法中圖5a 中的所述熱敏電阻結(jié)構(gòu)的俯視圖。

圖6是本實用新型一實施例所提供的紅外熱堆傳感器的制作方法中形成吸收層的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖7是本實用新型一實施例所提供的紅外熱堆傳感器的制作方法中形成保護(hù)層的結(jié)構(gòu)示意圖。