[實用新型]一種紅外熱堆傳感器有效
| 申請號： | 202022364273.8 | 申請日： | 2020-10-21 |
| 公開（公告）號： | CN214200388U | 公開（公告）日： | 2021-09-14 |
| 發明（設計）人： | 韓鳳芹;劉孟彬;狄云翔 | 申請（專利權）人： | 中芯集成電路（寧波）有限公司上海分公司 |
| 主分類號： | G01J5/20 | 分類號： | G01J5/20 |
| 代理公司： | 北京思創大成知識產權代理有限公司 11614 | 代理人： | 張立君 |
| 地址： | 201210 上海市浦東新區中國（上海*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 紅外 傳感器 | ||
1.一種紅外熱堆傳感器，其特征在于，包括：
第一基板，所述第一基板包括第一區和第二區，所述第一基板具有相對的第一表面和第二表面；
在所述第一區第一表面具有熱電堆結構；
在所述第二區第一表面具有熱敏電阻結構。
2.如權利要求1所述的紅外熱堆傳感器，其特征在于，所述熱敏電阻結構包括：單層膜結構或者多層膜結構。
3.如權利要求1所述的紅外熱堆傳感器，其特征在于，所述熱電堆結構包括：第一電極和第二電極；
所述第一電極的材料與所述熱敏電阻結構其中一層相同，二者位于同一層；
或，所述第二電極的材料與所述熱敏電阻結構其中一層相同，二者位于同一層。
4.如權利要求1所述的紅外熱堆傳感器，其特征在于，所述熱敏電阻結構位于所述第一基板上、所述熱電堆結構下方。
5.如權利要求1所述的紅外熱堆傳感器，其特征在于，所述熱敏電阻結構位于所述熱電堆結構的上方。
6.如權利要求1所述的紅外熱堆傳感器，其特征在于，還包括：第一互連結構，所述第一互連結構電連接所述熱電堆結構；
所述第一互連結構包括：第一互連線及第一插塞；
所述熱敏電阻結構中其中一層熱敏電阻與所述第一互連結構的第一互連線或第一插塞位于同一層；
或者，
所述第一互連結構包括：互連線或焊盤；所述熱敏電阻結構與所述互連線或焊盤位于同一層。
7.如權利要求1所述的紅外熱堆傳感器，其特征在于，所述熱電堆結構的冷端與所述熱敏電阻結構距離范圍為3um到200um。
8.如權利要求1所述的紅外熱堆傳感器，其特征在于，所述第一區的背面具有貫穿所述第一基板的熱輻射隔離槽，所述熱輻射隔離槽與所述熱電堆結構相對。
9.如權利要求8所述的紅外熱堆傳感器，其特征在于，還包括：第二基板，與第一基板鍵合，使所述熱輻射隔離槽夾設在所述熱電堆結構和所述第二基板之間形成第一空腔。
10.如權利要求8所述的紅外熱堆傳感器，其特征在于，還包括：蓋板，與第一基板鍵合，所述蓋板與熱輻射隔離槽相對應的部分具有紅外濾光層。
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